【課題】ＴＯＦ−ＳＩＭＳの一次イオンに使用できるほど短いパルス幅のＧＣＩＢを射出できるＧＣＩＢ銃を提供する。
【解決手段】
イオン化室３０から射出されたＧＣＩＢを予め決められた時間だけ通過させる第一のシャッター部４１と、第一のシャッター部４１を通過したＧＣＩＢのうち予め決められた質量範囲外のＧＣＩＢを除去する選別部５９とを有している。選別部５９は、ＧＣＩＢを交互に反射して往復移動させる第一、第二のミラー電極５１ａ、５２ａと、第一、第二のミラー電極５１ａ、５２ａの間に配置され、前記質量範囲内のＧＣＩＢを、予め決められた時間だけ通過させる第二のシャッター部５３と、を有し、前記質量範囲内のＧＣＩＢを選別部５９から射出する。 （もっと読む）

【課題】コストを上昇させることがなく，且つ高速の振動にも追従することが可能な制振機能に優れたビーム照射装置を提供すること。
【解決手段】加速器より射出されるイオンビーム若しくは電子ビームを，電界及び／若しくは磁界による質量分離装置及びビーム収束装置を備えたビームラインを経てチャンバ中の試料に入射するビーム照射装置に関する発明であり，前記ビームライン中を通過するビームの前記試料に対する振れを直接または間接的に検出し，検出されたビームの試料に対する振れに基づいて振れを消去するように質量分離装置及び／若しくはビーム収束装置を制御するビーム照射装置。 （もっと読む）

【課題】中エネルギーイオンビーム散乱を用いた分光分析器を提供する。
【解決手段】本発明による中エネルギーイオンビーム散乱を用いた分光分析器は、イオンを発生させるイオン源１０と、イオンを平行ビームとするコリメータ（collimator）２０と、平行ビームを加速する加速器３０と、加速されたイオンビームをパルス化するイオンビームパルス発生器４０と、パルス化されたイオンビームを試片１に集束させる集束対物レンズ５０と、集束されたイオンビームが試片１で散乱されたイオンビームパルスの分光信号を検出する検出器６０と、検出器６０により検出された分光信号を分析処理するデータ分析器７０と、を含んで構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】イオンビームの先端及び／もしくは後端にかける電位を変化させることで，イオンビームを圧縮或いは伸張させることのできる飛行イオンビーム制御装置及び方法或いは，上記イオンビームの長さ△ｔを電子的制御により短くすることで，エネルギー分解能を高めることのできる散乱イオン分析装置を提供すること。
【解決手段】分析対象物に向けて飛行するイオンビームの飛行経路に，上記イオンビームが通過するパルス圧縮電極と，該パルス圧縮電極との間に所定の間隔をあけて上記イオンビームが通過する接地電極を設け，上記パルス圧縮電極に与える電位を，そこを通過するイオンビームの位置に応じて変化させるようにしたことを特徴とするイオンビームの飛行制御装置。 （もっと読む）

【課題】
集束イオンビーム形成装置において、加速器と集束レンズ系を一体化とすることにより小型化を実現するとともに、加速器の加速管も集束レンズ系の一部とすることで装置全体の縮小率も最大化することで、ナノビームを形成する。
【解決手段】
加速器が、折り返し型タンデム加速器であるため、高電圧ターミナル部に１８０°分析電磁石を置き、高エネルギー側の加速管の入口部にエネルギー分析及び発散制限スリット機能を有するスリットを設置し、再度、単孔レンズ効果を有する加速管によりビームを加速するとともに、集束を行い、ＭｅＶ領域高エネルギーイオンナノビームを形成する。 （もっと読む）

【課題】 磁場の発生領域（平行磁場領域）内に設置された試料に対してイオンビームを照射する際に，前記試料の測定部に対して前記イオンビームを十分に収束させた上で照射することにより，前記照射半径を小さくすることが可能な散乱イオン測定装置，散乱イオン測定方法を提供すること。
【解決手段】 イオンビーム２の進行方向に沿って複数の収束電磁石７を配列し，前記平行磁場領域の境界面状において前記イオンビーム２を収束させる。これにより，前記平行磁場領域には前記イオンビーム２の再収束点が形成されるので，試料１をその測定部が前記再収束点と一致するように配置する。 （もっと読む）

【課題】 電子ビームの軌道の調整作業を容易化して調整精度を向上させると共に，装置の稼動中における電子ビームのずれを容易に検出すること。
【解決手段】 加速器Ｙ１から出射されたイオンビームＬのビーム電流を測定する分割電極１０或いはファラデーカップ２０等のビーム電流測定手段を試料分析装置の測定室７３ａに設け，このビーム電流測定手段によるビーム電流の測定値に基づいてイオンビームＬの軌道位置を検出する。これにより，測定されたビーム電流を電流計測器等でモニタリングしながらイオンビームＬの軌道調整を行うことが可能となる。 （もっと読む）