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Fターム[5F049PA07]の内容

受光素子−フォトダイオード・Tr (21,418) | 製造方法(工程) (2,065) | 薄膜技術 (312) | スパッタ法 (97)

Fターム[5F049PA07]に分類される特許

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【課題】アノードになる電極とカソードになる電極を確定できる光電変換素子を提供する。
【解決手段】光電変換素子1の半導体層10に凸層11を形成する。導電層40を凸層11の一側面に接触するようにして半導体層10の表面に積層する。第1電極21を凸層11の反対側の面に接触するようにして半導体層10の表面に設ける。第2電極22を導電層40に設ける。更に、凸層11又は導電層40に多数の周期構造33を含む金属ナノ構造30を積層する。各周期構造33は複数の第1凸部31からなり、第1凸部31の配置間隔が周期構造33に応じて異なる。 (もっと読む)


【課題】電流−電圧特性が正側と負側で確実に非対称になり、障壁電圧を向上させるダイオード特性を示し、更には発電電力を増大できる光電変換素子を提供する。
【解決手段】光電変換素子1の半導体層11に導電層20を積層し、その上にランダムな周期の周期構造33を多数含む金属ナノ構造30を積層する。一対の電極41,42を導電層20上に互いに離して設ける。一対の電極41,42のうち第1電極41と導電層20との間に極性確定層50を介在させる。好ましくは、極性確定層50を、厚さ1nm未満の絶縁体にて構成する。 (もっと読む)


【課題】色再現性に優れる多層型撮像素子を提供する。
【解決手段】第1透明電極に積層される第1層間絶縁膜と、第1層間絶縁膜の上に配設される第2の信号読み出し部と、第2の信号読み出し部の上に配設され、光の3原色のうち第2の波長の光に感度を有する第2光電変換膜と、第2光電変換膜に積層される第2透明電極と、第2透明電極に積層される第2層間絶縁膜と、第2層間絶縁膜の上に配設される第3の信号読み出し部と、第3の信号読み出し部の上に配設され、光の3原色のうち第3の波長の光に感度を有する第3光電変換膜と、第3光電変換膜に積層される第3透明電極と、第1光電変換膜、第2光電変換膜、及び第3光電変換膜を画素毎に隔離する第1隔壁とを備え、前記第1の信号読み出し部、前記第2の信号読み出し部、及び前記第3の信号読み出し部は、それぞれ複数の画素が2次元方向に配置された画素アレイの各画素の信号読み出し部を形成している。 (もっと読む)


【課題】製造コストを抑えつつ、製造工程に起因する性能劣化を抑制することができる光電変換素子の製造方法を提供する。
【解決手段】第1の電極と、第1の電極上方に形成された第2の電極と、第1の電極と第2の電極との間に形成された、受光した光に応じて電荷を生成する光電変換層を有する有機層と、第1の電極、第2の電極および有機層を封止する封止層とを有する光電変換素子の製造方法である。第1の電極の上方に有機層を形成する有機層形成工程と、有機層の上方に第2の電極を形成する第2の電極形成工程と、第2の電極の上方に封止層を形成する封止層形成工程とを有する。有機層形成工程から封止層形成工程の各工程が真空下でなされる。さらに有機層形成工程と第2の電極形成工程との間に製造途中の光電変換素子中間体を300lux・h以下の照射光量の非真空下に置く工程を有する。 (もっと読む)


【課題】有機材料を含む受光層を有する光電変換素子において、受光層の材料の選択幅を狭めることなく、光電変換素子の耐熱性を向上させること。
【解決手段】基板101上に酸化膜で構成された絶縁膜102が形成され、当該絶縁膜102上に並べて形成された複数の画素電極104と、複数の画素電極104の上にこれらを覆って形成された有機材料を含む受光層107と、受光層107上に形成された対向電極108とを有する固体撮像素子であって、画素電極104が、酸化窒化チタンで構成され、受光層107を形成する直前における画素電極104の組成が、(1)画素電極104全体に含まれる酸素量がチタン量の75atm%以上、又は、(2)画素電極104の基板101側から10nmまでの範囲或いは画素電極104の基板101側から画素電極104厚みの2/3までの範囲において、酸素量がチタン量の40atm%以上の条件を満たしている。 (もっと読む)


【課題】有機材料を含む受光層を有する光電変換素子において、受光層の材料の選択幅を狭めることなく、光電変換素子の耐熱性を向上させること。
【解決手段】絶縁層102上に複数の画素電極104を形成する第一の工程と、複数の画素電極104の上に有機材料を含む受光層107を形成する第二の工程と、受光層107上に対向電極108を形成する第三の工程とを備え、第一の工程は、絶縁層102上に画素電極材料を成膜する工程と、成膜した前記画素電極材料の膜をパターニングする工程と、前記パターニング後の前記基板を270℃以上で加熱する工程とで構成される。 (もっと読む)


【課題】加熱処理を行った場合にも優れた高光電変換効率および低暗電流性を示し、高い生産性で製造することができる光電変換素子を提供する。
【解決手段】透明導電性膜15と、導電性膜11と、透明導電性膜15と導電性膜11との間に配置された光電変換層12および電子ブロッキング層16Aとを有する光電変換素子10aであって、光電変換層12が、ベンゼン環を少なくとも5個以上含み、総環数が7個以上であり、カルボニル基を含まない縮合多環炭化水素を含有し、電子ブロッキング層が、化合物からRa1〜Ra9の少なくとも1つの基を取り除いた残基を有し、ガラス転移点(Tg)が200℃以上である化合物Aを含有する。 (もっと読む)


【課題】ノイズ光の影響を軽減することが可能な光電変換素子および光電変換装置を提供する。
【解決手段】フォトダイオードは、基板上に、第1導電型(例えばp型)半導体層、i型半導体層および第2導電型(例えばn型)半導体層をこの順に備え、基板と第1導電型半導体層との間に遮光層を有している。第2導電型半導体層側から入射する光に基づいて信号電荷が取り出される(光電変換がなされる)。基板と第1導電型半導体層との間に遮光層が設けられていることにより、第2導電型半導体層側から入射した光のうち、吸収されずに第1導電型半導体層を透過して基板側へ出射した光が遮断されると共に、基板側から第1導電型半導体層へ向かう光が遮断される。 (もっと読む)


【課題】半導体紫外線受光素子の製造を容易にする。
【解決手段】紫外線受光素子は、絶縁性基板と、前記絶縁性基板上方に形成された第1のMgZn1−xO(0<x≦0.6)層と、前記第1のMgZn1−xO(0<x≦0.6)層上に形成され、前記第1のMgZn1−xO(0<x≦0.6)層のMg組成xよりも低いMg組成yを有し、一部が前記第1のMgZn1−xO(0<x≦0.6)層上から除去されている第2のMgZn1−yO(0≦y<0.6)層と、前記第2のMgZn1−yO(0≦y<0.6)層の一部が除去された部分から露出している前記第1のMgZn1−xO(0<x≦0.6)層上に形成されたオーミック電極と、前記第2のMgZn1−yO(0≦y<0.6)層上に形成されたショットキー電極とを有する。 (もっと読む)


【課題】高移動度のアセン系有機半導体膜を塗布法で形成できるポリアセン化合物。
【解決手段】3.3以下の1,000Hzでの誘電率εを有する有機結合剤および式A:


式中、R=R)のそれぞれは、同一または異なっていてもよく、独立して、水素、カルビル基、ヒドロカルビル基、アルコキシ基などであり、飽和または不飽和の環を形成するように架橋されていてもよく、飽和または不飽和の環は、酸素原子、硫黄原子などが介在、または置換されていてもよい;および式中、nは、0、1、2、3または4である、のポリアセン化合物を含む、有機半導体層用処方物。 (もっと読む)


【課題】微細化と共に感度を向上でき、クロストーク及び暗電流の増大を防ぐことが可能な固体撮像装置を信頼性が高い製造方法により得られるようにする。
【解決手段】半導体基板1と、半導体基板1の上部に形成されたトランジスタ4と、半導体基板1の上に形成され、トランジスタ4と電気的に接続する配線10を含む配線層と、配線層の上に、配線10と電気的に接続するように形成され、行列状に配置された複数の下部電極11、該複数の下部電極11の上に形成された光電変換膜12及び該光電変換膜12の上に形成された上部電極13を含む光電変換部14とを備えている。光電変換膜12は、単層膜又は積層膜であり、酸化銅(I)を含む。 (もっと読む)


【課題】可視光領域だけでなく近赤外線領域においても透過性に優れ、しかも低抵抗値を有する希少金属を使用しない安価な酸化物透明電極膜からなる光検出素子用透明電極膜、およびそれを設けた光検出素子を提供することである。
【解決手段】
本発明の光検出素子用透明電極膜は、酸化亜鉛にドーパントとして低原子価金属酸化物をドープした酸化物透明電極膜からなる。該酸化物透明電極膜は、酸化亜鉛を主成分とし、低原子価金属酸化物をドープしたターゲットまたはタブレットを用いて、スパッタリング法、イオンプレーティング法、パルスレーザ堆積法(PLD法)またはエレクトロンビーム(EB)蒸着法にて成膜されたものであり、低原子価金属酸化物が、低原子価金属と亜鉛との原子数比で0.02〜0.1の割合となるようにドープされ、そして酸化物透明導電膜の比抵抗が2.0×10-3Ω・cm以下である。 (もっと読む)


【課題】紫外光を可視光から分離して検出する紫外光センサー及びその製造方法を提供する。
【解決手段】第1の電極層と、第1の電極層上に形成され、ポリシランを含むP型半導体材料と、N型半導体材料とを含み、紫外光のみを吸収する光電変換層と、光電変換層上に形成された第2の電極層とを有する。 (もっと読む)


【課題】リーク電流(暗電流)が低減された光電変換部を有する光電変換装置、これを適用した電子機器を提供すること。
【解決手段】本適用例の光電変換装置は、基板上に形成された回路部と、回路部に電気的に接続された第1電極21と、第1電極21に対向配置された透光性を有する第2電極22と、第1電極21と第2電極22との間に挟持された光電変換部26とを備え、光電変換部26は、カルコパイライト型のp型化合物半導体膜からなる光吸収層23と、非晶質の酸化物半導体層24と、n型半導体膜からなる窓層25とが順に積層されたものであることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】特性を向上することができる光電変換素子および光電変換素子の製造方法を提供する。
【解決手段】基板と、基板上に設けられた半導体積層体と、半導体積層体上に設けられた導電層とを備え、半導体積層体は、基板側から導電層側にかけて、n型窒化物半導体層、i型窒化物半導体層およびp型窒化物半導体層をこの順に含み、p型窒化物半導体層は導電層側の表面に凹凸を有している光電変換素子とその製造方法である。 (もっと読む)


【課題】有機光電変換層への入射光量を増加させることができ、しかも特性が良好で長寿命の有機光電変換素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】基板11上に第1の電極12を形成する。第1の電極12上に開口13aを有する絶縁層13を形成する。開口13aを通じて第1の電極12と電気的に接続され、かつ絶縁層13上に延在するように有機光電変換層14を形成する。有機光電変換層14上にグラフェンからなる第2の電極15を形成する。こうして有機フォトダイオードを製造する。この有機フォトダイオードにおいては、第2の電極15側を受光面側とする。 (もっと読む)


【課題】安価な材料と簡易な設備で製造しても紫外線検出能力に優れた紫外線センサー素子を提供すること。
【解決手段】酸化チタンまたは酸化亜鉛からなる非多孔質の酸化物層、前記非多孔質の酸化物層と同じ材料からなる多孔質酸化物層、金属層を積層してなり、前記金属層が前記多孔質酸化物層に対してショットキー接合を形成している紫外線センサーであって、前記非多孔質の酸化物層の膜厚が20〜700nm、前記多孔質酸化物層の膜厚が2〜20μmであることに要旨を有する紫外線センサー素子。 (もっと読む)


【課題】特定の吸収波長に強く応答することができる紫外線センサを実現する。
【解決手段】(Ni,Zn)Oを主成分とするp型半導体層1とZnOを主成分としたn型半導体層2とを接合させる前に、(Ni,Zn)O焼結体を酸性及びアルカリ性のいずれかに調整した表面処理溶液に接触させ、前記焼結体の表層面のZnを溶出させてp型半導体層1を作製する。表面処理は外部電極5a、5b形成後のめっき処理と同時に行うのが好ましく、表層面からのZn溶出量が所定量となるようなpHに調整された表面処理溶液を選択し、表面処理を行うか、又は表層面からのZn溶出量が所定量となるような所定時間、(Ni,Zn)O焼結体を表面処理溶液に浸漬させる。 (もっと読む)


【課題】赤外線撮像装置の分解能を向上することができる赤外線イメージセンサ及び赤外線撮像装置を提供する。
【解決手段】赤外線イメージセンサ11には、複数個の第1の画素1aが配列した第1の赤外線検知層1と、第1の赤外線検知層1上方に形成され、複数個の第2の画素2aが配列した第2の赤外線検知層2と、複数個の第1の画素1aの各々から信号を出力する第1の出力部3と、複数個の第2の画素2aの各々から信号を出力する第2の出力部4と、が設けられている。平面視で、複数個の第2の画素2aの配列が、複数個の第1の画素1aの配列からずれている。 (もっと読む)


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