【課題】トランスデューサおよびトランスデューサの製造方法を開示する。
【解決手段】トランスデューサは、後縁と、前縁と、後縁および前縁の間に延びる１対の対向する側壁とを含むように成形される、基板上に形成された磁性材料を含む。保護材料の層は、成形された磁性材料の１対の側壁の各々と接触して位置決めされる。埋め戻し材料は、成形された磁性材料の１対の側壁の各々の上の保護材料を取囲む。 （もっと読む）

【課題】電解鍍金法を用いて記録磁極を形成する際に空隙の形成を防止することが可能な記録磁極の形成方法を提供する。
【解決手段】垂直磁気記録ヘッドの記録磁極を形成するために、まず、基体の上にモールド形成層を形成したのち、そのモールド形成層に開口部を形成する。続いて、開口部にシード層を形成したのち、そのシード層の上に補助層を形成する。続いて、開口部にシード層および補助層が形成された基体を電解鍍金液に浸漬させたのち、その電解鍍金液に電流または電圧を供給して活性化させて、補助層を除去する。最後に、補助層を除去するために用いられた電解鍍金液中において、電解鍍金法を用いて開口部に磁性材料の鍍金膜を成長させる。 （もっと読む）

【課題】ローバー状態の薄膜磁気ヘッドを搬送する際にその姿勢を自由に変更できるようにする。
【解決手段】ウエハから切り出された細長い矩形板状であるローバー状態の磁気ヘッドを搬送する搬送装置が垂直実装と水平実装の両実装をできるようにした。細長い矩形板状であるローバー状態の磁気ヘッドを搬送する搬送装置が垂直実装と水平実装の両方の実装を可能であると共に各工程間の搬送時に垂直から水平に、水平から垂直にその姿勢を変更することができるようにした。搬送装置が垂直実装と水平実装の中間に位置するような傾斜した状態の斜め実装を行なうことができるようにした。これによって、各工程間の搬送時に垂直又は水平実装されるようなトレイに対して、ローバー状態の薄膜磁気ヘッドの搬送を容易に行なうことができる。 （もっと読む）

【課題】尖った形状の近接場光発生部に多くの表面プラズモンを集中させる。
【解決手段】収容層２４の溝部２４ｇ内に収容された近接場光発生素子２３は、近接場光発生部２３ｆを含む第１の端面２３ａと、第１の端面２３ａの反対側に位置する第２の端面と、第１の端面と第２の端面を連結する連結部とを含む外面を有している。連結部は、上面２３ｃと、上面２３ｃから離れるに従って互いの距離が小さくなる側面２３ｄ，２３ｅを含んでいる。第１の端面２３ａは、側面２３ｄの端に位置する辺１２３ｄと、側面２３ｅの端に位置する辺１２３ｅとを含んでいる。辺１２３ｄと辺１２３ｅは、それぞれ、連続する上部と下部とを含んでいる。辺１２３ｄの下部１２３ｄ２と辺１２３ｅの下部１２３ｅ２とがなす角度は、辺１２３ｄの上部１２３ｄ１と辺１２３ｅの上部１２３ｅ１とがなす角度よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】
定盤の研磨レートを均一化する技術を提供する。
【解決手段】
磁気ヘッドの製造工程の最終浮上面研磨加工に用いる研磨定盤の作成において、研磨定盤の研磨面内の研磨レート分布を事前に測定し、測定した研磨レートの分布に従って研磨レートの修正を行う研磨レート修正システムを提供する。研磨レート修正システム７００は、研磨レートが所定の値よりも大きな位置の研磨レートを下降させるコンディショニング装置２０と、研磨レートが所定の値よりも小さな位置の研磨レートを上昇させるドレッシング装置３０と、研磨レートの分布を検出して、前記両装置を制御する研磨レート修正装置７００と、を含む。 （もっと読む）

【課題】磁極層と２つのサイドシールドの精度のよい位置合わせと、磁極層と２つのサイドシールドの各々の形状の制御とを可能にする。
【解決手段】磁気ヘッドは、磁極層１２と、サイドシールド１３Ｃ１，１３Ｃ２と、磁極層１２、サイドシールド１３Ｃ１，１３Ｃ２を収容する溝部２５ａ，２５ｂ１，２５ｂ２を有する収容層２５を備えている。磁気ヘッドの製造方法は、第１ないし第３の開口部を有するエッチングマスク層を用いて非磁性層に溝部２５ａ，２５ｂ１，２５ｂ２を形成する工程を備えている。この工程は、第２および第３の開口部を第１のマスクで覆い、第１の開口部を用いて非磁性層をエッチングして溝部２５ａを形成する工程と、第１の開口部を第２のマスクで覆い、第２および第３の開口部を用いて非磁性層をエッチングして溝部２５ｂ１，２５ｂ２を形成する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】光による熱アシスト磁気記録ヘッドにおいて、ヘッド本体と導光部との接着を強固にすると同時に、導光部からヘッド本体への光路に接着剤が付着することを防止する。
【解決手段】導光部はその一つの表面上に伝播させた光束を前記ヘッド本体に向けて出射する光出射部を持ち、ヘッド本体の対向面と反対側面上に形成されたヘッド本体側接着面と、導光部の表面上に形成された導光部側接着面が接着剤によって接着することでヘッド本体と導光部が固定され、導光部の表面において光出射部と導光部側接着面のあいだに接着剤逃げ溝が形成されていることを特徴とする記録ヘッドとする。 （もっと読む）

【課題】磁気ヘッドの新規開発において、再生と記録の両ヘッド構成で磁気ヘッドを試作した場合、試作ヘッドの製作に３ヶ月以上の期間がかかってしまう為、開発開始から試作評価までの時間が長くなってしまい、大量生産までに遅れが生じてしまう。
【解決手段】再生ヘッドを試作するステップ(100)と、前記再生ヘッドの特性を評価するステップ(102)と、前記再生ヘッドの特性を評価するステップにおいて不良品と判断された場合、前記再生ヘッドを試作するステップと前記再生ヘッドの特性を評価するステップを繰り返すステップと、前記再生ヘッドの特性を評価するステップにおいて良品と判断された場合、前記再生ヘッドの上に記録ヘッドを積層して磁気ヘッドを試作するステップ(104)と、前記磁気ヘッドの記録ヘッドの特性を評価するステップ(106)と、前記記録ヘッドの特性を評価するステップにおいて良品と判断された場合、前記磁気ヘッドの製作を開始するステップ(108)とを含む。 （もっと読む）

【課題】垂直記録変換ヘッドにおいて、前方シールドの厚みを規定する方法を提供する。
【解決手段】磁気記録素子を有する変換ヘッド４０を形成するための方法は、記録ポール４２およびギャップ層４６の近傍に台座部４８を形成するステップと、前方シールド５６を台座部上に堆積するステップと、前方シールドをエッチングするステップと、エッチングの後、バックフィル層５０を前方シールド上に堆積するステップとを含む。前方シールドはエッチングの際、制御された厚さを有する。 （もっと読む）

【課題】導波路に対向するエッジ部を有する近接場光発生素子を備えた近接場光発生装置において、導波路を伝播する光の利用効率を高め、且つ近接場光のスポット径を小さくすることを可能にする。
【解決手段】近接場光発生装置１５は、溝部３１ｇを有する導波路３１と、導波路３１の上面３１ｃ上に配置され、溝部３１ｇに連続する開口部３４ｃを有するクラッド層３４と、開口部３４ｃ内に収容された近接場光発生素子３２と、導波路３１およびクラッド層３４と近接場光発生素子３２との間に介在する緩衝層３３を備えている。近接場光発生素子３２は、溝部３１ｇに近づくに従って互いの距離が小さくなる側面３２ｄ，３２ｅと、側面３２ｄ，３２ｅを接続し、緩衝層３３を介して溝部３１ｇに対向するエッジ部３２ｆと、エッジ部３２ｆの一端に位置する近接場光発生部３２ｇを有している。 （もっと読む）

【課題】積層方向からの加工で主磁極の先端部をＭＣＳ構造とすることができる。
【解決手段】ディスクの記録面上に対向する浮上面６を備え、この浮上面６に主磁極１０の先端部１１を形成配置する薄膜磁気ヘッド構造１の製造方法であって、主磁極１０を積層する積層方向Ｘからの斜めミリングで、主磁極１０の先端部１１の特定点１３Ａから主磁極１０の奥行き方向Ｚの基端部１２に傾斜する特定辺を共通辺１３とする二つの第１傾斜面１４を形成する第１傾斜面形成工程と、積層方向Ｘからの斜めミリングで、共通辺１３上の任意点１５を頂点として主磁極１０の先端方向に傾斜する第２傾斜面１６を形成する第２傾斜面形成工程とを含み、第１傾斜面１４及び第２傾斜面１６で任意点１５を頂点にした三角錐形状１７で先端部１１をＭＣＳ構造とした。 （もっと読む）

【課題】できる限り少ない発熱量で素子の突出量を大きくすることができる磁気ヘッドを提供する。
【解決手段】磁気ディスクに対して記録または再生を行う素子１８，１２と、磁気ディスクの表面に素子１８，１２を近づけるように熱的に突出させるための発熱部１４とを備えた磁気ヘッドＢには、その突出させる方向に沿って素子１８，１２の周辺領域Ｓ０とその両側の外側領域Ｓ１とを区切るように一対の溝３０が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 量産に適した、コンタミの少ない、組成制御された、ち密で、欠陥、粒界の極めて少ない、深さ方向に構造制御された、良好な絶縁特性を持つ絶縁膜の提供。
【解決手段】 Ｏ、Ｎ及びＦから選ばれた少なくとも１種を含む気体状分子を該基板表面に供給し、吸着させた後排気する第１の工程の後に、Ａｌ、Ｓｉ、Ｔａ、又はＴｉを含む気体状分子を基板表面に供給し、吸着させた後排気する第２の工程を行い、その後にＡｒを導入した後排気する第３の工程を行い、前記第１〜第３の工程を１つのサイクルとして、このサイクルを複数回行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】磁気ヘッドの磁極パターンをエッチング法で形成するとき、ネガ型レジストパターンを用い、ハードマスク利用での磁性材料膜イオンミリングの工法で実施すると、磁極の微細パターン化や高アスペクト比パターン化が困難である。
【解決手段】基板上の磁性材料膜上に、同一、または異なる磁性材料の厚いパターンを、ポジ型レジスト開口部への埋め込みめっき工法で形成し、レジストを剥離後、埋め込みパターンをマスクとして（あるいは更に積層されたハードマスクを援用して）、イオンミリングで、微細構造の、断面逆台形形状などの、二層の磁性材料パターンである磁極パターンを形成する。磁性材料で形成された埋め込みパターン部分におけるイオンミリングでの減少を考慮しても、厚い二層磁性材料構造が維持されて、高アスペクト比の二層構造の磁極パターン（先端面）を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 狭スペースであっても確実に端子に接触する導通構造の提供。
【解決手段】格子状に配置された複数のパッド１１と同配列の交差部を有する格子状の梁部１２ａと、該梁部の交差部に前記複数のパッド１１と接触する導電性のプローブ１３を有した凹形状且つ導通金属製の薄板１２と、該薄板１２のプローブ１３を複数パッド１１に押圧するための押さえ板１５と、押さえ板１５からの押圧力を分散して薄板１２に伝達する弾性特性を有するクッション１４とから構成され、プローブ１３をパッド１１に押圧することによりパッド１１とプローブ１３を導通する狭スペース用端子導通構造。 （もっと読む）

【課題】ボンディングパット形成のためのレジスト露光プロセスにおいて、簡易な方法により高精度のアライメントを可能とする。
【解決手段】薄膜磁気ヘッドの製造方法は、ウエハの素子非形成領域にダミーバンプを互いに隣接するように形成し、ダミーバンプに挟まれた領域に谷部が形成されるようにウエハを保護層で覆い、谷部の一部が残存するように、少なくとも保護層の一部を除去し、谷部が残存するようにメッキ用の電極膜を成膜し、レジストを塗布し、残存した谷部をアライメントマークとしてレジストを露光し、レジストを除去後、素子バンプの上にボンディングパッドをメッキで形成し、レジストを除去することを有する。 （もっと読む）

【課題】複数の磁気ヘッドを有する基体の切断時の不具合を回避して、所望の磁気ヘッドを有するスライダを高精度に製造することができ、製造効率を向上させることができるようにする。
【解決手段】磁気ヘッド２が複数形成された基体（ブロック１１）を用意し、ブロック１１の１つの面１８に、所望の切断線に沿う溝２３を形成し、ブロック１１の溝２３が形成された面１８と反対側の面１７から、溝２３が形成された面１８に向けて、少なくとも溝２３内に先端が到達するまで切断刃１９を切り込ませてから、または切り込ませながら、その切断刃１９を溝２３に沿って進行させることによりブロック１１を切断して、磁気ヘッド２を有するスライダを製造する。 （もっと読む）

【課題】
サイドイレーズ特性を向上でき、かつ書き込み能力を維持できる主磁極を形成できる垂直磁気ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】
垂直磁気記録ヘッドの製造方法は、下地構造の上に、非磁性金属層を成膜する工程と、非磁性金属層の上にストライプ状開口部を含むレジストパターンを形成する工程と、開口部のレジストパターンの側面を傾斜させる工程と、レジストパターンをエッチングマスクとして、非磁性金属層をエッチングし、開口部のレジストパターンの側面より傾斜角度の小さい側面を有する凹部を形成する工程と、非磁性金属層の凹部および前記レジストパターンの開口部に磁性金属層をメッキする工程と、前記レジストパターンを除去する工程と、磁性金属層を埋め込む保護層を成膜する工程と、保護層と前記磁性金属層を研磨する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】隣接トラック消去の発生を抑制し、且つ記録特性を向上させる。
【解決手段】磁気ヘッドは、媒体対向面３０において磁極層の端面に対してトラック幅方向の両側に配置された２つの部分を含む第１の端面１３Ｃ１と、第１の端面１３Ｃ１とは反対側の第２の端面１３Ｃ２と、磁極層の一部を収容する第１の溝部１３Ｃａとを有するサイドシールド層１３Ｃと、非磁性材料よりなり、サイドシールド層１３Ｃの第２の端面１３Ｃ２に接する前端面２５ｂと、磁極層の他の一部を収容する第２の溝部２５ａとを有し、サイドシールド層１３Ｃにおける媒体対向面３０とは反対側に配置された収容層２５とを備えている。サイドシールド層１３Ｃの第２の端面１３Ｃ２における任意の位置の媒体対向面３０からの距離は、この任意の位置が基板の上面に近づくに従って小さくなっている。 （もっと読む）

【課題】近接場光による記録媒体に対する光照射位置とライトヘッドによる記録位置とを高精度に位置合わせ可能とし、近接場光による熱アシスト作用による磁気記録を可能とする磁気ヘッドを提供する。
【解決手段】熱アシスト機構として近接場光発生部３０を備える磁気ヘッドであって、浮上面における端面形状が逆台形状となる磁極コア部を備える主磁極２１と、前記磁極コア部の外形線をリーディング側に延長させた線と外形位置が一致し、一端が浮上面に露出して形成された近接場光コア部３４とを備え、該近接場光コア部を厚さ方向に挟む光導波路層と、近接場光コア部３４の側面を被覆する光導波路層とにより設けられた光導波路３２と、該光導波路３２の外面を被覆する、光導波路よりも屈折率の小さい誘電体層とを備える。 （もっと読む）