【課題】冷陰極装置の真空容器内の真空度を高めるため、容器内の真空排気時に冷陰極から吸着ガスを追い出すためにその冷陰極を昇温させることを実現できる冷陰極装置を提供する。
【解決手段】電圧の印加により電子を放出する冷陰極３と、冷陰極３を加熱するフィラメント４と、冷陰極３を支持する導電性を有した支持軸６と、冷陰極３、ヒータ４及び支持軸６を包囲する真空容器であるガラス管２と、ガラス管２の外部に出ておりフィラメント４につながっているヒータ端子７ａ，７ｂと、ガラス管２の外部に出ており支持軸６につながっている支持体端子７ｃとを有した冷陰極装置１である。ヒータ端子７ａ，７ｂと支持体端子７ｃとは互いに電気的に独立しており、それらに独自に所望の電圧を正確に印加できる。 （もっと読む）

【課題】電子放出素子の電子放出特性を劣化させることを避けつつ、生産コストを低減させた電界放出型光源を提供する。
【解決手段】ナノダイヤモンド／カーボンナノウォール膜を有する電子放出素子を、大気中において、５８０℃以下の温度で加熱する。 （もっと読む）

【課題】電子放出密度を比較的均一化させることが可能な電界放出型電極の製造方法を提供する。
【解決手段】電子放出膜が形成された電界放出型電極に加湿処理を施した上で、電界放出型電極と対向する電極との間にパルス電圧を印加する。パルス電圧に対応して電子放出膜上に付着した水分子が吸着、離脱を繰り返す。これにより、電子の放出強度が弱い領域、電子が放出されない領域からも電子が放出されるようになり、電界放出型電極の電子放出密度のムラを比較的均一化させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】エミッタ表面を有する冷陰極電界エミッタを含む荷電粒子ビーム照射デバイス、特に電子ビーム照射デバイスを動作する方法を提供する。
【解決手段】本方法は、（ａ）所与の引き出し電界下で高い初期照射電流と低い安定平均照射電流とを示す冷陰極電界エミッタを真空中に配置する段階と、（ｂ）エミッタ表面から電子を照射するために冷陰極電界エミッタに引き出し電界を印加して、冷陰極電界エミッタの照射電流が安定平均照射電流よりも高くなるようにする段階と、（ｃ）少なくとも１つの加熱パルスを印加してエミッタ表面を温度にまで加熱することにより清浄化処理を行い、清浄化処理は、冷陰極電界エミッタの照射電流が低い安定平均照射値にまで低下する前に行われるようにする段階と、（ｄ）清浄化処理（ｃ）を繰返して、冷陰極電界エミッタの照射電流が安定平均照射値を連続的に上回るように維持する段階とを含む。 （もっと読む）

【課題】電子放射源を製造するために電気泳動堆積技術を用いる方法を提供する。
【解決手段】気泡除去装置７１の使用によって、カソード構造体上に形成される気泡が除去される。また、カソード電極層上に複数のカーボンナノチューブが均一に堆積されて電子放射源が形成されるまで電気泳動堆積とベーキングとを繰り返すことによって、分極現象の発生を抑制する。 （もっと読む）

【課題】陽極酸化膜中の欠陥を低減し、高信頼性かつ長寿命の薄膜電子源とこの薄膜電
子源を用いた画像表示装置を提供する。
【解決手段】絶縁基板１０上に第１の電極１１と絶縁層１２と第２の電極１３とをこの
順に積層してなる薄膜電子源の上記絶縁層１２を陽極酸化法によって形成し、該絶縁層中
に存在する欠陥数を３×１０¹⁹個／ｃｍ³以下とした。 （もっと読む）

【課題】 電界放出型冷陰極のエージングにおいて、アノードから発生するガスの影響によるカソードの損傷を防ぐことが可能なエージング装置およびエージング方法を提供する。
【解決手段】 エージング装置１００は、ゲート２およびカソード１を備え、ゲート２にゲート電圧が印加されることによりカソード１から電子が放出される電界放出型冷陰極１０をエージングするためのエージング装置であって、ゲート電圧を制御するゲート電圧制御部２３と、電子の放出先であるアノード３に流れ込むアノード電流の変動を測定する変動測定部２１とを備え、ゲート電圧制御部２３は、測定されたアノード電流の変動および放出される電子の量または速度に影響を与える電圧に基づいてゲート電圧を変更する制御を行なう。 （もっと読む）

【目的】電界放出素子が電子源の撮像素子でエミッションを安定化する。
【構成】エミッタ２とカソード３とゲート４とメッシュ電極５とターゲット６を備えた撮像素子において、フェーズ０で撮像素子の外囲器内を真空吸引し始めた後、メッシュ電流I3の安定を確認しつつ、フェーズ1-2 で駆動を立ち上げてライン制御でゲート電圧V1を段階的に上昇させ、フェーズ3-5 においてカソード電圧V2も段階的に上昇させてラスター駆動し、フェーズ６で定常状態に至る。メッシュ電流が安定した状態をホールドしてから段階的に電圧を昇圧するので、放電を起こさずエミッタから安定的に脱ガスしつつ常用電流に達する。ガス放出による電界放出の暴走やショートが未然に防止されてカソードの破壊等を防止できる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は電子銃エミッターの成形方法及びシステムに関し、エミッターのビルドアップを最終的に使用する装置において、自動的に行なうことができるエミッターの成形方法及びシステムを提供する。
【解決手段】 エミッター１３ａを備えた電子銃１３と、該エミッター１３ａに所定の加熱処理及び／又は電圧の印加処理を行なう電子銃コントロール回路２７と、前記エミッター１３ａの電子の出口近辺に設けたスクリーン２０と、該スクリーン２０を外部より観察できるようにしたスクリーン観察窓２１，２２と、該観察窓からスクリーン２０の状態を観察するパターン観察カメラ２３と、該パターン観察カメラ２３の出力を取り込んでエミッションパターンを取得し、パターン認識により所定の基準パターンと比較し、比較結果に応じて前記電子銃コントロール回路２７に制御信号を与えるコンピュータ２５とにより構成される。 （もっと読む）

【課題】電子放出部に付着した汚染源による表示装置の異常発光を防止するとともに、電子放出素子の電子放出性能を向上することが可能な表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】アノード電極１５が設けられたアノードパネル２と、アノード電極１５に向けて電子を放出する電子放出部９およびカソード電極５が設けられたカソードパネル１とを対向配置してなる電界放出型の表示装置の製造方法であって、カソードパネル１とアノードパネル２とを電極形成面側を対向させた状態で対向配置し、カソードパネル１とアノードパネル２の周縁部をシール材で接合する工程と、前記周縁部で接合された状態のカソードパネル１とアノードパネル２との間隙に、カソードパネル１またはアノードパネル２に設けられた貫通孔１６Ａからガスを導入して、間隙内の表面処理を行う工程と、貫通孔１６Ａを封止する工程とを有する表示装置の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】カソードパネルの損傷発生、カソードパネルにおける放電破壊といった問題が生じることなく、カットオフ電圧Ｖ_CUTあるいはその近傍において電子を放出する冷陰極電界電子放出素子を、動作上、除去することを可能とするカソードパネルのコンディショニング方法を提供する。
【解決手段】カソードパネルのコンディショニング方法は、カソード電極１１、ゲート電極１３、及び、電子放出部を有する電子放出領域を具備したカソードパネルを、電子放出領域に対向した検査用電極が備えられたコンディショニング用のチャンバ内に配置し、コンディショニング用のチャンバを排気しながら、各カソード電極１１に一定の電圧Ｖ_Cを印加し、検査用電極１１１に電圧Ｖ_IEを印加した状態で、各ゲート電極１３に、最小電圧値Ｖ_G-MIN及び最大電圧値Ｖ_G-MAXを有するパルス状の電圧（但し、Ｖ_G-MIN＜Ｖ_C＜Ｖ_G-MAX≪Ｖ_IE）を印加する。 （もっと読む）

【課題】基板を効率良く耐圧処理し、耐圧の高い画像表示装置を製造することが可能な基板処理方法および基板処理装置を提供する。
【解決手段】処理対象基板１１よりも小さな寸法を有し表面が誘電体３６で覆われた処理電極３４と処理対象基板１１とを、誘電体を挟んで対向配置する。対向配置された処理対象基板と処理電極とを相対移動させ、処理対象基板の表面を処理電極により走査する。相対移動の間、処理対象基板と処理電極との間に電界を印加して処理対象基板を耐圧処理する。 （もっと読む）

【課題】カーボンナノチューブの高さのばらつきによる電子放出特性の不均一性を改善することができる表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】カソード電極５、ゲート電極７及び電子放出部９を有し且つ電子放出部９をカーボンナノチューブ１１を用いて形成してなるカソードパネル１と、アノード電極１５を有するアノードパネル２とを実際に組み付ける前に、それらのパネル１，２を真空中で対向状態に配置して、カソード電極５、ゲート電極７及びアノード電極１５の各電極間に、実駆動時の最大ピーク電圧よりも高い所定の電圧を印加するコンディショニング工程を行う。 （もっと読む）