【課題】 真空度の悪化、構造物の組立不良等に基づくイオンヒ゛ームの不正確な測定による誤った制御を行なわずウェハ等に不純物注入を行うイオン注入装置を提供する。
【解決手段】 ト゛ース゛ファラテ゛ー1は、イオン照射対象物のウェハ4に照射するイオンヒ゛ーム6の軌道外に設けられ、ウェハ4へのイオン注入処理中のイオンヒ゛ーム6のヒ゛ーム電流を測定する。フロントファラテ゛ー2は、ト゛ース゛ファラテ゛ー1近傍のイオンヒ゛ーム6の軌道上に設けられ、イオン注入処理前にイオンヒ゛ーム6のウェハ4の上流のヒ゛ーム電流を測定する。ハ゛ックファラテ゛ー5は、イオンヒ゛ーム6の軌道上に設けられ、イオンヒ゛ーム6のウェハ4の下流のヒ゛ーム電流を測定する。フロントファラテ゛ースリット3は、ウェハ4に対して照射されるイオンヒ゛ーム6を通過させる。図に示さない制御装置は、フロントファラテ゛ー2で測定したイオンヒ゛ーム6のヒ゛ーム電流値と、ハ゛ックファラテ゛ー5で測定したイオンヒ゛ーム6のヒ゛ーム電流値との一致を確認し、ト゛ース゛ファラテ゛ー1で 計測されるヒ゛ーム電流値を、フロントファラテ゛ー2、ハ゛ックファラテ゛ー5で計測されるイオンヒ゛ーム電流値と一致させるための係数Dffを演算する。 （もっと読む）