【課題】複数のカラムを備える粒子ビーム装置に於いて、試料との相互作用粒子の高エネルギー分解能と検出効率を実現する。
【解決手段】第１粒子ビームカラム２、第２粒子ビームカラムおよび少なくとも１つの検出器３４を有する粒子ビーム装置に於いて、検出器は第１中空体３６，３７内部の第１吸入口３９，４０を有する第１キャビティ３５，３８内において、第１粒子ビームカラム２および第２粒子ビームカラムが配置される平面とは異なる平面上に配置される。第１粒子ビームカラム２上には少なくとも１つの制御電極４１が配置され、第２粒子ビームカラムは終端電極を有する。第１相互作用粒子および／または第２相互作用粒子が第１吸入口３９，４０経由で第１中空体３６，３７内部の第１キャビティ３５，３８に入射するように、第１中空体電圧、制御電極電圧、および／または終端電極電圧を選択する。 （もっと読む）

【解決手段】１つの実施形態は、荷電粒子エネルギー分析器装置に関する。第１のメッシュは、第１の側部上で荷電粒子を受け取り、荷電粒子を第２の側部に受け渡すように配列され、第１の電極は、第１のキャビティが第１のメッシュの第２の側部と第１の電極との間に形成される。第２のメッシュは、第２の側部上で荷電粒子を受け取り、荷電粒子を第１の側部に受け渡すように配列され、第２の電極は、第２のメッシュの第１の側部と第２の電極との間に第２のキャビティが形成される。最後に、第３のメッシュは、第１の側部上で荷電粒子を受け取り、荷電粒子を第２の側部に受け渡すように配列され、位置検知荷電粒子検出器は、荷電粒子が第３のメッシュを通過した後に、荷電粒子を受け取るように配列される。 （もっと読む）

高透過およびエネルギー分解能を同時に可能にする荷電粒子エネルギー分析計が記載されている。この分析計は、内側電極表面および外側電極表面（ＩＳ、ＯＳ）それぞれを有する同軸の内側電極および外側電極（１４、１５）を含む電極構造（１１）を有する。この内側電極表面および外側電極表面は、電極構造（１１）の縦軸に対称に直交する子午表面を有する回転楕円体の表面によって、少なくとも部分的に画定されている。内側電極表面および外側電極表面は、それぞれ異なる半径Ｒ_２およびＲ_１（Ｒ_２はＲ_１より大きい。）を有する２つの非同心円の弧の縦軸回りの回転により生成される。それぞれの子午面における縦軸からの外側電極表面の距離は、Ｒ_0１であり、そしてそれぞれの平面における縦軸からの内側電極表面の距離は、Ｒ_０２およびＲ_１、Ｒ_２、Ｒ_０１であり、そしてＲ_０２は、規定された関係を有する。
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完全に平坦な形態を有し、要素は平坦な非導電性基板に配置され、扇形とりわけ９０°の扇形として構成される、イオンのためのエネルギーフィルター（ｋ）と、イオン化チャンバー（ｂ）と、電子およびイオンを加速するための電極（ｇ、ｈ、ｊ）と、イオンの検出器（ｌ）と、エネルギーフィルター（ｋ）とを含むことを特徴とする質量分析計は、基板に、ドープした小さな半導体プレートおよび配線のフォトリソグラフィーおよびエッチングにより作られ、前記の部品は第２の平坦な非導電性基板により覆われている。
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プラズマにおけるイオン種を監視する飛行時間型イオンセンサは、ハウジングを含む。ハウジング内にはドリフトチューブが配置される。プラズマからのイオンを引き付けるよう、ハウジング内のドリフトチューブの第１の端部に抽出器電極が配置される。抽出器電極の近傍のドリフトチューブの第１の端部には複数の電極が配置される。複数の電極は、引き付けられたイオンの少なくとも一部がドリフトチューブに入り、ドリフトチューブの第２の端部の方へ移動するようバイアスされる。ドリフトチューブの第２の端部の近傍にはイオン検出器が配置される。イオン検出器は、引き付けられたイオンの少なくとも一部に関連する到着時間を検出する。 （もっと読む）

【課題】多重周回可能な周回軌道を利用してイオン等の荷電粒子の運動エネルギーを高い分解能で以て測定する。
【解決手段】複数のトロイダル電場Ｅ１、Ｅ２を用いてイオンが２周回する毎に、イオンの初期位置及び初期角度について時間的に収束する一方、イオンが持つ運動エネルギーについて時間的に収束しない周回軌道を形成する。また、周回軌道を含む水平面内でイオンを初期位置、初期角度及び初期運動エネルギーに拘わらず２周回毎に空間収束させるとともに、垂直面内でも発散しない軌道とすることにより高いイオン透過率を達成する。これにより、飛行時間は運動エネルギーにのみ依存し、周期軌道を周回させるほどエネルギー分解能を高めることができる。 （もっと読む）