【課題】主磁極及び軟磁性膜からなるサイドシールドの高さを均一化可能な磁気ヘッドの形成方法を提供する。
【解決手段】基板上にめっきシード膜２１を形成する工程と、第１磁性膜をパターニングする工程と、第１磁性膜を有する基板上に非磁性膜２４を形成する工程と、非磁性膜２４を形成した基板上に、研磨加工の際のストッパとして作用するストッパ膜２６を形成する工程と、非磁性膜２４上の一部にストッパ膜２６を残す工程と、第１磁性膜の周囲の非磁性膜２４の一部を除去し、めっきシード膜２１が露出する溝部２２ａを形成する工程と、溝部２２ａに第２磁性膜を形成する工程と、基板の表面をストッパ膜２６まで研磨する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、磁界強度の測定方法に関し、より詳細には磁気ヘッドのライト素子およびライト素子の近傍における磁界強度の測定方法および測定装置に関するものである。
【解決手段】 本発明の磁気ヘッドのライト素子の磁界強度を測定する磁界強度測定方法は、ライト素子に所定のライト駆動電流を印加し、磁気ヘッドの浮上面に対向して磁気センサを近接配置し、浮上面のライト素子およびライト素子近傍の所定領域を走査して磁界強度を測定、または浮上面のライト素子およびライト素子近傍の所定位置の磁界強度を測定する、よう構成する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、垂直磁気記録方式で磁気記録動作を行う薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法並びにヘッドジンバルアセンブリおよびハードディスク装置において、必要なターン数を確保しながらも磁路長を短縮でき、しかもライトシールド層の突出を抑制できるようにする。
【解決手段】
薄膜磁気ヘッド３００は、記録媒体に対向するＡＢＳの側に磁極端面を有する主磁極層と、ＡＢＳの側において主磁極層に対向するライトシールド層と、主磁極層とライトシールド層との間に形成されているギャップ層と、ライトシールド層または主磁極層の周りに巻回された薄膜コイルとが基板上に積層された構成を有している。この薄膜磁気ヘッドは、第１の導体層の第１のターン部と、第２の導体層の第２のターン部とがＡＢＳに沿った上下方向に重なり、かつＡＢＳに近い前側面からＡＢＳまでの前側距離の等しい等距離二段構造を有している。 （もっと読む）

【課題】異なる複数の材料が表面に設けられた膜構造体において、表面の平坦性に優れる膜構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】第１膜を設けた基板上に、第１膜を覆うように第２膜を設ける工程と、第１膜の上に設けられた第２膜の上面に、研磨の進行を規制可能な第１ストッパ膜を形成する工程と、基板の上に設けられた第２膜の上面に、研磨の進行を規制可能な第２ストッパ膜を形成する工程と、第１ストッパ膜及び第２ストッパ膜の上に第３膜を設ける工程と、第３膜を設けた後、第１ストッパ膜によって研磨の進行が規制されるまで第３膜の上面を研磨する工程と、第１ストッパ膜を除去する工程と、第１ストッパ膜を除去した後、第２ストッパ膜によって研磨の進行が規制されるまで第２膜及び第３膜の上面を研磨する工程と、第２ストッパ膜を除去する工程と有することを特徴とする膜構造体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】スキューに起因した問題の発生を防止でき、トラック幅を精度よく規定でき、且つ記録特性を向上させることのできる磁極層を形成する。
【解決手段】磁極層は、トラック幅規定部と幅広部を含む。収容層は、底部形成層４２の上に配置され、磁極層を収容する溝部を有する。溝部は、トラック幅規定部の少なくとも一部を収容する第１の部分と、幅広部の少なくとも一部を収容する第２の部分を含んでいる。磁気ヘッドの製造方法は、非磁性層４３Ｐに第１の部分を含む初期溝が形成されるように非磁性層４３Ｐをエッチングする工程と、第１の部分を覆う初期溝マスク５４を形成する工程と、溝部が完成するように非磁性層４３Ｐをエッチングする第２のエッチング工程を含んでいる。第２のエッチング工程の当初は、第２の部分が形成される予定の領域における底部形成層４２の上面の一部が初期溝マスク５４によって覆われている。 （もっと読む）

【課題】磁気ヘッドのような積層構造に形成された研磨対象物を正確に研磨加工することができる研磨加工方法を提供する。
【解決手段】研磨面側が積層構造に形成された研磨対象物１０を、積層方向に研磨を進める研磨加工方法であって、前記研磨対象物１０の外面に、研磨面を前記研磨対象物の研磨面と同一の向きとしてダミーサンプル１２ａ〜１２ｄを固定して形成された研磨用のワーク２０を使用するとともに、研磨面側に、大きさあるいは形状が層ごとに異なるラッピングモニター１６ａ、１６ｂ、１６ｃが複数層に積層して形成されたダミーサンプル１６を使用し、前記ワーク２０を研磨した際にあらわれる、前記ダミーサンプル１２ａ〜１２
ｄの研磨面におけるラッピングモニター１６の形状により、前記ワーク２０の研磨面の傾きをモニターしながら研磨加工を進める。 （もっと読む）

【課題】磁気ヘッドのスキュー角が変動することによって生じるサイドイレーズを抑え、高密度記録を可能にするライト磁極を備えた磁気ヘッドおよびその好適な製造方法を提供する。
【解決手段】ライトギャップ１２を挟んで積層された下部磁極１４と上部磁極１６とを有するライト磁極２０を備え、前記下部磁極１４のABS面のライトギャップ１２との界面における幅寸法が、前記上部磁極１６のライトギャップ１２の界面における幅寸法と同一もしくは上部磁極の幅寸法よりも狭く形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】磁性膜の成膜時の表面粗さを低減し、上部磁極等を高精度に形成することを可能にする磁性積層膜およびその製造方法、ならびに磁性積層膜を用いた磁気ヘッドを提供する。
【解決手段】FeとCoを含む磁性膜１０ａ、１０ｂを成膜する工程と、該磁性膜１０ａ、１０ｂの表面に平滑化処理を施す工程と、平滑化処理が施された磁性膜の表面に、不連続膜となる膜厚に磁性材１２ａあるいは絶縁材を成膜する工程とを繰り返して、磁性膜を複数層に積層することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】主磁極上面の平坦化形成とその高精度化を可能とし、また、トレーリングギャップ形状の高精度化、およびサイドシールド、トレーリングシールドの効率的形成とその高精度化を可能とする薄膜磁気ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】磁極を覆うように、且つ側方位置の厚みが所定のサイドシールドギャップ幅となるようにストッパ層を形成し、磁極の側方位置の厚みが所定のサイドシールド幅となるようにレジスト層を形成し、その上に絶縁層を形成した後、ＣＭＰプロセスによりストッパ層の上面が表出するまで研磨し、次いで、ドライエッチングにより磁極の上面が表出するまで前記ストッパ層を除去し、次いで、ＣＭＰプロセスにより磁極の上面が平坦化されるまで研磨し、次いで、レジスト層を除去して、それにより表出したストッパ層を除去した後、トレーリングシールドとサイドシールドとを形成する。 （もっと読む）

【課題】スキューに起因した問題の発生を防止でき且つ記録特性を向上させることのできる磁極層を精度よく形成する。
【解決手段】磁気ヘッドは、磁極層と、この磁極層を収容する溝部１２ａを有する収容層１２とを備えている。磁気ヘッドの製造方法は、後に溝部１２ａが形成されることにより収容層１２となる非磁性層を形成する工程と、非磁性層が収容層１２になるように、非磁性層に溝部１２ａを形成する工程と、収容層１２の溝部１２ａ内に収容されるように磁極層を形成する工程とを備えている。非磁性層はＡｌ_２Ｏ_３によって形成される。非磁性層に溝部１２ａを形成する工程は、ＢＣｌ_３、Ｃｌ_２、Ｎ_２のうち少なくともＢＣｌ_３とＮ_２を含むエッチングガスを用いた反応性イオンエッチングによって、非磁性層をテーパエッチングする工程を含む。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、垂直磁気記録方式で磁気記録動作を行う薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法並びにヘッドジンバルアセンブリおよびハードディスク装置において、ライトシールド層が突出することを抑制して、ヘッドスライダの記録媒体表面からの浮上量を縮小できるようにする。
【解決手段】
薄膜磁気ヘッド３００は、記録媒体に対向するエアベアリング面の側に磁極端面を有する主磁極層と、エアベアリング面の側において主磁極層に対向するライトシールド層と、主磁極層とライトシールド層との間に形成されているギャップ層と、ライトシールド層または主磁極層の周りに巻回された薄膜コイルとが基板上に積層された構成を有している。この薄膜磁気ヘッドは、薄膜コイルがエアベアリング面からの距離が異なる位置に配置されている複数のターン部を有し、感光性樹脂よりも熱膨張係数の小さい絶縁性の材料からなる非膨張部がターン部同士の間に形成されている。 （もっと読む）

【課題】十分に高い位置合わせ精度を確保し、容易に、かつ過度の機械的ストレスを回避しつつ、光源ユニットをスライダに接続して熱アシスト磁気記録ヘッドを製造する。
【解決手段】ユニット基板に設けられた光源の発光中心を含む面が光源設置面に垂直な接着面から突出している光源ユニットを、スライダに接続する。このスライダは、導波路と、この導波路の下方に位置する電極層とを含むヘッド部を備えており、このヘッド部の媒体対向面とは反対側の端面に、壁面が電極層の上面となっている段差が設けられている。光源ユニットとユニット基板とを接続する際、光源の上方の電極と電極層との間に電圧を印加しながら、光源ユニットとスライダとを相対的に移動させる。次いで、光源の下面のユニット基板からはみ出した部分と段差の壁面である電極層の上面とが接面することによって光源が発光した時点の位置を、集積面に垂直な方向での所望の位置とする。 （もっと読む）

【課題】主磁極に特性が良好な磁性材料の使用を可能としつつ、該主磁極の腐食障害を防止して、工程不良を回避することが可能な薄膜磁気ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの製造方法は、基板上に所定薄膜を順次積層して形成される記録ヘッド部を有する薄膜磁気ヘッドの製造方法において、記録ヘッド部の基体上に記録用の磁極となる磁性層を形成する工程と、磁極の上にストッパ層を形成する工程と、ストッパ層の上に絶縁層を形成する工程と、ＣＭＰプロセスによりストッパ層の上面が表出するまで絶縁層を研磨する工程と、反応性ガス使用のドライエッチングにより磁極の上面が表出するまでストッパ層を除去する工程と、不活性ガス使用のドライエッチングにより所定深さまで磁極の上面を除去する工程と、ＣＭＰプロセスにより磁極の上面が平坦化されるまで研磨する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】主磁極を多層膜の積層構造に形成する場合に、多層膜が平坦状に積層された形態に形成することができる垂直磁気ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】ウエハ基板上に、主磁極の平面形状の凹部１０ａが形成されたレジストパターン１０を形成する工程と、主磁極における多層膜の積層構造にしたがって、前記凹部１０ａ内に多層膜を積層する工程とを備え、該凹部１０ａ内に多層膜を積層する工程においては、ａ）ウエハ基板に対し、スパッタ粒子を基板面に垂直に入射させるようにスパッタリングし、前記凹部１０ａ内にスパッタ膜１２が平坦状に積層される回数について成膜する工程、ｂ）前記成膜工程の際に前記レジストパターン１０の表面に被着したスパッタ膜１２を、研磨加工によって前記レジストパターンの表面から除去する工程、を前記主磁極の多層膜構造となるまで繰り返すことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】記録再生用ヘッド素子の浮上位置の制御を応答性良く行える磁気ヘッド、磁気ヘッドの製造方法及び磁気記録装置を提供する。
【解決手段】磁気記録装置は、磁気ディスク３上にロードされる磁気ヘッド１０を有する。磁気ヘッド１０は、サスペンション６に取り付けられたスライダ１１を有し、スライダ１１の先端面である素子面１１Ａにヘッド素子１２が搭載されると共に、ヘッド素子１２の上方に積層圧電素子４１が取り付けられている。積層圧電素子４１は、ヘッド素子１２の搭載位置を含む領域に対応して配置されており、電圧を印加すると圧電横縦効果又は圧電縦効果によって伸縮してヘッド素子１２を磁気ディスク３に向けて変位させる。 （もっと読む）

【課題】再生センサおよび主磁極層の突出量を独立して制御することが可能な再生記録磁気ヘッドを提供する。
【解決手段】再生ヘッド１００Ａは、下部絶縁層２の内部における再生センサ６のセンサ先端部３１に近い側に、その再生センサ６を加熱して突出させるＤＦＨ（ダイナミックフライヒータ）３を含んでいる。記録ヘッド１００Ｂは、下部絶縁層１６の内部における主磁極層１８の記録磁極先端部１４に近い側に、その主磁極層１８を加熱して突出させるＤＦＨ１７を含んでいる。ＤＦＨ３，１７により、再生センサ６および主磁極層１８の突出量が独立して制御されるため、ガンマ比（再生センサ６の突出量／主磁極層１８の突出量）が１となるように調整される。 （もっと読む）

【課題】主磁極の形状をより高い精度で制御することができる磁気ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】磁気誘導部２１ａから突出したフレア部２１ｂと、フレア部２１ｂに接続される先端部２１ｃを備えた主磁極２１を有する磁気ヘッドの製造方法であって、基板１の上方に主磁極２１の形状を含む本体パターンとフレア部２１ｂの側方に離間して設けられた保護パターン２１ｆとが含まれる第１の磁性体パターン３１ａを形成する工程と、第１の磁性体パターン３１ａをイオンミリングによりスリム化することにより第２の磁性体パターンに加工する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】レジストパターンとめっきベースとの密着性を良好にでき、めっきパターンの断面形状を正確に形成できるめっき方法および磁極形成方法を提供する。
【解決手段】めっきベース１１上に、分子接着剤であるアルコキシシリルプロピルアミノトリアジンジチオールを溶剤に溶解した溶液を塗布した後、溶剤を揮発させて分子接着剤層１５を形成する工程と、分子接着剤層１５を介してめっきベース１１上にレジスト３０を塗布し、レジスト３０を所定のパターンに露光現像してめっきベース１１の一部を露出させる工程と、めっきベース１１の露出部上に分子接着剤層１５を介してめっきする工程とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】非破壊で磁極形状を知ることが可能な磁気記録ヘッドのモニター素子を提供する。
【解決手段】開示の磁気記録ヘッドのモニター素子３０は、磁気記録ヘッドの素子用磁極１０が形成される磁気記録ヘッド用ワーク上に形成され、素子用磁極１０と同一材料で同一形状に形成されるモニター用磁極３２と、該モニター用磁極３２に電気的に接続するモニター用端子３４ａ〜３４ｄとを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】磁気ヘッドの歩留まり及び磁気ディスク装置の記録及び再生性能の信頼性を向上させることが可能な磁気ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】基板に鍍金ベース層を形成する工程と、前記鍍金ベース層上に、幅広部から延在する狭隘部を備えた磁性層を形成する工程と、前記磁性層の形状の幅広部と狭隘部にそれぞれ対応して、前記磁性層よりも大きいレジストパタンを前記磁性層と前記鍍金ベース上に形成する工程と、エッチングにより前記鍍金ベース層をパタニングする工程と、前記磁性層及び鍍金ベース層を覆うように絶縁層を形成する工程と、前記絶縁層上に磁性を有する補助磁性層を前記磁性層と磁気的に接続するように形成する工程とを有することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。 （もっと読む）