【課題】同一高さの溝を容易に認識可能にして、ウェハを水平に配置する。
【解決手段】 開口した前面を有する筐体を構成する一対の側壁１１ａ，１１ｂと、前記一対の側壁に夫々複数設けられた溝部３と、前記溝部へ照明光を照射するために前記筐体の裏壁又は側壁の一方に設けられる開口部５とを具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ロボット等の基板搬送手段を衝突から守ると共に、衝突の誤検出によるエラーを回避できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板を搬送する基板搬送装置であって、駆動源を備える基板搬送装置１１２、１２４と、、駆動源の状態を監視し、その状態が所定の閾値を超えたか否かで基板搬送手段の衝突等の異常を検知する検知器３０１とを備え、記検知器３０１は、生産モードとメンテナンスモードとで、それぞれ異なる閾値を有している。 （もっと読む）

【課題】 検査対象となるワークを検査用ワーク収納部内に完全に収めることによりワー
クの破損およびワーク搬送収納装置の停止を防止すると共に，ワークを完全に収めた状態
を迅速に確認することが可能なワーク搬送収納装置，およびそのワーク搬送収納装置を備
えた切削装置を提供する。
【解決手段】 本発明に係るワーク搬送収納装置は，複数のワークを収納する第１のワー
ク収納部１１０と，第１のワーク収納部１１０の上部または下部に配設された第２のワー
ク収納部１２０と，第１のワーク収納部１１０および第２のワーク収納部１２０を同時に
昇降する昇降手段１３０と，第１のワーク収納部１１０または第２のワーク収納部１２０
に略水平にワークを搬送するワーク搬送手段１４０，１５０と，第２のワーク収納部１２
０の搬入口から突出したワークを検知するワーク検知手段１７０とを備える。 （もっと読む）

【課題】ステージ駆動装置でありながらチャンバの変形に起因する悪影響を防止することのできるステージ駆動装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバ１の外部に設けられたボールねじ駆動モータ１２と、ボールねじ駆動モータ１２の駆動力をボールねじ１１に伝達するトルク伝達軸１５と、トルク伝達軸１５の真空チャンバ貫通部をシールするシールユニット１６と、真空チャンバ１内に設けられたベース７と、を備えたステージ駆動装置において、シールユニット１６がベース７に対し固定され、真空チャンバ１とシールユニット１６との間がベローズ２８により弾性的に且つ気密に結合されてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 汚染クラスの異なる工程間における工程抜け等に起因する次工程での汚染防止を図る。
【解決手段】 汚染クラスの異なる工程２０ａ、２０ｂ間で、直前工程に該当する工程２０ａでの処理が終了したことに対応して、次工程に処理終了後の被処理物としての半導体ウエハ４０ａを搬送する搬送容器５０のＩＤを変更する。次工程としての工程２０ｂでは、直前処理の終了に対応して付与された識別子である変更ＩＤをホストコンピュータ１０ａ上のソフトウエア上で確認することで、直前の処理工程の抜けがないことを見極め、次工程での受け入れを適とする。かかる構成により、直前処理工程の抜けが発生した場合でも、次工程での受け入れを確実に拒否することができ、直前処理の未処理に関わる汚染状況を次工程に持ち込む虞がない。 （もっと読む）

【課題】 スループットの低下を招かずに安全にマスクを搬送する。
【解決手段】 旋回アーム７は、搬送するレチクルを保持する保持部７３ａ，７３ｂと、これら保持部７３ａ，７３ｂをＸＹ面内で旋回させる旋回モータ７１とを備えている。保持部７３ａ，７３ｂは、レチクルの端部を下方から支持する支持部７８ａ，７８ｂと、Ｘ方向に伸びておりＹ方向にレチクルを挟み込んでレチクルのＹ方向の移動を規制する腕部７７ａ，７７ｂと、腕部７７ａ，７７ｂの両端部にそれぞれ設けられたレチクル規制部材７９ａ，７９ｂとを備えている。レチクル規制部材７９ａ，７９ｂは、腕部７７ａ，７７ｂがレチクルＲを挟み込んだ状態で、レチクルＲのＸ方向への動きを制限する規制部と、腕部７７ａ，７７ｂの挟み込み動作に伴いレチクルＲが該規制部によって規制される領域内に入り込むように誘導する斜面からなるレチクル矯正部７９ｃ，７９ｄとを有している。 （もっと読む）

【課題】 マーク形成の有無に拘わらず、スループットの低下を招かずに安全にマスクを搬送することができるマスク搬送装置を提供する。
【解決手段】 マスク搬送装置は、レチクルの位置補正を行う第２アライメントステージ６と、第２アライメントステージ６とレチクルステージＲＳＴとの間でレチクルを搬送する旋回アーム７とを備える。第２アライメントステージ６は、載置されたレチクルのマークを光学的に撮像してレチクルの位置計測を行う計測装置６７を備えており、この計測結果に基づいてステージ６０を駆動してレチクルＲの位置補正を行う。また、第２アライメントステージ６は固定ピン６８ａ，６８ｂ及び可動ピン６８ｃ，６８ｄを備えており、可動ピン６８ｃ，６８ｄを移動させて第２アライメントステージ６上のレチクルを固定ピン６８ａ，６８ｂに当接させることによりレチクルＲの位置補正を機械的に行う。 （もっと読む）

【課題】粘着テープＴを介してフレームＦと一体となったウェーハを加工することによりフレームＦに粘着屑が付着した場合でも、その粘着屑の影響を受けずにその後の搬送等を円滑に行うようにする。
【解決手段】加工装置においてウェーハＷを搬出入する際のウェーハＷの受け渡しを行う受け取り手段１１において、第一の底面支持部１１２と第一の側部支持部１１３とからなる第一のＬ字レール１１０と、第二の底面支持部１１４と第二の側部支持部１１５とからなり第一のＬ字レール１１０に対向して配設される第二のＬ字レール１１１とを備え、第一の底面支持部１１２の上部及び第二の底面支持部１１４の上部に、ウェーハカセットから搬出されたフレームの移動を規制する第一の引き出し規制部１１６及び第二の引き出し規制部１１７を対向して配設する。 （もっと読む）

【課題】 メンテナンスを行う作業員の安全を確保しつつ，装置稼動効率を向上する。
【解決手段】 塗布現像処理装置１には，外壁パネル１１を外すと装置内の総ての動作が停止するインターロック機構Ｉが設けられる。検査ステーション３のウェハ搬送ユニット４０と筺体４２との間には仕切板６０が設けられる。仕切板６０には搬入出口６０ａが形成され，搬入出口６０ａにはシャッタ６１が設けられる。検査ステーション３の外壁パネル１１にはスイッチ部材１７０が設けられる。筺体４２内の検査ユニット５１のメンテナンス時には，スイッチ部材１７０を押してシャッタ６１を閉じることによって，ウェハ搬送ユニット４０のある空間Ｋと筺体４２のある空間Ｌを遮断され，作業員の安全が確保される。シャッタ６１が閉まると，インターロック無効機構Ｒによってインターロック機構Ｉが無効になり，装置内の他の部分の稼動を継続できる。 （もっと読む）

【課題】ダイシングフレーム専用のキャリアＣは、最下段の左右の溝１Ａ、１Ａの底面と下端部の案内棒３との間の隙間δ１が、それより上段の溝１Ａ、１Ａの底面間の隙間δ２より狭く、しかも前者の隙間δ１が搬送アームの厚さよりも僅かしか広くないため、図３の（ｂ）に示すように最下段のダイシングフレームＤを搬出する時に搬送アーム４やダイシングフレームＤを損傷する虞があった。
【解決手段】本発明の載置機構１０は、ダイシングフレームを収納するキャリアＣを載置する機構であって、キャリアＣを載置する載置台１１と、この載置台１１内に配設され且つ載置台１１の上面１１Ａに形成された４箇所の開口部１１Ｂから出没してキャリアＣの最下段に収納されたダイシングフレームＤを昇降させる出没部材１２と、これらの出没部材１２を開口部１１Ｂにおいて出没させる駆動機構とを有する。 （もっと読む）

【課題】 オープンループ制御により、精確な動作が可能な駆動装置及び駆動装置の制御方法を提供する。
【解決手段】 駆動制御部１０から出力される制御信号に基づいて、ドライバ１１から所定の駆動信号が出力されて駆動源１５を動作させる。駆動制御部１０による制御動作が終了すると、振動制御部１２が駆動源を一定期間に正逆方向に交互に駆動させるような駆動制御信号を発生する。これにより駆動源１５は微振動する。駆動源の微振動による駆動力方向の力が、摩擦力等の負荷により抑制され最後まで動作できずに残存している駆動力と合算されて、駆動方向の力が摩擦等の負荷よりも大きくなると、動作部は残存駆動力に応じた距離だけ移動する。これにより、駆動制御部１０の制御信号に基づく動作が精確に実行される。 （もっと読む）

半導体ウェーハを取り扱ういろいろなエンドエフェクタの設計が開示されている。例えば、比較的低温でウェーハを取り扱うエンドエフェクタが、比較的高温でウェーハを取り扱うエンドエフェクタとともに開示されている。いずれのエンドエフェクタも、ウェーハの縁部で該ウェーハに単に接触するように構成されている、独自に設計された支持部材を含んでいる。エンドエフェクタは、また、ウェーじゃ検出システムを含み得る。比較的低温でウェーハを取り扱うエンドエフェクタは、また、ウェーハを位置決めするばかりでなく、エンドエフェクタに取り付けられているロボット・アームにより引き起こされるエンドエフェクタの加速または減速中、エンドエフェクタ上のウェーハを保持するのに使用される押し装置を含み得る。設計されているように、エンドエフェクタは、非常に薄い外形を有し、簡単に操縦しやすいエンドエフェクタを作り得る。

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【課題】アームの熱膨脹収縮により生じるハンド部材の偏位量を許容範囲内に収めることができるアーム回動形のワーク搬送用ロボットを提供する。
【解決手段】固定プーリ８，２７と、一端が固定プーリ８，２７に対して回動自在に支持されたアーム１３，２６と、アーム１３，２６の他端に回転自在に支持された回転プーリ１５，２９と、固定プーリと回転プーリとの間に張設されたベルト１７，３０とを備えたアーム機構を多段に設けて、最終段のアーム機構の回転プーリ２９にハンド部材４０を取り付けたワーク搬送用ロボットにおいて、アーム１３，２６の熱膨脹収縮によりハンド部材４０に生じる偏位を許容範囲に収めるように、テンションローラ２２，３５からベルト１７，３０に与える張力を調整するようにした。 （もっと読む）