【課題】
狭トラックで高周波特性に優れた垂直磁気ヘッドを提供する。
【解決手段】
コイル導体と、それを挟む磁極を有する記録ヘッドにおいて、主磁極を平坦な構造とし、それと磁気的結合に接続された磁性膜を膜厚方向に湾曲させる構成とする。また、主磁極近傍に設けたシールド材を再生シールドの材料より高抵抗の材料とする。 （もっと読む）

【課題】スキュー角が生じても隣接トラックを消去させずに高磁界を発生できる製造しやすい磁気ヘッドを提供する。
【解決手段】主磁極を、ヘッド浮上面に露出する主磁極先端部分１Ｃと、ヘッド浮上面から後退した位置のリーディング側の面がヘッド浮上面に対して傾斜している部分１Ｂと、それに接合された磁性体１Ａとを有する構造とする。 （もっと読む）

【課題】 ＡＴＥを発生させることなく書込み能力の大幅な向上を期待できる薄膜磁気ヘッド、磁気ヘッドアセンブリ及び磁気ディスクドライブ装置を提供する。
【解決手段】 下部磁極層と、下部磁極層上に積層されており、ＡＢＳ側の端面が少なくとも記録ギャップ層近傍においてトラック幅と同じ幅を有している下部磁極上側層と、記録ギャップ層と、ＡＢＳ側の端面が少なくとも記録ギャップ層近傍においてトラック幅と同じ幅を有しており、記録ギャップ層を介して、下部磁極上側層と対向している上部磁極下側層と、上部磁極下側層上に積層されている上部磁極層とを含むインダクティブ書込みヘッド素子を有する薄膜磁気ヘッドであって、下部磁極上側層の全て及びこの下部磁極上側層に連なる下部磁極層の少なくとも一部が高飽和磁束密度材料で形成されており、下部磁極上側層の位置における高飽和磁束密度材料による層の厚さ（Ｔ_ＳＳ３）が下部磁極上側層の高さ（Ｄ_Ｎ）以上である。 （もっと読む）

【課題】 上部磁極の形状のばらつきを防止し、記録密度を向上させ、信頼性の高い磁気ヘッドを提供する。
【解決手段】 ライトギャップ１１を挟んで下部先端磁極２０ａと上部先端磁極５０ａとが対置して形成され、下部磁極２０の後部側にコイル２２が配置された記録ヘッドを備える磁気ヘッドにおいて、前記下部先端磁極２０ａには、前記コイル２２が配置される後部側の側面が傾斜面に形成されることによりアペックス部２０ｂが設けられ、前記下部先端磁極２０ａの後部側に、前記コイル２２を被覆する絶縁層２６が設けられている。 （もっと読む）

【課題】非対称型垂直磁気記録ヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】読み取り用ヘッド及び書き込み用ヘッドを備える垂直磁気記録ヘッドにおいて、書き込み用ヘッドは、シングルポールタイプヘッドであって、メインポール及びリターンポールを備え、磁気記録層及び磁気記録層の下側に軟磁性体層を備え、メインポールの磁気記録層の内側に向う第１面、磁気記録層のデータ記録面に向う第２面、及び磁気記録層の外側に向う第３面のうち第１面及び第３面は、非対称であることを特徴とする垂直磁気記録ヘッドである。 （もっと読む）

【課題】 垂直磁界強度の確保と記録トラック幅の狭小化とを両立させることにより記録性能を向上させることが可能な薄膜磁気ヘッドを提供する。
【解決手段】 相対的に小さな飽和磁束密度Ｓ１を有すると共に露出面領域１０ＡＭを有する下部主磁極層がリーディング側に位置し、相対的に大きな飽和磁束密度Ｓ２（Ｓ２＞Ｓ１）を有すると共に露出面領域１０ＢＭを有する上部主磁極層がトレーリング側に位置する積層構造を有すると共に、露出面１０Ｍが、上端縁Ｅ２の幅Ｗ２が下端縁Ｅ１の幅Ｗ１よりも大きく（Ｗ２＞Ｗ１）、かつ下端縁Ｅ１と上端縁Ｅ２との間の任意の中間位置における露出面１０Ｍの幅ＷＤ以上である（Ｗ２≧ＷＤ）左右対象の逆台形状の平面形状を有し、特に、露出面領域１０ＢＭの中央位置における高さＴ２がその中央位置の周辺の任意の周辺位置における露出面領域１０ＢＭの高さＴ２Ｐよりも大きくなるように、主磁極層を構成する。 （もっと読む）

【課題】微小な寸法を有する薄膜パターンをより高精度、かつ容易に形成することのできる薄膜パターンの形成方法を提供する。
【解決手段】第１薄膜１１１Ｚの上にＡｌ₂Ｏ₃からなる可溶層１０２Ｚを形成したのち下部レジスト層１０３Ｚと上部レジスト層１０４Ｚとを順次形成する。下部および上部レジスト層１０３Ｚ，１０４Ｚを選択的に露光して２層レジストパターン１０５を形成し、これをマスクとしたドライエッチングにより第１薄膜１１１Ｚおよび可溶層１０２Ｚを選択的にエッチングする。これにより、端部１１１Ｔにおける第１薄膜パターン１１１の型くずれを抑制し、より正確にパターニングすることができる。さらに、所定の溶剤をそれぞれ用いて２層レジストパターン１０５と可溶層パターン１０２とを順次除去するようにしたので、第１薄膜パターン１１１の上面にバリが発生せず、円滑なリフトオフが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 互いに対向する長辺および短辺のうち、その長辺の両端において規定される２つの断面角度が互いに異なる四角形状の断面形状を有するパターン膜を可能な限り高精度に形成することが可能なパターン膜の形成方法を提供する。
【解決手段】 開口１０２Ｋが設けられた基礎膜１０２を形成し、引き続き成膜方向に異方性を有する成膜手法（例えば傾斜スパッタリング法）を使用して斜め方向に成膜処理（成膜角度ω）を施すことにより、開口１０２Ｋ内にパターン形成領域１０５Ｐを画定する内壁１０５ＷＲ，１０５ＷＬが互いに異なる角度（傾斜角度βＲ，βＬ）で傾斜するように被覆膜１０５を形成したのち、そのパターン形成領域１０５Ｐにパターン膜を形成する。２つの断面角度が互いに異なる四角形状の断面形状を有するようにパターン膜を形成する場合に、それらの２つの断面角度の設定精度が向上する。 （もっと読む）

【課題】磁路長が小さくかつ直流抵抗値の小さな、トロイダルコイルを有する磁気ヘッドを提供する。
【解決手段】主磁極層（第１磁性層）１１０の下側に配置された第２コイル層（第２コイル片）１０８の膜厚ｔ２が、第１コイル層（第１コイル片）１１５の膜厚ｔ１より大きくなっている。これにより、主磁極層（第１磁性層）１１０とリターンパス層（第２磁性層）１１７の間隔１２２内に配置された第１コイル層（第１コイル片）１１５の膜厚ｔ１を小さくして、主磁極層（第１磁性層）１１０とリターンパス層（第２磁性層）１１７を流れる磁束の磁路長を小さくしつつも、第２コイル層（第２コイル片）１０８の膜厚ｔ２を厚くすることによってコイル層全体の直流抵抗値を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】 垂直磁気記録ヘッドの主磁極に媒体面に垂直方向の磁化が残留することを防止し、媒体に記録されている情報が消去されることを防止するとともに、小型化が可能で高密度の情報記録が可能な磁気ヘッドを提供する。
【解決手段】 記録媒体に対向する先端部１０ａが細幅に形成された主磁極１０を有する垂直磁気記録ヘッドを備えた磁気ヘッドにおいて、前記先端部１０ａの側面に、前記先端部１０ａにおける残留磁化を、先端部１０ａを構成する磁性層との交換結合作用により、前記記録媒体の媒体面に平行向きにする反強磁性層１２が被着形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】垂直記録用単磁極ヘッド主磁極の絞り込み部分や絞り位置、主磁極前面
や側面の配置を考慮することで、それらの部分からの漏洩磁界の影響を回避し、
ヘッド磁界垂直成分のプロファイルにおいて、記録層にビットセルの境界を記録
する部分における磁界勾配を向上する。
【解決手段】主磁極の絞り込み部分２６と絞り位置３９を、主磁極浮上面のトレ
ーリング端部を含むトラック幅方向に平行な鉛直平面３６よりもリーディング側
２５に配置し、さらに、主磁極のトレーリング側の前面を同鉛直平面よりリーデ
ィング側に、主磁極のトラック幅方向と交わる主磁極側面を主磁極浮上面のトレ
ーリング側の端部におけるトラック端部を含むトラック幅に垂直な鉛直平面より
もトラック中心側に配置する。
【効果】主磁極のトレーリング側やトラック両端部側での磁界垂直成分の磁界勾
配を急峻にすることができより高い面記録密度が実現できる。 （もっと読む）

【課題】 積層断面における微小部分の構造確認や組成分析などの解析に適した薄膜磁気ヘッドを提供する。
【解決手段】 薄膜磁気ヘッド１は、磁気変換素子２０と、高さ方向の寸法がトラック幅方向に沿って互いに逆方向の変化（増減）を示す形状をなす第１研磨パターン３１および第２研磨パターン３２とを備え、かつ、高さ方向に沿って延びる中心位置ＣＸが、磁気変換素子２０、第１研磨パターン３１および第２研磨パターン３２を通るように構成されている。トラック幅方向に沿って研磨加工をおこなうと、その研磨量に応じて、研磨面に表出する第１研磨パターン３１および第２研磨パターン３２の高さ方向の各寸法が連続的に変化することとなり、研磨面が中心位置ＣＸに達すると、それらの寸法が互いに所定の比率をなすようになる。この時点で研磨を終了すると中心位置ＣＸと一致する所望の積層断面を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 主磁極のトレーリング側の形状を円弧状の凹形状にする方法であって、円弧状の凹形状の制御性、再現性、ウエハ内の均一性が高い方法を提供する。
【解決手段】 （ａ）主磁極１４のパターン形成後、（ｂ）主磁極を構成する磁性金属材料よりもイオンミリングレートの遅い非磁性材料からなる非磁性膜１６を堆積させて主磁極を埋め込み、次いで、（ｃ）少なくとも主磁極が露出するまで研磨を行う。次に、（ｄ）研磨により平坦化された面に対して、積層方向と第１の角度をなす方向からイオンミリングを行い、主磁極が周囲の非磁性膜より落ち込んだ段差を形成する。次に、（ｅ）段差が形成された面に対して、積層方向と、第１の角度よりも大きい第２の角度をなす方向からイオンミリングを行い、主磁極のトレーリング側を円弧状の凹形状に整形する。段差は、主磁極の中心部から非磁性膜との境界部に向けてイオンミリングレートを漸次減少させる役割を担う。 （もっと読む）

【課題】 フレームめっき法を使用して可能な限り均一な厚さとなるように複数の磁性層パターンを安定に形成することが可能な磁性層パターンの形成方法を提供する。
【解決手段】 フォトレジストパターンのうちのフレーム部の厚さとめっき膜の厚さとの間の相関を表す相関データに基づいて、各フレーム部１０４Ｆ１〜１０４Ｆ３の厚さに各開口部１０４Ｋ１〜１０４Ｋ３ごとに差異を設けることにより、各フレーム部１０４Ｆ１〜１０４Ｆ３の厚さが各開口部１０４Ｋ１〜１０４Ｋ３ごとに異なるようにフォトレジストパターン１０４を形成したのち、そのフォトレジストパターン１０４のうちの各開口部１０４Ｋ１〜１０４Ｋ３に選択的にめっき膜を成長させることにより複数の磁性層パターン１０５を形成する。一連の磁性層パターン１０５の形成厚さがばらつきにくくなり、すなわち一連の磁性層パターン１０５の形成厚さが均一化される。 （もっと読む）

本発明は、所定の方位角（α１，α２）を持ったアマグネティック(amagnetic)ヘッドギャップ（ｅ１，ｅ２）によってそれぞれ分離された極性部分の対（３０．１〜３０．４，３１．１〜３１．４）を備えた複数の磁気ヘッドを有し、磁気トラック（３６）を備えた磁気メディア（３５）を記録および／または読取するためのデバイスに関する。極性部分（３０．１〜３０．４，３１．１〜３１．４）の対は、複数の固定サポート（１００１、１００２）に分配され、特定のサポート上の極性部分の対のヘッドギャップはすべて同じ方位角を持つ。少なくとも２つのサポートは異なる方位角を持った極性部分の対を有し、それぞれのサポートは磁気トラック（３６）から所定の傾斜角（θ）を持つ。
（もっと読む）

【課題】 外部磁界が印加されても記録媒体上のデータを消去させない磁気ヘッド（磁気記録装置）を提供する。
【解決手段】 ヘッド浮上面において、
補助磁極、上部シールドのトラック幅方向の端部の位置の差ｄ１、上部シールド、下部シールドのトラック幅方向の端部の位置の差ｄ２、補助磁極、上部シールドのトラック幅方向の長さの大きい磁性体の膜厚をｔ１、上部シールド、下部シールドのトラック幅方向の長さの大きい磁性体の膜厚をｔ２、とするとき、ｄ１<=ｔ１、かつｄ２<=ｔ２を満たす構造とする。 （もっと読む）

【課題】 素子形状がミラー反転関係にある磁気記録媒体の上面用薄膜磁気ヘッドと下面用薄膜磁気ヘッドにおいて、素子形状を高精度に規定できるフォトマスク及び薄膜磁気ヘッドの製造方法を得る。
【解決手段】 上面用薄膜磁気ヘッド及び下面用薄膜磁気ヘッドの磁極部を形成する際に、先ず、下部コア層上にフォトレジストを均一に塗布する。次に、磁極形状を規定する上面用凹凸部と下面用凹凸部をトラック幅方向に平行な中心ラインに対して対称に有する共有マスクパターンを、フォトレジストに露光する。続いて、共有マスクパターンの中心ラインから上面用凹凸部側及び下面用凹凸部側のいずれか一方又は他方の領域を遮光し他方又は一方の領域を再度露光して現像し、上面用凹凸部を有する上面用レジストパターンと下面用凹凸部を有する下面用レジストパターンを各々形成する。そして、上面用及び下面用レジストパターンを用いて磁極部を形成する。 （もっと読む）

【課題】スキューに起因した問題の発生を防止できる形状を有する磁極層を正確に形成する。
【解決手段】磁気ヘッドは、コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって情報を記録媒体に記録するための記録磁界を発生する磁極層１０を備えている。磁極層１０は、媒体対向面に配置された端面を有するトラック幅規定部１０Ａを含んでいる。トラック幅規定部１０Ａの下には下地層９が配置されている。媒体対向面に配置されたトラック幅規定部１０Ａの端面の幅は、基板１に近い第１の辺Ａ１に近づくに従って小さくなっている。媒体対向面における下地層９の幅は、第１の辺Ａ１の長さ以下である。下地層９は、イオンビームエッチングにおけるエッチング速度が磁極層１０を構成する磁性合金よりも大きい材料によって構成されている。 （もっと読む）

【課題】 十分な出力特性が得られるように磁気情報の記録が可能な垂直磁気記録用磁気ヘッドを提供すること。
【解決手段】 記録媒体５の記録面５ａに対向配置される媒体対向面Ｓを有し、基板上に設けられた磁極１０から磁束を放出して記録媒体５に磁気情報を記録する垂直磁気記録用磁気ヘッドであって、上記磁極１０は、媒体対向面Ｓ側に露出する露出面１２Ｓを有する棒状のポール部１２ａを含んでなり、この露出面１１Ｓが、基板の主面に対して略並行な底辺と、底辺に対して基板側に位置する二つの斜辺と、からなる三角形状である、垂直磁気記録用磁気ヘッド１。 （もっと読む）

【課題】 ＭＲハイトおよびネックハイトの双方を高精度に決定することが可能な薄膜磁気ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 複数の薄膜磁気ヘッド前駆体１１０と、複数の再生ヘッド部用ＲＬＧセンサ２００と、複数の記録ヘッド部用ＲＬＧセンサ３００とを含むように複数の薄膜磁気ヘッドバー６００を形成する。再生ヘッド部用ＲＬＧセンサ２００を使用して抵抗膜２０１の電気抵抗値を検出しながら薄膜磁気ヘッドバー６００をプレ研磨し、引き続き再生ヘッド部用ＲＬＧセンサ２００および記録ヘッド部用ＲＬＧセンサ３００の双方を使用して抵抗膜２０１，３０１の電気抵抗値を検出することにより薄膜磁気ヘッドバー６００の研磨面の傾きを調整したのち、再び再生ヘッド部用ＲＬＧセンサ２００を使用して抵抗膜２０１の電気抵抗値を検出しながら薄膜磁気ヘッドバー６００を仕上研磨することにより、エアベアリング面を形成する。 （もっと読む）