【課題】近接場光発生部を含む前端面の幅が小さなプラズモンジェネレータを製造する。
【解決手段】プラズモンジェネレータ５０は、表面プラズモンを伝播する伝播部５１を備えている。伝播部５１は、下面５１ａ、上面５１ｂ、第１の側面５１ｃ、第２の側面５１ｄ、前端面５１ｅを有している。前端面５１ｅは近接場光発生部５１ｇを含んでいる。プラズモンジェネレータ５０の製造方法は、ベース部を形成する工程と、後にプラズモンジェネレータとなる金属膜を形成する工程と、充填層を形成する工程を備えている。ベース部は、ベース面と、ベース面から突出した突出部とを備え、突出部は、ベース面に対して高低差を有する上面と、ベース面と突出部の上面とを連結する第１の側壁２４１Ｐｂとを有している。金属膜は、第１の側壁２４１Ｐｂに付着した付着部を含んでいる。充填層は、第１の側壁２４１Ｐｂとの間で付着部を挟む第２の側壁を有している。 （もっと読む）

【課題】安定的に薄膜をパターニングするためのマスクの作成方法を提供する。
【解決手段】本発明は、薄膜をパターニングするためのマスクの作成方法に関する。この方法は、基板の上にアルカリ溶液に可溶な無機材料を成膜するステップＳ１と、無機材料を所定のパターンに形成するステップＳ２と、無機材料をアルカリ溶液によって狭小化してマスクを形成するステップＳ３と、を含む。 （もっと読む）

【課題】主磁極と高周波発振子とを正確に位置合わせし書込み特性に優れた磁気記録ヘッドを製造することが可能な磁気記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、記録磁界を印加する主磁極６６と、前記主磁極にライトギャップを置いて対向するトレーリングシールドと、前記主磁極とトレーリングシールドとの間に設けられ、高周波磁界を発生する高周波発振子７４と、を備える磁気記録ヘッドの製造方法は、主磁極を形成し、前記主磁極のトレーリング側端面および側壁に重ねて、スピン注入層、発振層、キャップ層を有する発振子形成層８６を成膜し、前記発振子形成層の内、前記主磁極の側壁上に形成された部分を除去し、少なくとも前記主磁極のトレーリング側端面の幅に整合した高周波発振子７４を形成する。 （もっと読む）

【課題】トラック端部での記録磁場の勾配を高めることのできるＰＭＲヘッドを提供する。
【解決手段】このＰＭＲヘッドは、基体８の上に、リーディングエッジ２０ａとトレーリングエッジと第１および第２の側面２０ｓ１，２０ｓ２とを含むライトポール２０と、ライトギャップ２４と、一対のサイドギャップ２１と、一対のサイドシールド２２と、トレーリングシールド２３とを備える。トレーリングエッジは、基体８の上面と平行であって第１および第２のコーナーでそれぞれ終端する第１および第２の端部２０ｂ，２０ｄと、それらより基体８と近づくようにリセスした中央部２０ｃとを含む。ライトギャップ２０は、第１および第２の端部２０ｂ，２０ｄを覆う部分よりも中央部２０ｃを覆う部分において大きな厚さを有する。 （もっと読む）

【課題】ＳｉＯ_２またはＳｉＯＮよりなる被エッチング層に対して、所定の角度で交わる２つの壁面を有する溝部を形成する。
【解決手段】ＳｉＯ_２またはＳｉＯＮよりなり上面を有する被エッチング層をテーパエッチングする方法である。この方法は、被エッチング層の上面の上に、開口部５２ａを有するエッチングマスク５２を形成する工程と、被エッチング層に、所定の角度で交わる２つの壁面を有する溝部が形成されるように、反応性イオンエッチングによって、被エッチング層のうち開口部５２ａから露出する部分をテーパエッチングする工程とを備えている。エッチングマスク５２は、Ａｌ元素を含む材料によって構成されている。テーパエッチングする工程は、被エッチング層のエッチングに寄与する主成分ガスとＮ_２とを含むエッチングガスを用いる。 （もっと読む）

【課題】後端面が基板の上面に対して垂直またはほぼ垂直で、前端面において、基板の上面により近い第１の端部が、基板の上面からより遠い第２の端部に比べてトラック幅方向の幅が小さい形状の主磁極を容易に形成する。
【解決手段】第１の開口部を有する第１のエッチングマスクを用いて、ＲＩＥによって初期収容層２０Ｐをエッチングして溝部２０Ｐ１を形成する。次に、溝部２０Ｐ１が収容部になるように、第２の開口部を有する第２のエッチングマスク５４を用いて、ＲＩＥによって初期収容層２０Ｐの溝部２０Ｐ１を含む部分をエッチングする。次に、収容部内に主磁極を形成する。第１のエッチングマスクは、トラック幅方向について第１の間隔をあけて対向する第１および第２の側壁を有する。第２のエッチングマスク５４は、第１の間隔よりも大きい第２の間隔をあけて対向する側壁５４ａ，５４ｂを有する。 （もっと読む）

【課題】構造部の断面をミル処理する際の、局部的な形状変化を制御する改良された方法であって、測定精度を向上させるため、記録ヘッドの断面での局部的な形状変化を抑制する際に使用される方法である。
【解決手段】局部的な形状変化は、大きな入射角において、その入射角における構造部のミル処理速度とほぼ等しいミル処理速度を有する材料からなる保護層によって抑制される。大きな入射角において、その入射角における構造部のミル処理速度とは異なるミル処理速度を有する材料を含む保護層を用いて、局部的な形状変化を意図的に導入することも可能である。 （もっと読む）

【課題】コア、クラッドおよび散乱体の相対位置、散乱体の寸法を高精度に製造できる近接場光発生素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】基板に設けられたクラッドに凹溝およびＶ溝を形成し、それぞれの溝内部にコアおよび金属構造物を成膜した後、基板表面を平坦化する。その上からクラッドを再び成膜した後、基板を切断し、Ｖ溝内に形成された金属構造物が所定厚さになるよう切断面を研磨し、散乱体を形成する。 （もっと読む）

【課題】 光導波路の媒体対向面に近接場光発生素子が容易かつ高精度に成形可能な近接場光発生装置、及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 第１導波路と、第１導波路の光軸上に備えられた第２導波路と、第１導波路と第２導波路との間に離間部とを備える。次に、離間部に金属材料を入射することにより、第２導波路の断面に金属膜を成膜し、第１導波路をマスクとして金属膜をエッチングすることにより、金属膜は、第２導波路の光軸上に近接場光発生素子として形成される。 （もっと読む）

【課題】不均等なサイドギャップを有する磁気記録ヘッドおよびその作製方法を提供する。
【解決手段】一実施形態において、磁気ヘッドには、ダウントラック方向に対してリーディング側およびトレーリング側を有する主磁極と、主磁極に隣接してクロストラック方向に配置されるサイドギャップ層と、サイドギャップ層に隣接してクロストラック方向に配置されるサイドシールド層と、を含む。ダウントラック方向は主磁極に対する媒体の移動方向であり、クロストラック方向はダウントラック方向に垂直であり、サイドギャップ層は、ダウントラック方向の溝をその中に有し、その中に配置される主磁極を有することを特徴とし、サイドシールドは、ダウントラック方向に形成される溝をその中に有し、その中に配置されるサイドギャップ層を有することを特徴とし、サイドギャップは形状が不均等であり、主磁極の位置に対するサイドシールドの位置は自己整列される。 （もっと読む）

【課題】前縁シールド（ＬＥＳ）およびテーパ付き前縁（ＬＥＴ）を有するテーパ付き磁極の作製方法を提供する。
【解決手段】前縁シールドは、ＣＭＰ停止層を利用することによって形成されてもよい。ＣＭＰ停止層は、磁性材料の過剰研磨を防止するのに役立つ可能性がある。テーパ付き前縁を有するテーパ付き磁極の場合、磁性材料が、平坦化層上に堆積され、パターニングされるレジスト材料が形成され、露光された磁性材料がエッチングされて、磁性材料の少なくとも１つのテーパ付き表面が形成される。 （もっと読む）

【課題】ラップアラウンドシールドとコンフォーマルサイドギャップとを備えた垂直書き込みヘッドを提供する。
【解決手段】ラップアラウンドシールドとコンフォーマルサイドギャップとを有する垂直書き込みヘッド。書き込みヘッドの製造において、リーディングエッジシールドが、化学機械研磨ストッパ層と実質的に面一レベルになるまで化学機械研磨され得る。リーディングエッジシールド及び化学機械研磨ストッパ層がトレンチＲＩＥのＲＩＥストッパとして使用されるため、ＬＴＥ／ＬＥＳと完全にコンフォーマルなサイドシールドが形成され得る。 （もっと読む）

【課題】前縁シールド（ＬＥＳ）および前縁テーパ（ＬＥＴ）を有するＰＭＲライタの製造方法を提供する。
【解決手段】前縁シールドおよびテーパ付き前縁部を有するテーパ付き磁極の製造方法が提供される。前縁シールドは、ＣＭＰ停止層を利用することにより形成し得る。ＣＭＰ停止層は、磁性材料の過剰研磨の防止に役立ち得る。テーパ付き前縁部を有するテーパ付き磁極のために、磁性材料が平坦化された表面上に堆積し、パターニングされたレジスト材料が形成され、露出した磁性材料がエッチングされて、少なくとも１つの磁性材料のテーパ面が形成される。 （もっと読む）

【課題】
磁気ヘッドスライダの磁気的スペーシングを低減させて、磁気ディスク装置の高記録密度化を図る。
【解決手段】
再生ヘッドと記録ヘッドとヒータを有する磁気ヘッドスライダにおいて、上部シールド層３２２、下部シールド層３２３、下部磁極３１５、シールド層３１２及び補助磁極３１３のディスク対向面に、ヒータに電力を加えた時媒体面と接触するコンタクト面と、その両側に段差部３３３を介して設けたステップ面とを設け、前記上部シールド層、前記下部シールド層、前記下部磁極、前記シールド層及び前記補助磁極のコンタクト面が、全体として、略円形となるように構成することにより、ディスク対向面に円柱状部３３を設ける。 （もっと読む）

【課題】良好な書込み性能を有する磁極を高精度に形成する、低コストな磁気ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】
本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、以下の工程を含む。（１）磁性粉を含有するレジストを、第１の磁気ヘッド要素の磁気媒体対向面に塗布する工程（２）第２の磁気ヘッド要素を、その磁気媒体対向面が第１の磁気ヘッド要素の磁気媒体対向面に対向するように、配置する工程（３）第１の磁気ヘッド要素の磁極から第２の磁気ヘッド要素の磁極に向かう磁界が発生するように、第１及び第２の磁気ヘッド要素の磁極に直流電流を流す工程（４）第１の磁気ヘッド要素の磁極の端面に付着したレジストをマスクとして、第１の磁気ヘッド要素の磁気媒体対向面をエッチングする工程。第１の磁気ヘッド要素の磁気媒体対向面に塗布されたレジストは、磁性粉を含有することにより磁性流体の性質を備え、当該磁界の磁力線に沿って流動して、第２の磁気ヘッド要素の磁極の端面に付着する。 （もっと読む）

【課題】主磁極層がばらつきを生じることなく均一の寸法で形成され、歩留まりが良好になるようにする。
【解決手段】薄膜磁気ヘッドは、次のようにして製造されている。まず、主磁極層に対応する形状に窪ませた磁極形成用凹部を有するベース絶縁層を形成し、ＣＭＰで研磨するときの停止膜を、磁極形成用凹部を埋めるようにして形成した後、停止膜の上に磁性層を形成する。次に、磁極形成用凹部の外側に磁極形成用凹部を概ね取り囲む分離用溝部を形成することによって磁性層を分離し、分離された磁性層に上側全面をカバーし得るカバー絶縁膜を形成する。また、停止膜が現われるまで表面をＣＭＰで研磨して、磁性層のうちの磁極形成用凹部の内側に残された部分を主磁極層とする。さらに、記録ギャップ層、ライトシールド層および薄膜コイルをそれぞれ形成する。 （もっと読む）

【課題】 高い記録磁界を生成可能な狭小幅の垂直磁気記録ヘッドを提供する。
【解決手段】 主磁極層１１は、リーディング側テーパ面１１ｎと、トリミングされた磁極先端面１１ｐを有する磁極先端部とを備える。リーディング側テーパ面１１ｎを設けたことにより、５０ｎｍに迫る狭いトラック幅と相まって、ヘッド磁界を最大で１５０００Ｏｅにまで増加させることもできる。マイクロ波アシスト磁気記録（ＭＡＭＲ）用途の場合には、磁極先端のトレーリング側に、スピントルク発振器とトレーリングシールドとを順次形成する。さらに、フリンジ磁界を減少させるために、磁極先端部の両側にサイドシールドを追加してもよい。磁極先端部の有効ネックハイトを画定する際のミリング深さは、磁極先端厚さ以上とすることが好ましい。トラック幅を画定する同じイオンミリング工程を用いて、自己整合構造を有するスピントルク発振器を形成してもよい。 （もっと読む）

【課題】オントラック性能およびオフトラック性能の双方を向上させることが可能な垂直磁気記録ヘッドを提供する。
【解決手段】２つのサイドシールド９０のうち、トレーリング側部分７０の内側エッジ３１は主磁極１０のサイドエッジ１１に対して平行であるのに対して、リーディング側部分８０の内側エッジ２４は主磁極１０のサイドエッジ１１に対して非平行である。このリーディング側部分８０の内側エッジ２４はリーディング方向に向かって外側に傾斜している。このサイドシールド９０により、クロストラック方向においてフリンジ磁界が減少しつつ、ダウントラック方向において磁界強度が増加する。 （もっと読む）

【課題】シールド型の磁気記録ヘッドにおける遠方トラックの意図しない情報消去の問題を解決する。
【解決手段】垂直磁気記録ヘッドを製造するために、物理的な界面を有しない第１および第２トレーリングシールドの形成プロセス（およびそれにより生じる構造）を説明する。フォトレジストモールドを用いて上部ヨークを鍍金形成すると共に、そのフォトレジストモールドを剥離したのち、犠牲層を形成する。 （もっと読む）