【課題】マスクパターンを、それぞれ少なくとも一部が基板の一部と重なる複数のパターン投影領域に、順次、走査方式によって投影して基板を露光する場合に、一部が基板の縁の外側に配置されるパターン投影領域が存在する場合であっても、マスクパターンに基づいてパターニングされる層の幅のばらつきを小さくする。
【解決手段】パターン投影領域２８毎に、投影光学系を介してマスクパターンの一部をパターン投影領域２８の一部に投影しながらマスクと基板２とを同期してＸ方向に移動させることによって、露光領域を、パターン投影領域２８におけるＸ方向の両端部のうちの一方から他方に向かって移動させる。パターン投影領域２８が、その一部が基板２の縁の外側に配置される周辺投影領域２８Ｅである場合には、その領域におけるＸ方向の両端部のうち、基板２と重なる部分が長い端部から他方の端部に向かって露光領域を移動させる。 （もっと読む）

【課題】 磁気ヘッドの最下層コイル−下部ヨーク間、最上層コイル−上部ヨーク間の絶縁性を各別に評価できる方法を提供する。
【解決手段】 ウエハ内に、所定の分布で（ｂ）のテストパターンを設ける。テストパターンは、（ａ）の素子パターンと比較すると、コイルコンタクト部４に対応する部分が絶縁層によって上下に分断されている。この分断は、この箇所において、コイルリフトアップ絶縁層１２を設けずに第１層コイル１を形成することにより実現できる。以上により、テストパターンでは、第１層コイル１と第２層コイル２が電気的に断絶され、第１層コイル１−ヨーク間、第２層コイル２−ヨーク間の絶縁性を各別に測定できる。テストパターンはウエハ内に所定の分布で配置されているので、テストパターンの絶縁性を測定すると、その周辺の素子の絶縁性を類推することにより、ウエハ内の全素子の絶縁性を評価できる。 （もっと読む）

【課題】スキューに起因した問題の発生を防止できる形状を有し且つ幅の小さな磁極層を正確に形成する。
【解決手段】媒体対向面に配置された磁極層１６の端部は、基板１に近い第１の辺Ａ１と、第１の辺Ａ１とは反対側の第２の辺Ａ２と、第１の辺Ａ１の一端と第２の辺Ａ２の一端とを結ぶ第３の辺Ａ３と、第１の辺Ａ１の他端と第２の辺Ａ２の他端とを結ぶ第４の辺Ａ４とを有している。第２の辺Ａ２は、トラック幅を規定する。媒体対向面に配置された磁極層１６の端部の幅は、第１の辺Ａ１に近づくに従って小さくなっている。磁極層１６は、非磁性絶縁材料よりなる磁極層収容層１２の溝部１２ａ内に、非磁性導電膜１３を介して配置されている。磁極層１６は、溝部１２ａの表面に近い位置に配置された第１層１６１と、溝部１２ａの表面から遠い位置に配置された第２層１６２とを有している。 （もっと読む）

【課題】 積層断面における微小部分の構造確認や組成分析などの解析に適した薄膜磁気ヘッドを提供する。
【解決手段】 薄膜磁気ヘッド１は、ＭＲ膜１５を有する磁気変換素子２０と、直交する高さ方向の寸法が幅方向に沿って連続的に増大するように延在する第１研磨パターン３１を含む第１研磨パターン対３０とを備えている。薄膜磁気ヘッド１を幅方向に沿って研磨加工をおこなうと、その研磨量に応じて研磨面に表出する第１研磨パターン３１の高さ方向の寸法が連続的に増大することとなる。第１研磨パターン３１の高さ方向の寸法が所定値に達した時点で研磨を終了すれば、所望の積層断面を容易に得ることができ、微小部分の構造確認や組成分析などの解析に好適なものとなる。 （もっと読む）

【課題】 記録磁界を効果的に主磁極先端部に誘導することができるとともに、サイドフリンジングを抑制できる垂直磁気記録ヘッドを提供する。
【解決手段】 第１の磁性部である補助磁極層２１と、前記補助磁極層２１から間隔を空けて形成された第２の磁性部である主磁極層２４とが設けられ、前記補助磁極層２１と主磁極層２４との間隔内に記録磁界を与えるコイル層が設けられている。前記主磁極層２４に接してヨーク層１３５が形成されており、前記ヨーク層１３５は、ハイト方向後方に向かって、段階的または連続的に幅寸法が広がるとともに、上面から下面に向って段階的または連続的に幅寸法が広がる。 （もっと読む）

【課題】熱放散特性を改善した磁気データ書き込み部コア構造体用トランスジューサの構造と製造方法を開示する。
【解決手段】書き込み部コア構造体用トランスジューサ３８は空気ベアリング面を有し、底部電極３２と、空気ベアリング面で書き込みギャップ４８により底部電極と分離された最上部電極４６を含む。コア５０は底部電極と最上部電極の間に形成され、導電コイル４４はコアの中に配置される。データ・トランスジューサは、コイルから熱エネルギーを放散する手段をさらに含む。この手段には、導電コイルの巻き線に合致する絶縁体と、コアの中に堆積する熱伝導度が大きい材料のコア充填部４４が含まれ、これらの絶縁体の材料と具備すべき物理的特性の数値が与えられている。 （もっと読む）