【課題】「混色」の発生などを防止して、撮像画像の画像品質を向上させる。
【解決手段】半導体基板１０１において裏面（上面）側に形成されたトレンチＴＲ内に、画素分離部３０１を設ける。ここでは、受光面ＪＳに入射した光を吸収する絶縁材料によって、画素分離部３０１を形成する。 （もっと読む）

【課題】簡易な加工プロセスにより、高感度化および微細化を実現することが可能な撮像素子を提供する。
【解決手段】イメージセンサ１は、２次元配置された複数の画素Ｐを備え、各画素Ｐが、フォトダイオードを含む受光部２０と、入射光を受光部２０へ向けて集光する集光部１０とを有する。集光部１０では、その画素位置に応じた特定の凹凸構造１１Ａを表面に有する１または複数の光学機能層（例えばオンチップレンズ１１）を含んでいる。特定の凹凸構造１１Ａを有することにより、オンチップレンズ１１表面における反射率が低減すると共に、瞳補正の効果が得られる。 （もっと読む）

【課題】固体撮像素子において、各色のカラーフィルタの特性をその厚さにより調整し、しかも各色に応じてその厚みを調整したカラーフィルタをその表面が平坦になるよう平坦化膜上に配置することができ、これにより、厚みの異なるカラーフィルタ上に平坦化膜を形成する必要がなくなり、感度低下を回避しつつ、カラー表示特性を所望の特性とすることができる。
【解決手段】基板上に配列された複数のカラーフィルタ１１１及び１１２を備えた固体撮像素子１００において、該複数のカラーフィルタ１１１は、それぞれの色に応じた膜厚を有し、該基板上の、該カラーフィルタの下地部分となる平坦化膜１３０は、該配列された複数のカラーフィルタの表面が全面に渡って平坦な面となるよう、その表面に各カラーフィルタの膜厚に応じた段差を形成した構造としている。 （もっと読む）

【課題】製品の信頼性および製品の歩留まりを向上し、高い製造効率で製造可能にする。
【解決手段】配線層１１０にて支持基板ＳＫに対面する面において、パッド電極１１０Ｐが形成される部分に凸部１１１を設ける。この凸部によって、接着層２０１について配線層１１０と支持基板ＳＫとの間において、パッド電極１１０Ｐの形成部分が他の部分よりも薄くなるように形成する。 （もっと読む）

【課題】配線層の露出面において、ダイシングの工程等で水が接触することにより生じ、配線層の露出面における接合強度の低下や外観不良等の原因となる腐食の発生を抑制する。
【解決手段】半導体基板の一方の面側にて、標準電極電位が互いに異なる２種以上の金属を含む合金により形成された配線層を露出させる工程（パッドを開口する工程（Ｓ１０））と、前記配線層の露出面を含む範囲に、Ｎ_２／Ａｒプラズマを照射するプラズマ処理を行う工程（Ｎ_２／Ａｒプラズマ処理を行う工程（Ｓ３０））と、を含む方法を用いる。 （もっと読む）

【課題】製造効率の向上、コストダウン、信頼性の向上、小型化を容易に実現させる。
【解決手段】ガラス基板３０１においてセンサ素子１００に対面する側の面のうち、画素領域ＰＡに対応する部分と、画素領域ＰＡの周辺に位置する周辺領域ＳＡの一部とを被覆するように、赤外カットフィルタ層３１１を形成する。そして、センサ素子１００と赤外カットフィルタ３００とが対面する面の周辺部分において、ガラス基板３０１にて赤外カットフィルタ層３１１で被覆されていない部分と、その赤外カットフィルタ層３１１の周辺部分とに接するように、接着層５０１を設ける。 （もっと読む）

【課題】測距用画素の位置に相当する撮像用信号の補間をより高精度に行うのに適した撮像用信号を取得することができる撮像素子および撮像装置を提供する。
【解決手段】撮像素子面内には、撮像受光素子を有する複数の撮像用画素ＳＰと、２つの測距受光素子が撮像素子面内のＸ方向に配列された測距受光素子対を有する複数の測距用画素ＡＰとが配列されている。複数の測距用画素ＡＰは、撮像素子面内において、Ｘ方向に所定の周期で配列されている。複数の測距用画素ＡＰの各々の周囲に少なくとも４つの撮像用画素ＳＰが配置され、かつ、複数の測距用画素ＡＰの各々の間に少なくとも１つの撮像用画素ＳＰが配置されている。 （もっと読む）

【課題】被写体から反射した可視光に基づく可視画像の撮影と赤外光に基づく赤外画像の撮影とを同時に行うことのできる固体撮像素子を提供する。
【解決手段】半導体基板内１にはＲ光検出光電変換部３ｒ、Ｇ光検出光電変換部３ｇ、Ｂ光検出光電変換部３ｂが二次元状に配列される。基板１内の各光電変換部の上方には、一対の電極１１，１３と、一対の電極１１，１３間に設けられた光電変換膜１２とを含む光電変換部が形成される。光電変換膜１２は、可視域と赤外域を併せた範囲における吸収スペクトルの吸収ピークを赤外域に持ち、吸収した光に応じた電荷を発生する有機光電変換材料を含んで構成され、全体として可視域の光を５０％以上透過する。電極１３上方には、基板内の各光電変換部に対応してカラーフィルタ１３ｒ，ｇ，ｂが設けられる。 （もっと読む）

【課題】赤外光カットフィルタを用いることなく、実用上問題ない色差を実現することが可能なカラー撮像用の固体撮像素子を提供する。
【解決手段】画素電極３と、画素電極３に対向する対向電極５と、画素電極３と対向電極５との間に設けられる光電変換層を含む受光層４とを有する受光部Ｐが半導体基板１上方に複数配列された固体撮像素子１００であって、受光部Ｐの分光感度特性は、（１）波長６００ｎｍにおける分光感度が７０％以上、（２）波長６００ｎｍ以上の範囲で分光感度が単調減少、（３）波長７００ｎｍにおける分光感度が波長６００ｎｍにおける分光感度の３０％以下、（４）波長７５０ｎｍにおける分光感度が１０％以下の条件を満たしている。 （もっと読む）

【課題】撮像画像の画像品質を向上させる。
【解決手段】半導体基板１０１の画素分離部３０１に形成されたトレンチＴＲの内部に第１遮光部３１３Ａを設ける。これと共に、その第１遮光部３１３Ａの上面側に第２遮光部３１３Ｂを設ける。ここでは、画素領域ＰＡの中心よりも周辺において、第２遮光部３１３Ｂの中心が、画素分離部３０１の中心に対して、画素領域ＰＡの周辺の側へ多くシフトするように、第２遮光部３１３Ｂを形成する。つまり、少なくとも第２遮光部について「瞳補正」を実施する。 （もっと読む）

【課題】製造効率の向上、コストダウン、信頼性の向上、小型化を容易に実現させる。
【解決手段】接着層５０１によってセンサ素子１００に接着される第１ガラス基板３０１Ａにおいてセンサ素子１００に対面する面に対して反対側の面に、遮光層３１１を設ける。そして、第１ガラス基板３０１Ａにおいて遮光層３１１が設けられた面に対面するように、第２ガラス基板３０１Ｂを配置する。 （もっと読む）

【課題】画質の劣化をより抑制する。
【解決手段】クロストーク補正部５２は、光を受光する複数の画素を有する撮像素子４４における隣接する画素からの光または電子の漏れにより発生するクロストークを補正する補正マトリックスを記憶しており、その補正マトリックスを、撮像素子４４から出力される画素ごとの画像信号に対して適用する演算を行う。さらに、クロストーク補正部５２は、撮像素子４４の受光面に光を集光させるレンズの開放値に応じて補正マトリックスを生成する。本発明は、例えば、撮像装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、短射出瞳距離での混色や色シェーディング特性の悪化を改善する固体撮像装置を提供するものである。
【解決手段】撮像領域に配列された受光部と、各受光部上に配置された各色の色フィルター３２Ｒ，３２Ｇ，３２Ｂと、各色フィルター３２Ｒ，３２Ｇ，３２Ｂ上に配置されたマイクロレンズ３３Ｒ，３３Ｇ，３３Ｂとを有し、撮像領域の中心から同じ距離に配置された受光部上における各マイクロレンズ３３Ｒ，３３Ｇ，３３Ｂは、各受光部上に配置された色フィルター３２Ｒ，３２Ｇ，３２Ｂの色毎に、当該受光部の中心４１に対して異なるずれ量で配置されている固体撮像装置。 （もっと読む）

【課題】平面上のみならず、角度を持った側壁面等にも容易に形成され、且つ、赤外線の遮光と赤外線の反射抑制が可能な遮光膜を提供する。
【解決手段】少なくとも一方の面に受光素子を備えた撮像素子部を有し、且つ、該撮像素子部を備えた面に立上がる立上壁を有する固体撮像素子用の遮光膜であって、（Ａ）黒色顔料を含む被分散体と分散剤と有機溶媒とを含み、該被分散体の９０％以上が１５ｎｍ以上３０ｎｍ以下の粒径を有する顔料分散物、（Ｂ）重合性化合物、及び（Ｃ）重合開始剤を含有する感放射線性組成物を、該基板の受光素子を備えた面と、該受光素子を備えた面に立上がる立上壁の表面にスプレー塗布して形成された固体撮像素子用遮光膜。 （もっと読む）

【課題】 電荷伝送効率及びフィルファクタを向上可能なイメージセンサを提供する。
【解決手段】 イメージセンサ５は、第１面１及び第２面２を有する半導体層１００、半導体層１００の第１面１上に配置される配線層２００、および半導体層１００の第２面２上に配置される光透過層３００を有する。半導体層１００は、光電変換部１１０を構成するｐ型不純物層１１３、及びｎ型不純物層１１１を有する。ｐ型不純物層１１３内に形成されるフローティング拡散領域１３１、及びフローティング拡散領域１３１を囲むように形成されるトランスファーゲート電極１２３は、ｎ型不純物層１１１上の第１面１側に形成される。これにより、光電変換部１１０で電位が最も高い地点とトランスファーゲート電極１２３との間の距離が小さくなるため、フローティング拡散領域１３１への電荷伝送効率が向上することができる。 （もっと読む）

【課題】光電変換層におけるクラックの発生を抑制することが可能な光電変換素子の製造方法を提供する。
【解決手段】一対の電極２，４と、一対の電極２，４に挟まれた光電変換層３とを含む光電変換素子１００は、電極２と光電変換層３との間に、電極２の光電変換層３側の表面の凹凸を緩和する凹凸緩和層５を備える。凹凸緩和層５は、電極２上にアモルファス性材料又は高分子材料を成膜後、これを加熱することで形成する。 （もっと読む）

【課題】画質の劣化を抑制する固体撮像装置を提供する。
【解決手段】上部素子分離層５０Ａと、裏面と上部素子分離層５０Ａとの間に設けられる下部素子分離不純物層５１Ａと、不純物層２１を含むフォトダイオード１３１と、フローティングディフュージョン３９と、フォトダイオード１３１とフローティングディフュージョン３９との間に配置されるトランジスタ１３２と、を具備し、半導体基板１０の表面に対して水平方向において、不純物層２１を挟んでトランジスタ１３２に対向する下部素子分離不純物層５１Ａの側面は、上部素子分離層５０Ａの側面よりもトランジスタ１３２側に突出している。 （もっと読む）

【課題】色再現性や入射角度依存性に優れた固体撮像素子を提供する。
【解決手段】各画素に設けられ、光電変換が行われる受光部１と、１つの面に多層膜によりダイクロイックミラー４Ａ，４Ｂ，４Ｃが形成されており、受光部１の上方に設けられ、複数個を１組として、複数個の組み合わせにより入射光を複数の波長帯域の光に分離して、それぞれの波長帯域の光を異なる画素の受光部１に入射させる構成であり、ダイクロイックミラー４Ａ，４Ｂ，４Ｃの反射面の向きが撮像領域の中央線Ｃに対称となるように配置された、ダイクロイックプリズム１１，１２，２１，２２と、ダイクロイックプリズム１１，１２，２１，２２の下方で、かつ受光部上に配置された、カラーフィルタ２Ｂ，２Ｇ，２Ｒとを含む固体撮像素子を構成する。 （もっと読む）

【課題】画質の劣化を低減させる。
【解決手段】撮像素子２００は、画像を生成するための信号を生成する受光素子を備える画像生成画素と、位相差検出による合焦判定を行うための信号を生成する受光素子を備える位相差検出画素と、画像生成画素における受光素子において生成された信号を保持する保持部であって、位相差検出画素における遮光層により被写体光が遮光される領域に配置される保持部とを具備する。また、画像生成画素に隣接する各画素のうちの少なくとも１つの画素は位相差検出画素であり、かつ、当該位相差検出画素における受光素子と画像生成画素における受光素子との間に保持部が配置される。 （もっと読む）

【課題】フォトダイオードの出力特性のばらつきを抑制しつつ、検出精度の低下が防がれた高性能なフォトダイオードを形成することができる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】所定のゲート金属を用いて、フォトダイオード用の第１の半導体層３０ａのうち、真性半導体領域となる部分を覆うシールド部３４ａをゲート絶縁膜２９上に形成するとともに、薄膜トランジスタ用の第２〜第５の各半導体層３０ｂ〜３０ｅのうち、チャネル領域となる部分を覆う第１〜第４のゲート電極３４ｂ〜３４ｅをゲート絶縁膜２９上に形成する。その後、シールド部３４ａをマスクとして用いて、第１の半導体層３０ａにｎ型領域及びｐ型領域を形成した後、当該シールド部３４ａを除去する。 （もっと読む）