【課題】コンパクトで使い勝手が良く、イニシャルコストもランニングコストも安い真空成膜装置を提供する。
【解決手段】成膜チャンバ（２）内に、ワークホルダ（１０）と、マグネトロン電極（１５）とを設ける。マグネトロン電極（１５）には、第１のターゲット材料（１６）を設け、これに重ね合わせるように第２のターゲット材料（１７）を設ける。第２のターゲット材料（１７、１７）は第１のターゲット材料（１６）をカバーする位置と、開放する位置の２位置を採ることができるようにする。ワークホルダ（１０）と、第１、２のターゲット材料（１６、１７）との間には、直流電圧と高周波電圧とが選択可能に印加されるようにする。 （もっと読む）

【課題】アークをプラズマ源とし、成膜面に付着するマクロパーティクル数を低減しつつ、高い成膜レートで良質な薄膜を形成できる成膜装置及び成膜方法を提供する。
【解決手段】プラズマ発生部１０で発生しプラズマ分離部２０に進入したプラズマは、斜め磁場発生コイル２３の磁場により進行方向が曲げられ、プラズマ輸送部４０を介して成膜チャンバ５０内に入る。一方、アーク放電にともなって発生したマクロパーティクルは、磁場の影響を殆ど受けないためプラズマ分離部２０を直進してパーティクルトラップ部３０で捕捉される。プラズマ輸送部４０は、プラズマの流路に沿って相互に電気的に絶縁された２つの電場フィルタ部４０ａ，４０ｂに分割されている。プラズマ分離部２０側の電場フィルタ部４０ａには例えば−２０Ｖの電圧が印加され、成膜チャンバ５０側の電場フィルタ部４０ｂには例えば−５Ｖの電圧が印加される。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で処理空間内のガス圧力（濃度）分布を制御できる真空処理装置及び真空処理方法を提供する。
【解決手段】減圧雰囲気を維持可能であり、減圧雰囲気中で被処理体３に対しての処理が行われる処理空間１０を内部に有する真空槽１と、真空槽１の壁部１ａを貫通して処理空間１０に通じるガス導入路４と、を備えた真空処理装置であって、ガス導入路４から処理空間１０内へのガス吹き出し方向が、ガス導入路４が設けられた部分近傍の真空槽１内壁面に対して平行もしくは傾いている。 （もっと読む）

【課題】磁気記録媒体用の耐久性、下地層への潤滑膜の固着、及び耐摩耗性に優れた潤滑膜を提供すること。
【解決手段】基板上に磁気記録層を形成すること、該磁気記録層上に保護オーバーコート層を形成すること、該保護オーバーコート層の表面をパーフルオロシクロアルカン及び酸素を含む雰囲気に暴露すること、及び該パーフルオロシクロアルカンをプラズマ強化化学気相成長法を用いて重合して、該保護オーバーコート層上にパーフルオロポリエーテル含有層を堆積すること、を含む磁気記録媒体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】良好なＤＬＣ膜を形成することができる成膜装置及び成膜方法を提供する。
【解決手段】プラズマ発生部において発生したマクロパーティクルには、ドロップレットとよばれる液状の飛沫の他に固体状のものも含まれている。固体状のマクロパーティクルは湾曲部の内面に衝突しても、そこに付着しにくく、反射されて基板１１に向かってくる。ところが、湾曲部とチャンバ６との間に、表面に多孔質膜が設けられたフィルタ板５が設置されているので、基板１１に向かってきた固体状のマクロパーティクルは、多孔質膜の空隙に入り込み、その内部で衝突を繰り返す。この結果、固体状のマクロパーティクルの多くは運動エネルギを消失し、多孔質膜に捕獲され、基板１１まで到達することができない。 （もっと読む）

【課題】カーボン保護層に対する潤滑剤の付着率を向上させ、マイクロスクラッチや磁気ヘッドへの潤滑剤の移着が生じない、磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】基体上に、カーボン保護層２６、潤滑層２８をこの順序で備える磁気記録媒体１００の製造方法において、カーボン保護層２６の表層に、ＲＦ（Radio Frequency）プラズマ法によって、水酸基（ＯＨ⁻）と結合可能な窒素を添加する添加工程と、潤滑層２８を、水酸基を含むパーフルオロポリエーテル（ＰＦＰＥ）で成膜する潤滑層成膜工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】垂直磁気記録膜に酸化物系磁性材料を用い、カーボン保護膜をプラズマＣＶＤ法により形成する場合に、カーボン保護膜の剥離や潤滑膜の分離を防ぐことができ、しかも良好な記録再生特性を得ることができる磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】基板１上に、少なくとも垂直磁気記録膜とカーボン保護膜とを備え、垂直磁気記録膜がＣｏ合金および酸化物を含む磁性材料からなる磁気記録媒体を製造する方法であって、基板１上に垂直磁気記録膜を形成する垂直磁気記録膜形成工程と、垂直磁気記録膜を形成した基板１を加熱部２８で加熱する加熱工程と、垂直磁気記録膜を形成した基板１上に、プラズマＣＶＤ法によりカーボン保護膜を形成する保護膜形成工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】 優れた潤滑特性を有するとともに、対象物に良好に付着して長時間の使用においても潤滑効果が持続する潤滑剤、特に磁気記録媒体用潤滑剤を提供する。
【解決手段】 下記一般式（ａ）で示される化合物から選ばれる少なくとも１種の化合物を潤滑剤とし、さらに、この潤滑剤で磁気記録媒体の潤滑剤層を形成する。
【化１】


（式中、Ｒ^１、Ｒ^２はそれぞれ水素、脂肪族アルキル基または脂肪族アルケニル基を示し、ａは１〜１２の整数であり、ｖは１〜１２の整数であり、ｗは１〜６の整数であり、ｚは１〜５の整数であり、ｈおよびｋはそれぞれ０〜３０の整数である。） （もっと読む）

【課題】 ポリアミドフィルムからなる非磁性支持体を用いた場合であっても、高精度に平坦化する。
【解決手段】 非磁性支持体１の一主面上に、少なくとも金属磁性膜４が成膜されてなる磁気記録媒体において、上記非磁性支持体４は、幅方向における２００℃の熱収縮率が１．５〜２．５％である芳香族ポリアミドフィルムからなり、上記金属磁性膜４は、当該金属磁性膜４表面に形成された表面酸化層をエッチングされてなり、上記非磁性支持体１の上記金属磁性膜４が成膜される側と反対側の他主面に補強用金属薄膜５が成膜されることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】 優れた潤滑性能を呈する潤滑剤組成物、ならびに電磁変換特性を損なうことなく、走行耐久性およびスチル耐久性等の実用信頼性を向上させた磁気記録媒体を得る。
【解決手段】 潤滑剤組成物は、分子内にパーフルオロアルキル基またはパーフルオロポリエーテル基、およびアルキル基またはアルケニル基を有する含フッ素化合物から選ばれた少なくとも１種類の化合物、ならびに分子内にパーフルオロアルキル基またはパーフルオロポリエーテル基、およびアルキル基またはアルケニル基を有する含フッ素アルキルカルボン酸とアミンもしくはアンモニウムとから形成される塩から選ばれる少なくとも１種類の化合物を含んで成り、この潤滑剤組成物は、非磁性基板(1)上に、強磁性金属薄膜(2)、炭素膜(3)および潤滑剤層(4)がこの順に形成されて成る磁気記録媒体の潤滑剤層(4)に含有される。 （もっと読む）