【課題】例えば幅広ビーム源への使用に好適な、実用性に優れるラインプラズマ発生装置を提供する。
【解決手段】ラインプラズマ発生装置１０は、長手方向にマイクロ波を伝搬するための導波管１４と、長手方向に沿って配設され、導波管１４にプラズマを閉じ込めるための長手方向に交差する磁場を発生させるための磁石１６と、を備える。導波管１４は、側壁２４から管内に突き出して長手方向に延びるリッジ部２６を備え、リッジ部２６は側壁２４の外表面に長手方向に延びる凹部２８を形成してもよい。磁石１６は、凹部２８に配設されていてもよい。 （もっと読む）

【課題】それぞれの光照射源に略均一に冷却風を送風可能な光照射装置を提供する。
【解決手段】実施形態の紫外線照射装置（光照射装置）は、給気ダクト４を介して内部に冷却媒体を給気可能な長尺で中空の給気ボックス２（ボックス）と、給気ボックス４の長手方向に沿って複数配置されたＵＶ照射モジュール５１〜５６（光照射源）と、給気ボックス４の長手方向に沿って複数設けられた、内部に空間６１１〜６６１を備え、空間６１１〜６６１を介してＵＶ照射モジュール５１〜５６に冷却媒体を供給する分岐ダクト６１〜６６と、複数の分岐ダクト６１〜６６の近傍に設けられた、空間６１１〜６６１において障害物となることにより、分岐ダクト６１〜６６を通過する冷却媒体の風量を調整可能な風量調整機構９１〜９６と、を具備している。 （もっと読む）

【課題】それぞれの光照射源に略均一に冷却風を送風可能な光照射装置を提供する。
【解決手段】光照射装置は、内部に細長い空間２１を備える長尺の給気側ボックス２と、出風口４１を備え、出風口４１から空間２１に冷却媒体を供給可能なように、給気側ボックス２に接続された給気ダクト４と、空間２１の長手方向に沿うように配置されたＵＶ照射モジュール５１〜５７（光照射源）を具備している。さらに、給気側ボックス２１は、空間２１の長手方向に沿うように設けられた分岐ダクト６１〜６７と、分岐ダクト６１における空間２１の高さＨ１を、分岐ダクト６２における空間２１の高さＨ２よりも低くするように設けられた傾斜面２３をさらに備えているとともに、給気ダクト４の出風口４１は、傾斜面２３に向かって冷却媒体を送風するように、空間２１の長手方向の端部に配置されている。 （もっと読む）

【課題】紫外線を反射させる平板状の反射板を用いながらランプの温度上昇を抑える。
【解決手段】ランプハウス１１内に、マグネトロン１３１，１３２が発生するマイクロ波に基づき紫外線を発光することが可能な放電媒体が封入された無電極ランプ１２が配置される。ランプハウス１１内のマグネトロン１３１，１３２および無電極ランプ１２は、ファンを主体とする冷却機構２０を用いて冷却する。無電極ランプ１２は、平板状の反射板２１１，２１２の空隙２４ａ，２４ｂを介して流入される冷却機構２０の冷却風により冷却される。反射板２１１，２１２には、空隙２４ａ，２４ｂに流入される冷却風の流速を速める冷却制御部材２５ａ，２５ｂを形成した。これにより、平板状の反射板２１１，２１２を用いながら、信頼性上の適温であるされるランプ温度８５０℃以下の実現が可能となる。 （もっと読む）

【課題】
金属製チャンバー内にマイクロ波を導入して点灯するマイクロ波放電ランプにおいて、放電ランプとアンテナの過熱による放電ランプ装置の不具合を防止する。

【解決手段】
金属製チャンバー内の空間を反射鏡により分割し、一方の空間に吸気口を設け、もう一方の空間に排気口を設ける。これにより、吸気口から、チャンバー内の空間を分割した反射鏡の開口部を通り、排気口に至る空気が流れる通風路ができる。この経路上に放電ランプとアンテナを配置することにより、流れる空気で熱源を効率的に冷却でき温度上昇による装置の不具合の発生を防止する。 （もっと読む）

無電極のマイクロ波のランプ１は、マイクロ波源としてのマグネトロン２と、内部でプラズマを発生させる励起可能な材料を有する半透明のルツボ５とを有している。前記マグネトロンからのマイクロ波を前記ルツボに結合させるために、中空の導波路の結合回路４が設けられており、入力部である前記マグネトロンの出力は一端から１／４λ離れた位置に設けられ、前記ルツボ対する入力である出力部が他端から１／４λ離れた位置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】無電極ランプを励起して紫外線を生成させるマグネトロンの冷却効率を向上させてマグネトロンの長寿命化を図る。
【解決手段】筐体１１内に、マイクロ波を発生するマグネトロン１３１，１３２および導波管１５１，１５２を介してマイクロ波に基づき紫外線を発光することが可能な放電媒体が封入された無電極ランプ１２が構成される。筐体１１内のマグネトロン１３１，１３２および無電極ランプ１２は、ファンを主体とする冷却機構２０により冷却する。無電極ランプ１２から照射される前記ランプの紫外線は、被照射物に対して反射板２１を用いて集光または拡散させる。導波管１５１，１５２には、マイクロ波が漏れない程度の大きさの冷却孔を複数形成し、これら冷却孔の形状をマグネトロン１３１，１３２近傍は大きい大冷却孔部２３１，２３２とし、無電極ランプ１２近傍は小さい小冷却孔部２４１，２４２とした。 （もっと読む）

【課題】無電極ランプを放電させるマグネトロンの寿命を損なわずに、調光時における良好な発光スペクトルを実現する。
【解決手段】ランプハウス１１内に、マイクロ波を発生するマグネトロン１３１，１３２および導波管１５１，１５２を介してマイクロ波に基づき紫外線を発光することが可能な放電媒体が封入された無電極ランプ１２が構成される。ランプハウス１１内のマグネトロン１３１，１３２および無電極ランプ１２は、吸気口１７から空気を送り込み、ダクト２１の排気口２１４から排熱させることで冷却を行う。無電極ランプ１２に接触させて冷却させるための送風量は、マグネトロン１３１，１３２を駆動する電源１４の出力を下げたときには少ない量とした。これにより無電極ランプ１２の過冷却を防止して調光時における良好な発光スペクトルを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】マイクロ波に基づき無電極ランプから紫外線を得る紫外線照射装置の無電極ランプの交換性を向上させる。
【解決手段】マグネトロン１３１，１３２から発振されたマイクロ波を、アンテナ１６１，１６２から送信させ、導波管１５１，１５２の先端から放電媒体が封入された管状の無電極ランプ１２に伝達させる。無電極ランプ１２では、マイクロ波に基づき紫外線を放射させる。無電極ランプ１２から照射される紫外線は、反射板２１で集光または拡散させ、被照射体に照射させる。無電極ランプ１２と反射板２１は、金属製のフレーム２４で一体化し空間体の空洞共振部２３を構成している。マグネトロン１３１，１３２、導波管１５１，１５２、空洞共振部２３は、共通の筐体１１内に収納されて紫外線照射装置を構成する。空洞共振部２３は、筐体１１外に開閉蓋２９から取り出し可能とし、無電極ランプ１２あるいは反射板２１の交換性の向上を図った。 （もっと読む）

【課題】複数のマグネトロンの備えた場合におけるシステムの小型化を実現しながら、マグネトロンに対する適切な冷却効果を確保することで良好な紫外線の特性を実現する。
【解決手段】筐体１１内に、マイクロ波を発生するマグネトロン１３１，１３２および導波管１５１，１５２を介してマイクロ波に基づき紫外線を発光することが可能な放電媒体が封入された無電極ランプ１２が構成される。筐体１１内のマグネトロン１３１，１３２および無電極ランプ１２は、ファンを主体とする冷却機構２０により冷却する。無電極ランプ１２から照射される前記ランプの紫外線は、被照射物に対して反射板２１を用いて集光または拡散させる。マグネトロン１３１と１３２の配置間隔は、２０ｍｍ以上に設定する。 （もっと読む）

【課題】光の波長を任意に選択することができる紫外線照射用光源を提供する。
【解決手段】紫外線照射用光源は、紫外線照射ランプ１と、この紫外線照射ランプ１で生じた光のうちの一部の波長成分を吸収するケイ酸塩膜であって、Ｓ_ｉＯ_２の他にＣ_ｅ，Ｔ_ｉ，Ｚ_ｎ，Ｙ，Ｚ_ｒ，Ｍ_ｇ，Ａ_ｌ，Ｆ_ｅ，Ｃ_ｕのいずれかの酸化物の１種以上を含むケイ酸塩膜４とを備える。吸収される光の波長は、選択した金属の種類と配合比に応じて変えることが出来、よって、光の波長を任意に選択することができる。 （もっと読む）

【課題】照射装置においてマイクロ波のエネルギー量による影響が少ない安定な発光スペクトルを得る。
【解決手段】風量制御機構６が、検出器５，５により検出されたエネルギー量に基づいて、送風機構４の風量を計算する。具体的には、エネルギー量が第１のエネルギー量であるときの風量を第１の風量とし、検出されたエネルギー量が第１のエネルギー量より小さい第２のエネルギー量であるときの風量を第２の風量としたときに、第１の風量＞第２の風量となるように、風量を計算する。次に、風量制御機構６が、送風機構４の風量が、計算された風量となるように送風機構４を制御する。 （もっと読む）

【課題】装置構成を可及的に簡素化しながら、被照射物の種類に応じて、照射紫外線の光量分布の形状を柔軟に変化させられるようにする。
【解決手段】紫外線ランプ１１と、その紫外線ランプ１１から出射した紫外線を被照射物に向けて集光する反射鏡１２とが備えられた紫外線照射装置において、光軸方向における前記紫外線ランプ１１と前記反射鏡１２との相対的な位置を調節する位置調整機構が備えられ、前記位置調整機構にて前記紫外線ランプ１１又は前記反射鏡１２の位置を調節することによって、被照射物の種類に応じて、前記被照射物の存在位置での紫外線の光量分布におけるピーク強度と総積分光量との比率を変更する。 （もっと読む）

一つ以上の固体の誘電体物質からなる導波路本体を備えたプラズマランプ。導波路本体は、マイクロ波供給源と結合しており、これにより導波路本体が一つ以上の共振モードで共振する。一つ以上のランプ室は導波路本体と一体化しており、ランプ室が共振本体からエネルギーを受け取ったときに発光プラズマを生成する充填物を含有したバルブを備えている。バルブは、自己封入されているか、ランプ室開口部を覆う窓部またはレンズにより包囲密封されている。供給源が（ａ）導波路本体が単一モードで共振するような周波数で、あるいは（ｂ）導波路本体がプラズマ生成前の比較的に高次のモードで共振するような周波数で、および導波路本体がプラズマ安定状態後の比較的に低次のモードで共振するような別の周波数で作動する場合に、導波路本体から反射して供給源に戻るエネルギーは最小限になる。
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本発明に係るプラズマ照明装置の冷却構造は、外部空気をケースの内部に流入させて前記ケース内部の各発熱部品を冷却するための少なくとも２つの吐出口を有し、前記各吐出口の吐出流量が互いに異なるように形成されるファンハウジングを含むことにより、マグネトロンなどの高熱発生部品を効果的に集中冷却して部品の寿命を延長し、システムの性能を向上することができるという効果を提供する。
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