【課題】重心ずれを防止でき、Ｓ／Ｎの最大化を図ることが可能で、入射光量に対して、画素の出力電子数のバラツキがないような分割画素加算を実現でき、低い入射光量のときに感度が高く、高い入射光のときに感度を下げ、かつ出力が飽和することのない広いダイナミックレンジを持つことが可能な固体撮像素子およびカメラシステムを提供する。
【解決手段】複数の画素が行列状に配列された画素部１１０と、画素部から読み出した画素信号をアナログデジタル（ＡＤ）変換するＡＤ変換部を含む画素信号読み出し部１２０，１５０と、を有し、画素部１１０の隣接する複数の画素または一つの画素が、光感度または電荷の蓄積量の異なる領域に分割された複数の分割画素として形成され、複数の分割画素に対して複数の光感度または露光時間条件が設定され、かつ、斜め方向に対向するように配置された分割画素の光感度または露光時間条件が同じ条件に設定される。 （もっと読む）

【課題】スペーサを製造するために特別な工程を必要とせずに、均一な高さのスペーサ（枠壁）を備えるイメージセンサの構成と製造方法を提供する。
【解決手段】シリコンウエハ５上に、少なくとも、光電変換素子と、色分解フィルタ１７と、マイクロレンズ７と、がこの順に積層され、さらに、前記積層部材を囲むように形成されたスペーサ６により透明基板４が支持されているイメージセンサの製造方法において、マイクロレンズ７とスペーサ６とを同一の感光性樹脂を用いて、ハーフトーンマスク（グレイトーンマスク）１５を用いるフォトリソグラフィ法により、あるいはドライ転写法により同時に製造する。 （もっと読む）

【課題】回路ノイズ及び混色を低減しながら、高感度化を図る。
【解決手段】本発明の一形態に係る固体撮像装置１０は、シリコン層１０１の第一主面側から入射した光を電荷に変換する第一導電型の複数のフォトダイオード１１１と、シリコン層１０１の第一主面側の表面に形成されている第二導電型の埋め込み層１２６と、フォトダイオード１１１間に形成されるとともに、シリコン層１０１の第二主面から埋め込み層１２６まで到達するように形成されている第二導電型の分離部１２０と、分離部１２０の第二主面側に形成されているトランジスタ１１２と、シリコン層１０１の第ニ主面側に形成されている周辺回路部１３０と、シリコン層１０１の、フォトダイオード１１１間の領域の第一主面側と、周辺回路部１３０が形成されている領域の第一主面側とに埋め込み形成されている導電性の遮光部１１９とを備える。 （もっと読む）

【課題】画素サイズの微細化を実現するとともに、高感度、低混色及び高画質を実現することができる固体撮像装置を提供する。
【解決手段】光が入射する第１面、及び、第１面と反対側の第２面を有する層であって、第１面から入射した光を光電変換する複数のフォトダイオード２０３、複数のフォトダイオード２０３を分離する分離部２０４、及び、フォトダイオード２０３で生成された信号電荷を検出するトランジスタ２００を含む半導体層２０２と、第２面側に形成され、多層配線２０１を含む配線層２０１０と、第１面上に形成された層であって、分離部２０４に向けて入射してくる光を吸収する吸収部２０８を含む吸収層２０８０と、吸収層２０８０上に複数のフォトダイオード２０３のそれぞれに対応して形成され、隙間２０９によって隔てられたカラーフィルタ２１０ａ〜２１０ｃとを備える。 （もっと読む）

【課題】 撮影に要する時間を長くすることなく、暗電流ムラを適切に除去することができる。
【解決手段】 複数の画素を有する撮像素子と、撮像素子からの出力信号に対して信号処理を行う信号処理部とを備え、画素は、第１画像信号を生成する第１受光素子と、同一条件下で第１画像信号よりも高感度の第２画像信号を生成する第２受光素子とをそれぞれ含み、信号処理部は、複数の画素のそれぞれについて、第２画像信号の値から第１画像信号の値を減算した後に、その差分信号に対して、第１受光素子と第２受光素子との感度比に基づくゲインを乗じる。 （もっと読む）

【課題】多層膜の構造上の問題を克服し、色分離を効率良く行い、感度やＳ／Ｎ比を向上させることができる固体撮像装置および撮像装置を提供する。
【解決手段】所定の第１の色を透過する有機材料のカラーフィルタを有する第１の色分離画素と、前記第１の色と異なる第２の色を透過する多層膜またはフォトニック結晶を有する第２の色分離画素と、前記第１および第２の色と異なる第３の色を透過する多層膜またはフォトニック結晶を有する第３の色分離画素とを備え、前記第２および第３の色分離画素は、互いに隣接せずに、前記第１の色分離画素に隣接するように配列されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光強度に対するダイナミックレンジの自由度を、より拡大する。
【解決手段】各画素２１は、受光した光の光量に応じて電荷を発生するフォトダイオード２２と、フォトダイオード２２から出力される電荷を蓄積するフローティングディフュージョン２４と、フローティングディフュージョン２４に蓄積されている電荷をリセットするリセットトランジスタ２７とを少なくとも有する。また、４つの画素２１が組み合わされて疑似画素２０が構成される。そして、疑似画素２０では、所定の露光順番で露光が行われ、露光順番に従って、先に露光する画素２１のフローティングディフュージョン２４の電荷蓄積容量まで電荷が蓄積されると、次に露光する画素２１のリセットトランジスタ２７によるリセット動作が解除される。本発明は、例えば、CMOSイメージセンサに適用できる。 （もっと読む）

【課題】輝度信号の主成分となる色が市松状に配置されたカラーコーディングを用いるに当たって、既存のＲＧＢベイヤ配列用のＤＳＰを使用できるようにする。
【解決手段】ＣＭＯＳイメージセンサ１０において、画素が行列状に２次元配置された画素アレイ部１２上に輝度信号の主成分となる色が市松状に配置され、残りの部分に色情報成分となる複数色が配列された色配列の色フィルタ部を有する。そして、画素アレイ部１２からカラム処理部１４を経由して出力される色フィルタ部の色配列に対応した信号を、センサチップ１１上に設けられた変換処理部１６でＲＧＢベイヤ配列に対応した信号に変換して、センサチップ１１外へ出力する。 （もっと読む）

【課題】オンチップレンズが精度良く形成され、組み立て時における歩留まりの向上が図られた固体撮像装置を提供する。さらに、その固体撮像装置を用いた電気機器を提供する。
【解決手段】裏面照射型の固体撮像装置において、基板１２の表面側の配線層１３に形成された表面電極パッド部１５を基板の裏面側に引き出す際、基板１２の表面側に、オンチップレンズ層２１を形成した後、表面電極パッド部１５が露出する貫通孔２２を形成する。そして、オンチップレンズ層２１上に裏面電極パッド部２４を形成すると共に、貫通孔内に裏面電極パッド部２４と表面電極パッド部１５を接続する貫通電極層２３を形成する。その後、オンチップレンズ層２１表面に、凸形状を形成することでオンチップレンズ２１ａを形成する。これにより、オンチップレンズ層２１の塗布ムラや、裏面電極パッド部２４形成時の飛散メタルによる欠陥を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】固体撮像装置のオンチップマイクロレンズの表面反射に起因したゴーストの発生を低減し、感度特性の向上を図る。
【解決手段】半導体基板１２に形成され光電変換部ＰＤと該光電変換部の信号電荷を読み出す手段からなる複数の画素と、画素上のカラーフィルタ２６と、有機膜によるオンチップマイクロレンズ２７を]有する。さらに、オンチップマイクロレンズ２７の表面上に、オンチップマイクロレンズより屈折率の高い第１の無機膜３１と、その上のオンチップマイクロレンズ及び第１の無機膜より屈折率の低い第２の無機膜とからなる反射防止膜３３が形成される。少なくとも第２の無機膜３２は、隣り合う第２の無機膜の境界に非レンズ領域を存在させない状態で形成される。 （もっと読む）

【課題】高感度及び広ダイナミックレンジを実現するとともに、画像の時間的なずれの発生を抑制する。
【解決手段】本発明に係る固体撮像装置は、２次元状に複数の画素ブロック８０が配置されている画素アレイ２を備える固体撮像装置１０１であって、複数の画素ブロック８０の各々は、第１の色の光を第１の色信号に変換する第１色信号画素と、第１の色と異なる第２の色の光を第２の色信号に変換する第２色信号画素と、可視光を第１輝度信号に変換する第１白色画素とを含み、第１白色画素は、透過率を電気的に制御可能な光減衰フィルタ１６と、光減衰フィルタ１６を透過した可視光を受光し、受光した可視光を第１輝度信号に変換するフォトダイオード１１とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、輝度情報及びカラー情報を十分に取得することができ、高感度と良好な色再現性を両立できる積層型撮像素子を提供することを目的とする。
【解決手段】入力光を受光し、光学像の輝度成分を取得する第１の撮像素子１０と、
該第１の撮像素子の背面側に配置され、該第１の撮像素子を透過した透過光を受光し、前記光学像の色成分を取得する第２の撮像素子７０とを有し、
前記第２の撮像素子のサブピクセル７１の面積は、前記第１の撮像素子のピクセル１１の面積の２倍、３倍又は４倍であることを特徴とする （もっと読む）

【課題】撮像装置において、低照度下でも、品質の良好な画像を取得できるようにする。
【解決手段】可視光および赤外光に対して透過性を有する開口部３１３ａと可視光に対して透過性を有するとともに赤外光に対して非透過性を有する非開口部３１３ｂとが設けられた赤外光カットフィルタ層３１３と可視光領域をＲ，Ｇ，Ｂ成分に分離する色フィルタ群３１４を、固体撮像素子３１２上に一体的となるように配置する。開口部３１３ａを通過した可視光および赤外光を含む広波長領域成分を波長領域画素１２Ａで検知し、その検知信号で輝度信号を生成する。非開口部３１３ｂを通過したＲ，Ｇ，Ｂの各色成分を各色画素１２Ｒ，１２Ｇ，１２Ｂで検知し、その各色信号から色差信号を生成する。必要に応じて、波長領域画素１２Ａの検知信号に基づく輝度信号から色信号を抽出し、その色信号を使って、各色画素１２Ｒ，１２Ｇ，１２Ｂで検知された各色信号を補正する。 （もっと読む）

【課題】装置の信頼性の向上、製造効率の向上を実現する。
【解決手段】反射防止膜１５０などの被覆膜の上面において、パッド電極１１１Ｐの接続面の部分が開口し、その接続面以外の部分を被覆するように、レジストパターンＲＰを形成する。レジストパターンＲＰをマスクとして用いると共に、カーボン系無機膜３００をエッチングストッパー膜として用いて、その被覆膜についてエッチング処理を実施し、カーボン系無機膜３００の上面にて接続面に対応する面を露出させる。レジストパターンＲＰとカーボン系無機膜３００にて接続面に対応する部分とについてアッシング処理を実施し、両者を同時に除去する。 （もっと読む）

【課題】色純度が高く、薄層化した場合に高い吸光係数が得られると共に、堅牢性（特に耐光性）に優れた着色組成物並びにカラーフィルタ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】下記一般式（ａ）で表される化合物を含有する着色組成物である〔Ａ：一般式（Ｉ）で表されるジピロメテン系化合物が金属又は金属化合物に配位したジピロメテン系金属錯体化合物の任意の水素原子を一つ除いた残基、Ｌ：単結合、２価の連結基、Ｂ：テトラシアノキノジメタン系化合物、ビオロゲン系化合物、アントラキノン系化合物、及びテトラアザポルフィリン系化合物より選ばれる化合物の任意の水素原子を一つ除いた残基、Ｒ^１〜Ｒ^６：水素原子、置換基、Ｒ^７：水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基、ヘテロ環基〕。
【化１】
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【課題】ワイヤグリッド型偏光子技術に基づく、構成、構造が簡素な偏光素子を備えた固体撮像素子を提供する。
【解決手段】固体撮像装置は、光電変換素子６１、及び、光電変換素子６１の光入射側に設けられた偏光素子７０を備えた固体撮像素子４１を複数、有し、偏光方位が異なる２種類以上の偏光素子７０を備え、各偏光素子は、光電変換素子側から、ストライプ状の反射層７１、反射層７１上に形成された絶縁層７２、及び、絶縁層７２上に離間された状態で形成された複数の断片７３’から成る光吸収層７３の積層構造を有する。 （もっと読む）

【課題】撮像画像の画像品質等を向上する。
【解決手段】半導体層１０１においてフォトダイオード２１が入射光Ｈを受光して信号電荷を生成する。そして、その半導体層１０１において入射光Ｈが入射する一方の面に対して反対側の他方の面の側において、その入射光Ｈのうち、そのフォトダイオード２１を透過した赤外の光を、赤外線吸収部３１が吸収する。 （もっと読む）

【課題】基板に支持される光電変換ユニットと、前記基板に隣接した絶縁体とを含むイメージセンサー画素を提供する。
【解決手段】前記画素は、一部が空気界面を有するように、前記絶縁体の開口内にあるとともに前記絶縁体の上に延びている縦列接続式光導波路１３０，１１６を含む。前記空気界面は、前記縦列接続式光導波路の内部反射を改善する。前記縦列接続式光導波路は、隣り合ったカラーフィルター同士の間に空隙を有する自己整合カラーフィルター４３０を含んでもよい。空隙が透明な封止膜によって上方から封止されもよい。前記透明な封止膜は、前記凹面を渡って前記空隙に入る光を前記空隙から離れ隣接するカラーフィルターに発散させるように、前記空隙の真上に凹面を備えもよい。さらに、一対のカラーフィルターの間にある支持壁の一部は、カラーフィルターを保持するために、首の形が形成されるように上方が下方よりも大きい幅を有してもよい。 （もっと読む）

【課題】光電変化部の上方に配置された各色の光フィルタ間に混色防止膜を設けながらも、光フィルタの専有面積を拡大して光電変換部での受光量の向上を図ることが可能な固体撮像装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板１１の表面側に配列された複数の光電変換部２１のうちの一部の光電変換部２１上に、各色フィルタＲ，Ｂ，Ｇとして独立した島状の第１パターンを形成する。次に、第１パターンの側壁に混色防止膜３１を形成する。その後、複数の光電変換部２１のうちの残りの光電変換部２１上に、第１パターンとの間に混色防止膜３１を挟持する状態で白色フィルタＷとして独立した島状の第２パターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】混色及び白傷の少ない画像取得可能な固体撮像装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】第１導電型の基板１０１と、前記基板内に格子状に形成された素子分離絶縁膜１２１とを備える。更に、前記装置は前記素子分離絶縁膜により互いに分離された第１導電型の複数の第１半導体領域１１１，１１２，１１３と、前記基板内において前記素子分離絶縁膜上に格子状に形成され、画素分離領域として機能する第１導電型の第２半導体領域１１５とを備える。更に、前記装置は前記基板内において前記第２半導体領域の側方に形成され、前記第２半導体領域により互いに分離され、電荷蓄積領域として機能する第２導電型の複数の第３半導体領域１１４と、前記基板内において前記第２及び第３半導体領域上に形成された第１導電型の第４半導体領域１１６とを備える。更に、前記装置では前記素子分離絶縁膜は、前記第１及び第２半導体領域により側壁面が覆われている。 （もっと読む）