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Fターム[5F049PA15]の内容

受光素子−フォトダイオード・Tr (21,418) | 製造方法(工程) (2,065) | 電極形成法 (102)

Fターム[5F049PA15]に分類される特許

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【課題】複数位相の同時復調を行うことができ、かつ、素子構造が単純であって、比較的小さな撮像素子を構成する際にも高解像度を得ることができるほどの密度に実装することが可能であり、しかも安価に製造できる汎用の半導体製造プロセスでの製造する。
【解決手段】少なくとも4個以上のPN接合ダイオードのなかで少なくとも2個以上のPN接合ダイオードに電圧を印加して、エピタキシャル層内の静電ポテンシャルを変調する変調電位印加ダイオードとし、少なくとも4個以上のPN接合ダイオードのなかで変調電位印加ダイオードと重複しない少なくとも2個以上のPN接合ダイオードは、エピタキシャル層で生成された光電子を回収する光電子回収ダイオードとし、少なくとも2個以上の変調電位印加ダイオードへそれぞれ印加する電圧の位相を変化させて静電ポテンシャルの勾配を制御し、光電子の少なくとも2個以上の光電子回収ダイオードへの移動を制御する。 (もっと読む)


【課題】大面積化を図りつつ、時間分解能をより一層向上することが可能な光検出装置を提供すること。
【解決手段】半導体光検出素子10は、ガイガーモードで動作する複数のアバランシェフォトダイオードAPDと、各アバランシェフォトダイオードAPDに対して直列に接続されるクエンチング抵抗R1と、クエンチング抵抗R1が並列に接続される信号線TLと、を含むフォトダイオードアレイPDAを一つのチャンネルとして、複数のチャンネルを有する。搭載基板20は、チャンネル毎に対応した複数の電極E9が主面20a側に配置されると共に、各チャンネルからの出力信号を処理する信号処理部SPが主面20b側に配置されている。半導体基板1Nには、チャンネル毎に、信号線TLと電気的に接続された貫通電極TEが形成されている。貫通電極TEと電極E9とがバンプ電極BEを介して電気的に接続されている。 (もっと読む)


【課題】少なくとも一つの活性有機層を備えた電子構成要素を製造する。
【解決手段】有機構成要素を巻回プロセスにて製造し得る方法を最初に開示する。連続的な製造方法は、活性半導体層の活性領域が、製造プロセスの任意の時点にて未保護の溶媒、及び/又は溶媒蒸気に露出されない利点を有している。それによって、高品質の有機構成要素を製造することが可能となる。 (もっと読む)


【課題】 配線の長さだけに律則されることなく、インダクタンスおよびキャパシタンスを決定し、これによって半導体受光装置の特性を向上する。
【解決手段】 半導体受光装置は、出力側電極と基準電位側電極とを備える半導体受光素子と、前記出力側電極および前記基準電位側電極にそれぞれ接続された引出配線と、を備え、前記出力側電極に接続された前記引出配線の幅が、前記基準電位側電極に接続された引出配線の幅よりも小さいことを特徴とするものである。 (もっと読む)


【課題】半導体紫外線受光素子の製造を容易にする。
【解決手段】 半導体紫外線受光素子の製造方法は、基板を準備する工程と、前記基板上の一部領域に極性反転層を形成する工程と、前記基板上及び前記極性反転層上に、−c極性ZnO系半導体層と+c極性ZnO系半導体層とを、同時にエピタキシャル成長させる工程と、前記−c極性ZnO系半導体層をエッチングにより除去する工程と、前記+c極性ZnO系半導体層上にショットキー電極を形成する工程と、前記ショットキー電極と対をなすオーミック電極を形成する工程とを有する。 (もっと読む)


【課題】サイズが小さくなっても、受光部などの光学領域への集光を向上させることが可能な光学素子を提供する。
【解決手段】光学領域(フォトダイオードである受光部102)を有する半導体基板101と、半導体基板101の上に配置された透明絶縁膜111を有し、透明絶縁膜111は、光学領域直上の第1の領域(遮光膜110によって挟まれる領域)と、第1の領域の上の第2の領域を有し、透明絶縁膜111は、第2の領域と同じ高さにあり、平面視において第2の領域の外側に位置する第3の領域(遮光膜110の上の領域)を有し、第1の領域が有する空孔115の空孔径は第3の領域が有する空孔115の空孔径よりも小さい。 (もっと読む)


【課題】半導体紫外線受光素子の製造を容易にする。
【解決手段】紫外線受光素子は、絶縁性基板と、前記絶縁性基板上方に形成された第1のMgZn1−xO(0<x≦0.6)層と、前記第1のMgZn1−xO(0<x≦0.6)層上に形成され、前記第1のMgZn1−xO(0<x≦0.6)層のMg組成xよりも低いMg組成yを有し、一部が前記第1のMgZn1−xO(0<x≦0.6)層上から除去されている第2のMgZn1−yO(0≦y<0.6)層と、前記第2のMgZn1−yO(0≦y<0.6)層の一部が除去された部分から露出している前記第1のMgZn1−xO(0<x≦0.6)層上に形成されたオーミック電極と、前記第2のMgZn1−yO(0≦y<0.6)層上に形成されたショットキー電極とを有する。 (もっと読む)


【課題】大きな開口率を実現することができるアバランシェフォトダイオードを得る。
【解決手段】n型InP基板1の主面上に、アバランシェ増倍層3、p型InP電界緩和層4、光吸収層5、及びアンドープInP窓層6が順に積層されている。アンドープInP窓層6の一部にp型不純物領域8が設けられている。直線状p側電極9がp型不純物領域8上に配置されてp型不純物領域8に接続されている。直線状p側電極9は、n型InP基板1の主面に対向する平面視において直線状である。 (もっと読む)


【課題】 キャパシタンスおよびインダクタンスの両方を抑制することができる半導体受光装置を提供する。
【解決手段】 半導体受光装置は、基板と、前記基板上に設けられ、第1導電型領域および第2導電型領域を備え、上面および側面を有する半導体受光素子と、前記上面において、前記第1導電型領域と電気的に接続された第1電極と、前記第2導電型領域に電気的に接続された第2電極と、前記半導体受光素子の前記上面および側面を覆う絶縁膜と、前記第1電極と接続され、前記上面および側面の前記絶縁膜上を経て前記基板上にまで延在して設けられた引出配線と、前記半導体受光素子の上面あるいは側面に位置し、前記基板上における前記引出配線の第1の幅よりも狭い前記引出配線の第2の幅の領域と、を有する。 (もっと読む)


【課題】ワイヤーボンディング用金属電極の有機物電極からの剥離が抑制された新規な構造の半導体紫外線受光素子を提供する。
【解決手段】半導体紫外線受光素子は、絶縁性下地の一部上方に、II族酸化物半導体またはIII族窒化物半導体で形成された半導体層と、半導体層の上面と側面を覆い、端部が絶縁性下地上に達するように形成された紫外線透過性の有機物電極と、有機物電極上から絶縁性下地上に延在し、絶縁性下地上方にボンディング領域を確保するワイヤーボンディング用金属電極とを有する。 (もっと読む)


【課題】可視光領域だけでなく近赤外線領域においても透過性に優れ、しかも低抵抗値を有する希少金属を使用しない安価な酸化物透明電極膜からなる光検出素子用透明電極膜、およびそれを設けた光検出素子を提供することである。
【解決手段】
本発明の光検出素子用透明電極膜は、酸化亜鉛にドーパントとして低原子価金属酸化物をドープした酸化物透明電極膜からなる。該酸化物透明電極膜は、酸化亜鉛を主成分とし、低原子価金属酸化物をドープしたターゲットまたはタブレットを用いて、スパッタリング法、イオンプレーティング法、パルスレーザ堆積法(PLD法)またはエレクトロンビーム(EB)蒸着法にて成膜されたものであり、低原子価金属酸化物が、低原子価金属と亜鉛との原子数比で0.02〜0.1の割合となるようにドープされ、そして酸化物透明導電膜の比抵抗が2.0×10-3Ω・cm以下である。 (もっと読む)


【課題】 フローティングディフュージョン部の容量の増大を抑制することが可能な光電変換装置を提供する。
【解決手段】 光電変換素子と、フローティングディフュージョン部と、転送トランジスタと、増幅トランジスタとが配された半導体基板と、第1の配線層と、第2の配線層とを含む複数の配線層と、を有する光電変換装置において、転送トランジスタのゲート電極と、前記第2の配線層とがスタックコンタクト構造で接続されている。 (もっと読む)


【課題】特定の吸収波長に強く応答することができる紫外線センサを実現する。
【解決手段】(Ni,Zn)Oを主成分とするp型半導体層1とZnOを主成分としたn型半導体層2とを接合させる前に、(Ni,Zn)O焼結体を酸性及びアルカリ性のいずれかに調整した表面処理溶液に接触させ、前記焼結体の表層面のZnを溶出させてp型半導体層1を作製する。表面処理は外部電極5a、5b形成後のめっき処理と同時に行うのが好ましく、表層面からのZn溶出量が所定量となるようなpHに調整された表面処理溶液を選択し、表面処理を行うか、又は表層面からのZn溶出量が所定量となるような所定時間、(Ni,Zn)O焼結体を表面処理溶液に浸漬させる。 (もっと読む)


【課題】表面プラズモンを誘起し、検出したい波長での感度を増大させた赤外線検出装置を提供する。
【解決手段】多層に積層された量子ドット24のサブバンド間遷移を利用して赤外線を吸収する光吸収層200と、光吸収層200を挟むように設けられた下部電極27及び上部電極28を有する。上部電極28には、表面プラズモンを誘起して検出すべき波長における感度を増大させるための周期的な孔29が形成されている。 (もっと読む)


【課題】製造が容易で、良好な時間的および空間的なコヒーレンスを有し、高い実装密度を有する、バイスペクトル検出器を提供する。
【解決手段】第1の導電型の上側半導体層18および下側半導体層14のスタックであって、上側層18および下側層14の間の電位バリアを形成する中間層16によって分離される、スタックと、第2の導電型の上側半導体領域68および下型半導体領域66であって、半導体領域66が、少なくとも部分的に、上側層および中間層を通過する開口22の底部に位置する、半導体領域66,68とからなる。上側層と下側層の少なくとも1つの上面が、半導体層66,68で全体が覆われる。半導体層66,68を形成するために、スタックの上面から、かつ半導体層66,68の少なくとも厚みを通って、各単位検出要素の周囲で切り欠き62が作られ、半導体層66,68が、半導体層18,14の一方またはもう一方の全体を覆う。 (もっと読む)


【課題】バイスペクトル多層フォトダイオード検出器、及びそのような検出器を製造する方法を提供する。
【解決手段】第1及び第2の電磁波スペクトルを吸収し、バリアを形成する中間層(16)によって離される第1導電型の上部(18)及び下部(14)の半導体層と、上部(18)及び下部層(14)に注入され、それぞれが上部層(18)及び中間層(16)を通り抜ける開口部(22)の底部に少なくとも部分的に注入される第2導電型の半導体区域(44)と、半導体区域(44)に接続された導体要素(28,30,32,34)と、を備えるバイスペクトル検知器を提供する。 (もっと読む)


【課題】CMOS等と接続してハイブリッド型検出装置を形成するときオープン不良を生じにくい、受光素子アレイ等を提供する。
【解決手段】化合物半導体の受光素子アレイは、CMOS等との接続のためにバンプが設けられた電極が複数配列されており、電極が配列された領域は、中心から距離に応じて領域S,S,Sに分けられており、外側の領域の、領域面積当たりのバンプの占有面積が中心側の領域のそれより大きくなるように、外側の領域のバンプの個数の密度が、中心側の領域のそれより大きいことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】波長600nm以上の赤色領域の吸光度を制御することができる光電変換素子、及び該光電変換素子を用いて色再現性が向上した撮像素子を提供すること。
【解決手段】一対の電極と、前記一対の電極間に配置された光電変換層とを含む光電変換素子であって、前記光電変換層がp型半導体化合物と二種類以上の異なる無置換フラーレンを含む光電変換素子。該光電変換素子を含む撮像素子。 (もっと読む)


【課題】半導体受光素子の電極と半導体層の電気的接続を確保しつつ、安定的に製造されることにより、歩留まりが向上される半導体受光素子及びその製造方法の提供。
【解決手段】半導体基板と、前記半導体基板に積層されるとともに、上面部を有する半導体層と、前記半導体層の前記上面部を覆って形成されるとともに、反射主領域を有する反射膜と、前記反射膜の上面の少なくとも一部を覆って形成されるとともに、前記反射膜を貫いて延び前記半導体層の前記上面部と接する接合部を有する上部電極と、を備え、前記半導体基板の前記半導体層側とは反対側から入射する光を検出する半導体受光素子であって、前記上部電極の前記接合部は、前記反射膜の前記反射主領域の周縁の一部を囲い、前記反射主領域は、前記反射膜のうち、前記接合部の外方に位置する領域と連なっている。 (もっと読む)


【課題】有機光電変換層を備える光電変換素子の光電変換効率を動作初期から長期間高く維持できるようにする。
【解決手段】第1電極11と第2電極15との間に、有機光電変換色素と、フラーレン又はフラーレン誘導体と、フラーレン重合体とを混合して含む有機光電変換層12を備える。好適には、有機光電変換層12は、有機光電変換色素と、フラーレン又はフラーレン誘導体と、フラーレン重合体とをバルクヘテロ構造で備える。 (もっと読む)


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