【課題】抵抗値が制御されることができる抵抗素子を有する半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置は、半導体基板１０１と、絶縁膜１４ｂと、半導体素子と、抵抗素子４ｔとを有する。絶縁膜１４ｂは半導体基板１０１の少なくとも一部を被覆している。半導体素子は、半導体基板１０１の一部からなるチャネル領域と、電極とを有する。抵抗素子４ｔは、電極を流れる電流に対する抵抗となるように電極と電気的に接続され、かつ絶縁膜１４ｂを介して半導体基板１０１上に設けられている。抵抗素子４ｔは半導体領域を含む。半導体基板１０１と抵抗素子４ｔとの間の電位差により半導体領域に空乏層が生じる。 （もっと読む）

【課題】チップ面積の増加を抑えつつ、金属等からなるゲート電極を有するＭＩＳトランジスタと、抵抗体とを同一基板上に不具合なく形成する。
【解決手段】半導体装置は、半導体基板１上にそれぞれ設けられたＭＩＳトランジスタと抵抗素子とを備える。ＭＩＳトランジスタは、活性領域１ａと、活性領域１ａ上に設けられたゲート絶縁膜１８と、ゲート絶縁膜１８上に設けられたゲート電極１９とを有する。抵抗素子４０は、素子分離領域２上に設けられた抵抗体１０を有しており、ゲート電極１９の少なくとも一部は、抵抗体１０よりも小さな抵抗率を有しており、活性領域１ａ上においてはゲート電極１９の上面を覆っておらず、抵抗体１０の上面を覆っている層間絶縁膜１６がさらに設けられる。 （もっと読む）

【課題】 シリコンビームを使用しかつダブルゲートを有する半導体装置のおけるプロセスばらつきによる抵抗値ばらつきを防止する。
【解決手段】 端部に凹部を有する基板１と、基板１の凹部に一部が埋め込まれた一対のゲート電極４と、基板１の表面であって一対のゲート電極４の間に形成された拡散層７を有し、ゲート電極４と拡散層７の間の電位を変化させることにより、拡散層７の抵抗値を変化させる。 （もっと読む）

【課題】半導体装置において、高電圧の配線層とその下方を横切るように配置された抵抗層との間の絶縁膜の耐圧を確保し、この配線層と抵抗層との間で破壊が起きるのを抑制することを目的とする。
【解決手段】第１半導体領域１０に接続され第２半導体領域１１上を通過するように第３配線層２２が配置されている。第３配線層２２と第２半導体領域１１との間に配置される絶縁膜１４内には、一端が第３配線層２２に接続されると共に、他端が第１半導体領域１１よりも電位の低い制御端子１２に接続され、且つ第３配線層２２とＳＯＩ層２との間において第３配線層２２を少なくとも１回以上横切る構成で抵抗層２５が配置されている。この抵抗層２５は、第３配線層２２を横切る部位の上面が他の部位よりも下方位置となるように段差状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】 半導体装置の小型化を実現する。
【解決手段】 第１の絶縁膜上に、島状の半導体層及び前記半導体層を囲む第２の絶縁膜を形成し、前記半導体層の上面と平面的に重なるようにして導電膜からなる抵抗素子（例えばポリシリコン抵抗素子）を配置する。 （もっと読む）

【課題】バランス抵抗器の接続されたゲート間伝導領域を有するマルチゲート半導体デバイスにおいて、スイッチ素子として使用した際の低挿入損失と素子サイズを抑えつつ、オフ時の非線形性を改善する。
【解決手段】バランス抵抗器４０５のゲート間伝導領域への接続点をゲートの２つの両端より内側に設ける。好ましくはメアンダ状ゲートの屈曲領域４０６１に設ける。 （もっと読む）

【課題】 占有面積の増加を少なく、十分なＥＳＤ保護機能を持たせたＥＳＤ保護用のＮ型のＭＯＳトランジスタを有する半導体装置を提供する。
【解決手段】 ＥＳＤ保護用のＮ型ＭＯＳトランジスタのドレイン領域は、トレンチ分離領域の側面および下面に設置されたドレイン領域と同一の導電型の不純物拡散領域によって形成されたドレイン延設領域を介して、ドレイン領域と同一の導電型の不純物拡散領域によって形成されたドレインコンタクト領域と電気的に接続している半導体装置とした。 （もっと読む）

【課題】信頼性および集積性に優れた半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体装置は、基板（シリコン基板１）と、シリコン基板１に設けられた第１のトレンチ３と、第１のトレンチ３に埋め込まれた受動素子層１０と、第１のトレンチ３と受動素子層１０との間に設けられた第１の絶縁膜（シリコン窒化膜４）と、を備え、上面視において、第１のトレンチ３形成の周縁部分と第１の絶縁膜（シリコン窒化膜４）の周縁部分とが略一致している。 （もっと読む）

【課題】基準電圧を調整する回路を構成する抵抗素子を有するフラッシュ記憶素子である半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】フラッシュ記憶素子である半導体装置の製造方法は、半導体基板上にトレンチを定義する鋳型パターンＭＬＤＰを形成し、鋳型パターンＭＬＤＰ上にトレンチを横切る抵抗パターンＲＰを形成し、抵抗パターンＲＰ上に互いに離隔された第１及び第２導電パターン２１０、２２０を形成し、第１及び第２導電パターン２１０、２２０に各々接続する第１及び第２配線ＵＬ１，ＵＬ２を形成する段階を有し、第１及び第２導電パターンＵＬ１，ＵＬ２は鋳型パターンＭＬＤＰの上部に各々形成される。 （もっと読む）

【課題】環流ダイオードの逆回復動作時に発生する電流及び電圧の振動現象の収束時間を短縮可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置１０は、ユニポーラ型の還流ダイオード１００と、還流ダイオード１００に対し並列接続され、基板領域２１とキャパシタ２１０と抵抗２２０とを含む半導体スナバ２００とを備えている。抵抗２２０の少なくとも一部が、半導体スナバ２００の基板領域２１の一主面上に直接的にもしくは間接的に形成された、導電性材料からなる膜状の導電層１７を含み、かつ、抵抗２２０に電流が流れる際に、導電層１７に流れる電流の経路の少なくとも一部が、膜厚方向以外の方向へ流れる。 （もっと読む）

【課題】抵抗素子の特性のバラツキが発生することを抑制し、製造歩留まり、および、信頼性を向上する。
【解決手段】抵抗体膜ＴＭを基板上に形成後、その抵抗体膜ＴＭ上にて抵抗素子３１１の実効抵抗部ＪＴに対応する領域の面を被覆し、他の領域の面が露出するように、ハードマスク層Ｍ１を形成する。そして、そのハードマスク層Ｍ１を被覆するように導電体膜ＤＭを抵抗体膜ＴＭ上に形成後、その導電体膜ＤＭ上にて一対の電極層３１３を設ける領域の面を被覆し、他の領域の面が露出するように、フォトレジストマスク層ＰＭ２を形成する。そして、ハードマスク層Ｍ１およびフォトレジストマスク層ＰＭ２をマスクとして用いて、抵抗体膜ＴＭおよび導電体膜ＤＭについてパターン加工を実施する。 （もっと読む）

【課題】拡散抵抗領域の長手方向の端部と該拡散抵抗領域の長手方向にある絶縁分離用トレンチ内の（ドープド）ポリシリコン膜との電気的接続に要する表面面積を少なくすることのできる半導体装置およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】前記拡散抵抗領域７はトレンチ３ａより相互に絶縁分離され、前記トレンチ３ａの側壁にゲート絶縁膜４ａを介して設けられているポリシリコン５ａが、前記拡散抵抗領域３のいずれか一方の端部のｐ^＋コンタクト領域７ｂのみに接続され、短絡されている半導体装置とする。 （もっと読む）

【課題】薄膜ＳＯＩ領域を有する基板において、基板に第１半導体素子１０と異なる第２半導体素子３０、４０を形成した際に、この第２半導体素子３０、４０の特性を従来の半導体装置より向上させることができる半導体装置を提供する。
【解決手段】基板のうち第１半導体素子１０が形成される第１半導体素子形成領域１とは異なる部分を第２半導体素子形成領域２とし、第２半導体素子形成領域２に、基板の表裏を貫通する第１貫通トレンチ３１を形成し、第１貫通トレンチ３１の側壁に絶縁膜３２を形成すると共に第１貫通トレンチ３１の内部に第１埋込材料３３を埋め込む。そして、第１埋込材料３３を有する第２半導体素子３０、４０を形成して半導体装置を構成する。 （もっと読む）

【解決手段】 本発明による半導体装置は、メタル抵抗素子の下面に形成された下面酸化防止絶縁膜と、上面に形成された上面酸化防止絶縁膜と、下面酸化防止絶縁膜及び上面酸化防止絶縁膜とは別工程で、ウェハ全面に堆積した後に異方性エッチングを施しメタル抵抗素子の側面近傍にのみ形成された側面酸化防止絶縁膜とを有する。
【効果】 本発明によれば、メタル抵抗素子が酸化されて抵抗値が上昇するのを防止することができると同時に、加工プロセスを複雑にすることなく金属配線層間の寄生容量の増大を防止することができる。 （もっと読む）

【目的】低コストで薄い絶縁膜を形成でき、コンタクトホールの開口部を小さくしてチップサイズを縮小化できる半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】隣接する小トレンチ分離抵抗群２２で挟まれた箇所にトレンチ４を形成しない半導体領域２６を形成することで、トレンチ４を埋め込む層間絶縁膜（第２絶縁膜９）の厚さを薄くできる。層間絶縁膜を薄くすることで、コンタクトホール１０の開口部を小さくできてチップサイズを小型化できる。また、コンタクトホール１０を形成するためのエッチング時間が短縮できて製造コストを低減できる。 （もっと読む）

【課題】 保護対象回路を静電気放電から保護するために保護対象回路に接続されている保護素子を備えている半導体装置において、保護素子の厚みを増やすことなく保護素子の素子面積を低減でき、かつＥＳＤ信号の印加部とゲート電極の間の抵抗値を容易に調整することができる保護素子を備えている半導体装置を提供する。
【解決手段】 半導体装置１００は、保護対象回路１２とパッド１０と保護素子９０を備えている。保護素子９０には、第１ドレイン電極１４とソース電極２と第２ドレイン電極６とゲート電極４と素子分離トレンチ１８が形成されている。ドレイン電極１４、６と素子分離トレンチ１８の間はアルミ配線８で接続されている。パッド１０から第１ドレイン電極１４にＥＳＤ信号が印加されると、第１ドレイン電極１４から素子分離トレンチ１８を経由して第２ドレイン電極６にＥＳＤ電流が流れる。 （もっと読む）

【課題】抵抗素子として機能する配線を有し、かつ面積の小さな半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体装置は、半導体基板ＳＢと、半導体基板ＳＢ上に設けられた第２の配線層Ｌ２とを備えている。第２の配線層Ｌ２は、通常の配線ＷＲと、高抵抗配線ＲＥと、通常の配線ＷＲおよび高抵抗配線ＲＥを埋め込む絶縁膜８とを含んでいる。通常の配線ＷＲは、第１の銅部１０Ｗと、第１の銅部１０Ｗの底面側および側面側を覆う第１のバリアメタル膜９Ｗとを有している。高抵抗配線ＲＥは、空洞部ＣＶと、空洞部ＣＶの底面側および側面側を覆う第２のバリアメタル膜１９Ｒとを有している。 （もっと読む）

【課題】 抵抗体を備えた半導体装置の小型化、集積化を図ること。
【解決手段】 半導体基板の表面に、半導体基板とは逆の導電型であるエピタキシャル層を形成し、抵抗となる部分以外にトレンチを形成し、前記トレンチに絶縁膜を埋め込むことで互いに分離された抵抗体を3次元的に形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、製造工程の間に相対的に安定に維持され、予測可能な抵抗値を有する抵抗素子を含む半導体装置とその形成方法を提供する。
【解決手段】この半導体装置は、第１領域と第２領域を備える基板と、第１領域の基板上の、第１ゲート絶縁膜及び該第１ゲート絶縁膜上の第１ゲート電極膜を備えた少なくとも一つの第１ゲート構造物と、を備える。 （もっと読む）

【課題】抵抗値の設定精度を向上させる。
【解決手段】抵抗体チップ１Ａは、抵抗体２Ａと、その両端に電気的に接続された引き出し用電極パッド３Ａ，３Ｂとを有している。抵抗体２Ａは、抵抗値を設定する抵抗本体であり、半導体基板５上の絶縁膜に形成された抵抗形成溝４ａ内に埋め込まれている。引き出し用電極パッド３Ａ，３Ｂは、半導体基板５上の絶縁膜に形成されたパッド溝４ｂ内に埋め込まれている。上記抵抗体２Ａを半導体プロセス（リソグラフィ、エッチングおよび化学的機械的研磨等）を用いて形成することで、抵抗体２Ａの幅および膜厚の加工寸法誤差を低減できる。このため、抵抗体チップ１Ａの抵抗値の設定精度を向上させることができる。また、抵抗体チップ１Ａの微細化を図ることができるので、高集積化もできる。さらに、半導体装置の製造工程で用いられている製法を用いるので、抵抗体チップ１Ａの信頼性をも向上させることができる。 （もっと読む）