【課題】低廉なプロセスにて高性能・高信頼性を実現しうる半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】第１の領域に形成された第１導電型の不純物層及び第１のエピタキシャル半導体層と、第１のエピタキシャル半導体層上に第１のゲート絶縁膜を介して形成された第１のゲート電極と、第１の領域に形成された第１のソース／ドレイン領域とを有する第１のトランジスタと、第２の領域に形成された第２導電型の不純物層及び第１のエピタキシャル半導体層とは膜厚の異なる第２のエピタキシャル半導体層と、第２のエピタキシャル半導体層上に第１のゲート絶縁膜と同じ膜厚の第２のゲート絶縁膜を介して形成された第２のゲート電極と、第２の領域に形成された第２のソース／ドレイン領域とを有する第２のトランジスタとを有する。 （もっと読む）

【課題】不純物濃度のピーク位置までの深さが互いに異なる複数の不純物領域を半導体基板内に従来よりも少ない工数で形成するための技術を提供する。
【解決手段】複数の不純物領域を半導体基板内に有し、半導体基板の表面から複数の不純物領域の不純物濃度のピーク位置までの深さが互いに異なる半導体装置の製造方法が提供される。本方法は、光透過率が互いに異なる複数の領域を含むフォトマスクを用いて、半導体基板に塗布されたフォトレジストを露光する露光工程と、フォトレジストを現像して、フォトレジストの露光量に依存した互いに異なる膜厚を有する複数の領域を含むレジストパターンを形成する現像工程と、レジストパターンの膜厚が互いに異なる複数の領域を通して半導体基板に不純物イオンを注入して、半導体基板の表面からピーク位置までの深さが互いに異なる複数の不純物領域を形成する注入工程とを有し、ピーク位置までの深さは、注入される不純物イオンが通るレジストパターンの膜厚に依存することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】トランジスタの更なる高性能化を実現し得る半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板１０上にゲート絶縁膜２０を形成する工程と、ゲート絶縁膜上にゲート電極２２を形成する工程と、ゲート電極の両側における半導体基板内にソース／ドレイン拡散層４０，４４を形成する工程と、ソース／ドレイン拡散層を形成する工程の後に、複数回のスパイクアニールを行う工程とを有している。 （もっと読む）

【課題】混合信号プロセスにおいてアナログ回路の性能を向上させる方法および装置を提供すること
【解決手段】順方向バイアスおよび修正された混合信号プロセスを用いた回路設計を用いて、アナログ回路性能を向上させる方法が提示される。複数のＮＭＯＳトランジスタおよびＰＭＯＳトランジスタを含む回路が規定される。ＮＭＯＳトランジスタのボディ端子は、第１の電圧ソースに連結され、ＰＭＯＳトランジスタのボディ端子は、第２の電圧ソースに連結される。回路内のトランジスタは、各選択されたＮＭＯＳトランジスタのボディ端子に該第１の電圧ソースを適用することと、各選択されたＰＭＯＳトランジスタのボディ端子に該第２の電圧ソースを適用することとによって、選択的にバイアスされる。一実施形態において、第１の電圧ソースおよび第２の電圧ソースは、順方向バイアスおよび逆方向バイアスをトランジスタのボディ端子に提供するように修正可能である。 （もっと読む）

【課題】高性能・高信頼性を実現しうる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板にアライメントマークとなる溝を形成し、アライメントマークに位置合わせして素子分離領域となる領域を露出し素子領域となる領域を覆うマスク膜を形成し、マスク膜をマスクとして半導体基板を異方性エッチングし、半導体基板の素子分離領域となる領域に素子分離溝を形成し、素子分離溝を絶縁膜で埋め込み素子分離絶縁膜を形成する半導体装置の製造方法において、溝を形成する工程では、マスク膜の厚さに相当する深さよりも浅い溝を形成する。 （もっと読む）

【課題】高性能・高信頼性の半導体装置を製造するための半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板上に保護膜を形成し、保護膜を介して不純物をイオン注入する。注入した不純物を活性化して不純物層を形成した後、保護膜を除去する。その後、不純物層の表面部の半導体基板を除去し、表面部を除去した半導体基板上に半導体層をエピタキシャル成長する。 （もっと読む）

【課題】低電圧トランジスタ及び高電圧トランジスタの双方の要求を満たし、高性能・高信頼性を実現しうる半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ボロン又はリンを含む第１の不純物層と、第１の不純物層上に形成された第１のエピタキシャル層と、第１のエピタキシャル層上に第１のゲート絶縁膜を介して形成された第１のゲート電極と、第１のソース／ドレイン領域とを有する第１のトランジスタと、ボロン及び炭素又は砒素を含む第２の不純物層と、第２の不純物層上に形成された第２のエピタキシャル層と、第２のエピタキシャル層上に、第１のゲート絶縁膜よりも薄い第２のゲート絶縁膜を介して形成された第２のゲート電極と、第２のソース／ドレイン領域とを有する第２のトランジスタとを有する。 （もっと読む）

【課題】低廉なプロセスにて高性能・高信頼性を実現しうる半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】第１の領域に形成された第１の不純物層及び第１のエピタキシャル半導体層と、第１のエピタキシャル半導体層上にゲート絶縁膜を介して形成された第１のゲート電極と、第１の領域に形成された第１のソース／ドレイン領域とを有する第１のトランジスタと、第２の領域に形成された第２の不純物層及び第１のエピタキシャル半導体層よりも薄い第２のエピタキシャル半導体層と、第２のエピタキシャル半導体層上にゲート絶縁膜を介して形成された第２のゲート電極と、第２の領域に形成された第２のソース／ドレイン領域とを有する第２のトランジスタとを有する。 （もっと読む）

【課題】トランジスタのチャネル不純物の拡散を抑制し、高性能・高信頼性を実現しうる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板第１及び第２の領域に非晶質化のためのイオン注入を行い、第１の領域及び第２の領域に第１の不純物及び第２の不純物をそれぞれイオン注入し、注入した不純物を活性化して第１の不純物層及び第２の不純物層を形成し、不純物層を形成した半導体基板上に半導体層をエピタキシャル成長し、第１及び第２の領域上にゲート絶縁膜を成長し、第１及び第２のゲート絶縁膜上に第１及び第２のゲート電極をそれぞれ形成する。 （もっと読む）

【課題】ＩＧＢＴ素子領域からダイオード素子領域へのホールの注入を抑制することができ、さらに耐圧を確保できる構造を備えた半導体装置を提供する。
【解決手段】ダイオードセル２０において、ＩＧＢＴセル１０のトレンチ３８よりも深く、チャネル層３７よりも面密度が小さいアノードとしてのＰ型のリサーフ領域５２が形成され、このリサーフ領域５２の表層部にＰ＋型の第２コンタクト領域５５が形成されている。これにより、チャネル層３７によってドリフト層３３に形成される空乏層とリサーフ領域５２によってドリフト層３３に形成される空乏層とがＩＧＢＴセル１０とダイオードセル２０との境界付近で滑らかに接続されるので、当該境界付近における電界集中を緩和することができ、半導体装置の耐圧を確保することができる。 （もっと読む）

【課題】ドレインオフセット領域を有する高周波増幅用ＭＯＳＦＥＴにおいて、微細化およびオン抵抗低減を図る。
【解決手段】ソース領域１０、ドレイン領域９およびリーチスルー層３（４）上に電極引き出し用の導体プラグ１３（ｐ１）が設けられている。その導体プラグ１３（ｐ１）にそれぞれ第１層配線１１ｓ、１１ｄ（Ｍ１）が接続され、さらにそれら第１層配線１１ｓ、１１ｄ（Ｍ１）に対して、導体プラグ１３（ｐ１）上で裏打ち用の第２層配線１２ｓ、１２ｄが接続されている。 （もっと読む）

【課題】ＥＳＤ素子のＥＳＤ耐量を向上させる。
【解決手段】ＥＳＤ素子２１は半導体基板１表面に形成したＰ型ウェル領域２上にゲート絶縁膜を介して、一方向に延びた複数本のゲート電極３が相互に平行に設けられており、Ｐ型ウェル領域２の表面におけるゲート電極３の直下域がチャネル領域９になっている。そして、チャネル領域９間の領域がＮ＋ソース領域５又はＮ＋ドレイン領域４となっており、Ｎ＋ソース領域５とＮ＋ドレイン領域４とは交互に配列されている。そして、並列して隣接するゲート電極３間に位置するＮ＋ドレイン領域４を分割し、かつ隣接するゲート電極３を接続するようにゲート電極接合領域１０を設ける。なお、ゲート電極接合領域１０の直下域にはチャネル領域９と同一の不純物濃度を有する領域１１が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 素子分離領域の広がりによる素子形成領域間の拡大等の改善を図る。
【解決手段】 半導体基体１１には、素子分離領域１６が、所定の濃度をもって第１導電型不純物が導入された第１の選択的不純物導入領域１７と、第１の選択的不純物導入領域１７に比し低い所定の不純物濃度の第２導電型不純物が選択的に導入された第２の選択的不純物導入領域１８とによって構成される。第２の選択的不純物導入領域１８の不純物濃度の選定によって第１の選択的不純物導入領域１７からの不純物の横方向拡散による広がり領域における第１導電型の打消しを行って、素子分離領域１６の横方向の実質的広がりを抑制する。 （もっと読む）

【課題】閾値電圧の制御性を向上させて形成された複数種類のトランジスタを備える不揮発性記憶装置、および、それに適した製造方法を提供する。
【解決手段】１つの半導体基板２の表面に形成された複数種類のＭＯＳトランジスタを有する不揮発性記憶装置であって、ｎ形のソース領域１４およびドレイン領域１５と、その間の半導体基板２の表面上に設けられたゲート絶縁膜１７と、ゲート電極１８と、ゲート絶縁膜１７の直下に位置し、ｎ形不純物とｐ形不純物との両方を含むチャネル領域４２と、を有するＭＯＳトランジスタ１０と、ｎ形のソース領域２４およびドレイン領域２５と、その間の半導体基板２の表面上に設けられたゲート絶縁膜２７と、ゲート電極２８と、ゲート絶縁膜２７の直下に位置し、ｎ形不純物の濃度プロファイルがチャネル領域４２と同じであるチャネル領域４３と、を有するＭＯＳトランジスタ２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】工程数の増加を回避し得る半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】低濃度ドレイン領域２８ｈを形成するためのドーパント不純物が導入される所定領域を除く領域に、所定領域から離間するようにチャネルドープ層２２ｄを形成する工程と、半導体基板１０上にゲート絶縁膜２４を介してゲート電極２６ｄを形成する工程と、ゲート電極の一方の側の半導体基板内に低濃度ソース領域２８ｇを形成し、ゲート電極の他方の側の半導体基板の所定領域に低濃度ドレイン領域２８ｈを形成する工程とを有している。 （もっと読む）

幅広い電子デバイスのアレイ及びシステムにおける電力消費を低減する一式の新たな構造及び方法が提供される。これらの構造及び方法の一部は、大部分が、既存のバルクＣＭＯＳのプロセスフロー及び製造技術を再利用することで実現され、半導体産業及びより広いエレクトロニクス産業がコスト及びリスクを伴って代替技術へ切り替わることを回避可能にする。これらの構造及び方法の一部は、深空乏化チャネル（ＤＤＣ）設計に関係し、ＣＭＯＳベースのデバイスが従来のバルクＣＭＯＳと比較して低減されたσＶＴを有することと、チャネル領域にドーパントを有するＦＥＴの閾値電圧ＶＴがより正確に設定されることとを可能にする。ＤＤＣ設計はまた、従来のバルクＣＭＯＳトランジスタと比較して強いボディ効果を有することができ、それにより、ＤＤＣトランジスタにおける電力消費の有意義な動的制御が可能になる。
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【課題】ボディー抵抗の低減化を図った部分分離ボディー固定ＳＯＩ構造の半導体装置及びその製造方法を得る。
【解決手段】ＮＭＯＳトランジスタのソース・ドレイン領域形成時において、Ｎ⁺ブロックレジスト５１におけるＮ⁺ブロック領域４１のゲート方向延長領域４１ａによって、ゲート方向延長領域４１ａ下のウェル領域１１には、Ｎ型の不純物が注入されることを回避する。ゲート電極９の長手方向延長線上においてＮ型の不純物が注入される恐れのあるウェル領域１１である高抵抗形成領域を、従来の高抵抗形成領域Ａ１より狭い高抵抗形成領域Ａ２とすることができる。 （もっと読む）

【課題】製造コストが低減し、電界効果トランジスタの短チャネル効果が抑制された半導体装置を提供する。
【解決手段】第１導電型のソース領域と、第１導電型のドレイン領域と、が表面に選択的に形成された第２導電型のウェル領域と、前記ソース領域と前記ドレイン領域との間の電流経路を制御する制御電極と、前記ソース領域に接続された第１の主電極と、前記ドレイン領域に接続された第２の主電極と、を備え、前記ソース領域の最も曲率が高い部分または前記ドレイン領域の最も曲率が高い部分と同じ深さの前記ウェル領域の位置を基準した場合、前記ウェル領域の深さ方向の前記第２導電型の不純物濃度分布のプロファイルは、前記基準からプラスマイナス０．１５ミクロンの範囲に不純物濃度分布のピークを有することを特徴とする半導体装置が提供される。 （もっと読む）

幅広い電子デバイスのアレイ及びシステムにおける電力消費を低減する一式の新たな構造及び方法が提供される。これらの構造及び方法のうちの一部は、大部分が既存のバルクＣＭＯＳのプロセスフロー及び製造技術を再利用することで実現され、半導体産業及びより広いエレクトロニクス産業がコスト及びリスクを伴って代替技術へ切り替わることを回避可能にする。これらの構造及び方法のうちの一部は、深空乏化チャネル（ＤＤＣ）設計に関係し、ＣＭＯＳベースのデバイスが従来のバルクＣＭＯＳと比較して低減されたσＶＴを有することと、チャネル領域にドーパントを有するＦＥＴの閾値電圧ＶＴがより一層正確に設定されることとを可能にする。ＤＤＣ設計はまた、従来のバルクＣＭＯＳトランジスタと比較して強いボディ効果を有することができ、それにより、ＤＤＣトランジスタにおける電力消費の有意義な動的制御が可能になる。
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【課題】 ＭＯＳトランジスタの製造工程を削減し、さらには寄生ＭＯＳの敷居値電圧が低下するのを抑制する。
【解決手段】 本発明の半導体装置の製造方法は、ゲート電極形成後にウェル拡散層とは逆導電型のチャネル形成用の不純物をイオン注入する製造方法において、フィールド酸化膜３０にチャネル形成用の不純物をイオン注入しない製造方法である。従って、本発明の半導体装置は、フィールド酸化膜３０にチャネル形成用の不純物がイオン注入されていない構造となる。 （もっと読む）