【課題】質量分離機能を有さない簡易な装置構成で同一質量の水素イオンのみをドーピングするイオンドーピング装置を提供することを目的の一とする。また、そのイオンドーピング方法を提供することを目的の一とする。
【解決手段】誘電体板を外壁の一部とするプラズマ室に水素を導入し、マイクロ波により当該誘電体板に表面波を発生させると、水素の負イオンの生成されやすい領域ができる。当該負イオンは分子量１のものしか生成されないため、質量分離をせずとも、電界をかけることにより同一質量のイオンのみを対象物に添加できる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、クリーンな状態が維持され、長寿命化が可能でありながら、イオンの生成量の増加が可能なイオン源を提供することにある。
【解決手段】プラズマ室１と、プラズマをプラズマ室１に閉じ込めるためのカスプ磁場発生用磁場発生手段としての永久磁石３と、プラズマを高温電子領域と低温電子領域に分離するためのフィルタ磁場発生用磁場発生手段としての永久磁石４と、永久磁石４より下流側に設けられ、イオンが通過するための開孔部５ｄを有したプラズマ電極５と、を備え、プラズマ電極５に取付けられた開孔部電極７の内部表面にダイヤモンド薄膜８が設けられたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ビーム電流のより大きな負イオンビームを出射する負イオン源、及び負イオン源の運転方法を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、プラズマ容器１２と、熱電子を放出して原料ガスからプラズマを生成するフィラメント１６と、プラズマ容器１２の外周に沿って設けられてカスプ磁場を形成する複数の磁石Ｍ１と、プラズマから負イオンを外部に引き出して負イオンビームを生成する引出電極２０と、プラズマ容器１２の内部空間を放電空間Ｓ１と引出空間Ｓ２とに分割するような位置にフィルタ磁場ＭＦを形成するフィルタ磁場形成手段Ｍ２とを備える負イオン源１０を用い、出空間Ｓ２内に形成されたプラズマのプラズマポテンシャルＶｐが測定され、このプラズマポテンシャルＶｐの測定値に対して引出電極２０の電位が同電位又は略同電位となるように引出電圧が調節されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】既存のＳＩＭＳ用イオンビーム発生技術においては、イオン種がほぼ３種類（Ｃ_６０^＋、Ａｕ_３^＋、Ｂｉ_３^＋）に限定されているのが現状であり、より大きな分子量を有するイオン種を生成できるイオンビーム源が求められている。また、従来のクラスターイオンビーム発生装置は、プラスの電荷を有する正イオンビームのみを生成するタイプがほとんどであり、負イオンのクラスターイオンビーム源が望まれていた。
【解決手段】本願発明においては、「イオン液体」を含有する溶液をエレクトロスプレー法により気相中に放出させ、必要なイオンのみをイオン源内部に輸送する構造とした。 （もっと読む）

【課題】放電管の内部表面でのプラズマ損失を低減できるプラズマ源，それを用いた高周波イオン源，負イオン源，イオンビーム処理装置，核融合用中性粒子ビーム入射装置を提供することにある。
【解決手段】絶縁物で構成された放電管５と、放電管５の周囲に配置されたコイル３とを有する。コイル３に高周波を印加することで、放電管５の内部にプラズマを生成する。導体であるファラデーシールド４は、放電管５とコイル３の間に設置されるとともに、複数のスリット４Ｓを有する。複数の永久磁石６は、複数のスリットの間であって、ファラデーシールド４の外側に設置され、放電管５の内部に多極磁場Ｂを生成する。 （もっと読む）

本発明は、有用な強度で前もって製造することが以前は不可能であった高強度の多種多様な求められている正及び負の分子状及び原子状イオンビームを製造するための小型で経済的な装置を包含する。更に本発明は、求められているイオンと一緒にしばしば同時に放出される随伴背景イオンを実質的に拒否する。本発明の基礎を成す原理は、共鳴イオン化・移送であり、該原理では共鳴プロセスと非共鳴プロセスとの間のエネルギー差を利用して特定電荷変化プロセスを促進するか又は弱める。この新ソース技術は、加速器質量分析、分子イオン注入、有向中性ビームの発生、及び磁場内におけるイオンビーム中性化に必要な電子の生成の分野に関連する。商業的重要性を有する一例は、デカボラン分子、Ｂ_１０Ｈ_１４のイオン化であり、該イオン化ではデカボラン分子と砒素原子との間で殆んど完全なイオン化共鳴一致が生ずる。
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【課題】加速電子の発生量を抑制して高エネルギの負イオンビームを生成するとともに、このビームに良好な収束性を付与して高エネルギで長距離の輸送が可能な、高い効率と信頼性を有する負イオン源を提供する。
【解決手段】本発明に係る負イオン源は、放電プラズマ中に生成された負イオンを放電容器から引き出すための複数の孔１６が穿設され、放電容器内で生成された放電プラズマと接する第１の電極１５と、第１の電極の複数の孔と対応する位置に同数の孔２２が穿設され、第１の電極に対して正電位を印加される第２の電極１８と、第２の電極の孔２１に対応する位置に同数の孔２２が対応して穿設された第３の電極１９と、第１ないし第３の電極に穿設された複数の孔に対応するスリット形状の孔２５が穿設され、接地電位に保持された第４の電極２４とを有する。 （もっと読む）