【課題】 真空容器の内部に存在する気化した有機物や浮遊した微細な粉塵が部分反射鏡の表面に付着し、それに伴う熱吸収率の上昇によって、レーザ光の特性が変化するのを防ぐ炭酸ガスレーザ発振器を得る。
【解決手段】 レーザ媒質が部分反射鏡の表面に近づいてくる流入経路を完全に覆うように、レーザ光が通るための開口を有した形状の部品を部分反射鏡の電極側の面近傍に配置するとともに、当該開口の内面を多孔質型アルマイトとし、さらに流入するレーザ媒質より温度が低くなるように当該部品を冷却したものである。 （もっと読む）

【課題】広い区域にわたって高繰返し率のレーザ光を用いる表面及び／又は基板の処理を伴う製造工程で使用される高電力及び高安定性ガス放電レーザを提供する。
【解決手段】直列に接続した複数の一次巻線と複数の一次巻線の各々を通る単一の二次巻線とを有する多段分割ステップアップ変圧器と半導体トリガスイッチとを含むＤＣ電源に接続されかつそれぞれの電極に接続した第１及び第２のパルス圧縮及び電圧ステップアップ回路を含む電源モジュールと、単一出力レーザ光パルスビームを生成するためにＰＯＰＡ構成レーザシステム又はＰＯＰＯ構成レーザシステムのいずれかとして第１及び第２のレーザユニットの作動を達成するように、それぞれの第１及び第２のパルス圧縮及び電圧ステップアップ回路の作動パラメータに基づいてそれぞれの半導体スイッチの閉成を計時するように作動するレーザタイミング及び制御モジュールとを含むマルチチャンバレーザシステム。 （もっと読む）

【課題】１パルスあたりの出力エネルギーを従来以上に増加させたとしても、レーザチャンバに設けられた光学素子の劣化を抑制することできるエキシマレーザ装置を提供する。
【解決手段】所望するレーザ出力以上の範囲内で、レーザチャンバに設けられた光学素子に照射するレーザビームのエネルギー密度を低下させるように、レーザビームの幅を広げる。 （もっと読む）

【課題】 共振器を備えた高出力ガスレーザ発振器・増幅器において、共振器を構成するミラーで表面損傷及び歪みが発生しないように照射するピークエネルギ密度を減少させ、レーザの中心波長が変化したとしてもレーザ出力が減少しないようにする。
【解決手段】 リア側ミラー１と出力側ミラー２とからなる共振器と、その共振器中に配置されレーザガスが封入されたレーザチャンバー３と、レーザチャンバー３内のレーザガスを励起する励起手段４、５とを備えたガスレーザ装置において、レーザチャンバー３とリア側ミラー１の間、及び、レーザチャンバー３と出力側ミラー２の間の少なくとも一方に、ミラー側のレーザビームの径あるいは幅を広げるビーム拡大光学系６１、６１’を介在させた高出力ガスレーザ装置。 （もっと読む）

【課題】高出力レーザであっても微小なレーザを安定して出力する。
【解決手段】レーザ装置（１）は、互いに直列に配置された第一および第二のレーザ励起領域（２１、２２）と、第一のレーザ励起領域に第一のエネルギを注入する第一電源ユニット（ＰＳＵ１）と、第二のレーザ励起領域に第二のエネルギを注入する第二電源ユニット（ＰＳＵ２）と、を具備し、第一電源ユニットは、レーザ発振が開始される臨界注入エネルギ以上の所定の励起エネルギを第一のエネルギとして第一のレーザ励起領域に注入し、第二電源ユニットは、放電管が予備放電するのに必要とされる予備励起エネルギと臨界注入エネルギとの間で第二のレーザ励起領域に注入されるエネルギを第二のエネルギとして第二のレーザ励起領域に注入し、それにより、レーザ出力を制御する。 （もっと読む）

【課題】ＤＵＶ光源のための高電力ガス放電レーザシステムを提供する。
【解決手段】方法及び装置は、線狭化パルスエキシマ又は分子フッ素ガス放電レーザシステムを含むことができ、システムは、パルスのレーザ出力光ビームを含む出力を生成し、かつ第１のガス放電エキシマ又は分子フッ素レーザチャンバと第１の発振空洞内の線狭化モジュールとを含むことができるシードレーザ発振器と、シードレーザ発振器の出力を受け取ってシードレーザ発振器の出力を増幅し、パルスのレーザ出力光ビームを含むレーザシステム出力を形成する第２のガス放電エキシマ又は分子フッ素レーザチャンバに増幅利得媒体を収容し、かつリング電力増幅ステージを含むことができて、シードレーザ発振器の出力がこのリング電力増幅ステージの増幅利得媒体をループ毎に少なくとも２回通過するレーザ増幅ステージとを含むことができる。 （もっと読む）

【課題】送風機や熱交換器など光共振器構成部分以外の構成を最小限とし、かつ最適なフレネル数を得て最適なレーザビームを取り出すことができるガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機を提供することを目的とする。
【解決手段】導波路型共振器におけるフレネル数が１以上となる構成を持つスラブレーザ共振器１を複数備え、複数のスラブレーザ共振器１ａ〜１ｄを積層し、これら複数のスラブレーザ共振器１ａ〜１ｄのレーザ射出口を隣り合うように配置したものである。 （もっと読む）

【課題】すなわち送風手段を用いずにレーザガスを冷却する事、および良質なレーザビームを取り出せる安定型共振器を両立させる事が大きな課題となっていた。
【解決手段】レーザガスを循環するレーザガス流路１のチャンバー２に、電極５、６と直流の電源７からなる放電手段を設け、この放電手段による直流電流方向１３と直行方向に磁界を印加するための磁界発生手段１２を設け、チャンバー２内の放電手段によりレーザガスに流れる電流と、この電流に直角方向に磁界を掛けたので、放電によりプラズマ化したレーザガスが電磁力によって移動するので従来のような送風手段を廃止できるものである。 （もっと読む）

【課題】送風機によるガス循環冷却を行わずにガスレーザの大出力化を実現し、且つ高品質なレーザビームを得る。
【解決手段】チャンバー２ａ，２ｂの形状として、放電手段（電極６ａ、７ａ、６ｂ，７ｂ、電源８）により励起したレーザガスのレーザビームの出力方向に対する直角な断面が円となる形状とし、前記レーザガスの流れの方向に沿って複数のチャンバー２ａ，２ｂの間に熱交換器３，４をそれぞれ配置し、レーザガスの流れの方向に沿って熱交換器３，４からチャンバー２ａ，２ｂへの間にレーザガス流路を開閉する弁１４ａ、１４ｂをそれぞれ設け、放電手段は交互に放電を行い、放電を行うチャンバーのレーザガス流路の上流側の弁を閉鎖し、且つ放電を行うチャンバーのレーザガス流路の下流側の弁を開放する。 （もっと読む）

【課題】ガスレーザ発振装置における送風手段のレーザガスの循環流量を増すことにより高効率で大出力が出せるだけで無く、長期に渡って省エネルギーで安定した性能を維持する事を目的とする。
【解決手段】そこで本発明の送風手段は、軸駆動手段によって回転を行なう回転部と、回転を行なわない非回転部から成り、前記回軽部は先端に翼車部を設けた回転軸と、前記回転軸に結合された上部軸受および下部軸受とを備え、前記回転部とは分離された駆動部と、前記駆動部から前記回転軸に回転を伝達する駆動伝達部を備える。 （もっと読む）

【課題】ガスレーザ発振器の出力を増加させ、かつ、発振器筐体の気密性を確保する。
【解決手段】ガスレーザ発振器の構成機器を搭載する発振器筐体１０１と、発振器筐体１０１の機密性を保つための部材であって、発振器筐体１０１の内部側または外部側に膨出する曲面部２０１と端辺に形成されて発振器筐体１０１の内部側または外部側に突出した側壁２０３とを有する蓋部材２００と、発振器筐体１０１と蓋部材２００の間に配置され、形成された開口部３０４によってレーザ媒介ガスの流路幅を拡張するガス流路幅拡張部材３００と、ガス流路幅拡張部材３００を挟んで蓋部材２００を発振器筐体１０１に固定する蓋押さえ部材４００を備えている。 （もっと読む）

垂直方向に離間し電気的に絶縁され互いに平行な縦長の通電及び接地平板電極を備えるＣＯ_２ガス放電レーザーに関する。各電極はその両縁に沿って設けられたセラミックスペーサストリップで離間されている。補助電極が通電電極の両端部に長手方向に離間して通電電極と同一面内に設けられる。補助電極は接地電極から垂直方向に離間するが、電気的に接地電極に接続される。補助電極は、セラミックストリップの内縁間の離間距離より小さい距離だけ離間した２つの隆起部を有する。補助電極の隆起部は、レーザーを操作している際に共振器内に発生するレーザー光によるセラミックストリップの侵食を防止する。 （もっと読む）

【課題】従来のガスレーザ発振装置では、送風手段の円周振れが発生しやすいためレーザガス流の流量を増加させることができず、小型で大出力のガスレーザ発振装置を得られない。
【解決手段】本発明のガスレーザ発振装置において、レーザガスを送風する送風手段に、先端に翼車部を設けるとともに前記送風手段を構成する部材のうち最も膨張率の小さい材料で形成される回転軸と、前記回転軸を回転させる駆動部と、前記回転軸に結合された上部軸受および下部軸受と、前記下部軸受の外周部を固定する抑え板とを備えたるようにした。 （もっと読む）

【課題】 共振器内に二対の電極を配置して交互発振するレーザー装置において、予備電離源の電極間の絶縁構造を上記電極間の絶縁部の空間内に収められるようにすること。
【解決手段】 主放電電極である電極３０ａ〜３０ｄに隣接して配置される予備電離電極は、片端封止のアルミナセラミックのパイプ４０ａ、４０ｂと、予備電離内電極４１ａ、４１ｂとプレート形状の予備電離外電極４２ａ、４２ｂで構成され、パイプ４０ａ、４０ｂは分割され片端封止されている。予備電離外電極４２ａ、４２ｂはグランド電位であり、予備電離内電極４１ａ、４１ｂと予備電離外電極４２ａ、４２ｂ間に高電圧パルスを印加してコロナ放電を発生させる。パイプ４０ａ、４０ｂを分割し、片端を封止しているので、予備電離内電極４１ａ、４１ｂ間の絶縁を確保することができる。分割し片端封止する代わりに、パイプを連結し例えば中央部分を封止するようにしてもよい。 （もっと読む）

【課題】同一共振器内に複数組の電極対を配置して交互発振するパルスガスレーザ装置において、フロントミラー側の放電によるレーザ光とリアミラー側の放電によるレーザ光の放電方向のビームダイバージェンスを同等にすること。
【解決手段】レーザガスが封入されたチャンバ３０内に複数組の一対の電極３０ａ〜３０ｄを設け、電極３０ａ〜３０ｄへパルス状の電圧を順次印加して放電を発生させ、リアミラー３６とフロントミラー３７で構成される共振器で共振させて、発振段レーザ１００から注入されるレーザ光を増幅して出力する。レーザ光の出射側であるフロントミラー３７側に、スリット５０を設け、その放電方向のサイズを、電極３０ａ，３０ｂ間での放電により出力されるレーザ光の放電方向のビームサイズと同じか、それより小さくする。 （もっと読む）

【課題】短パルスで高出力なレーザ光を発生するレーザシステムを高能率化し、消費電力を低減する。
【解決手段】このレーザシステムは、レーザ発振によりパルスレーザ光を生成するレーザ発振器と、レーザ発振器によって生成されるパルスレーザ光を順次入力して増幅する複数の増幅器と、バースト発振を行うようにレーザ発振器を制御すると共に、バースト発振期間の間のバースト休止期間において複数の増幅器の内の少なくとも１つの増幅器の増幅動作を休止させる制御手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】ピーキングコンデンサおよび高電圧印加部分を効率的に冷却することができ、高繰り返し化が可能な放電励起ガスレーザ装置の冷却機構を提供すること。
【解決手段】レーザチャンバ１の中には、アノードとカソード電極２ａ，２ｂが設けられ、高電圧供給部材３はカソード電極２ｂとピーキングコンデンサ４の一方の端子と電気的に接続され、ピーキングコンデンサ４の他方の端子は水冷ジャケット６が取り付けられた通電部材８を介して接地電位のレーザチャンバ１に接続されている。電圧供給部材３にはセラミックス製の冷却パイプ１１が取り付けられ、このセラミックス製冷却パイプ１１に冷媒流して、高電圧側を冷却する。上記冷却パイプ１１として、窒化アルミなどの高絶縁、高熱伝導率のセラミックス製部材を用いることができる。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の低空間コヒーレンス化をはかり、スペックルノイズの発生によるレジストパターン形成への悪影響を低減化すること。
【解決手段】発振段レーザ（ＭＯ）１０からのビームは、ＭＯビームステアリングユニット３０を介して増幅段レーザ（ＰＯ）２０の共振器内に注入され増幅発振される。増幅段レーザ（ＰＯ）２０からのビームは、ＰＯビームステアリングユニット４０を介してＯＰＳ５０に入射し、ＯＰＳ５０からの光はコヒーレンスモニタ６０を介して出力される。レーザコヒーレンスコントローラ６６は、コヒーレンスモニタ６０の検出値に基づいて、ＯＰＳ５０のミラー、ＭＯビームステアリングユニット３０のミラー、ＰＯビームステアリングユニット４０のミラー等のアクチュエータに駆動信号を送り、これらのミラーの角度などを制御し、出力レーザ光のコヒーレンスが所望の値になるように制御する。 （もっと読む）

ガス放電レーザシステム、特に、横放電ガスレーザのための伸張可能電極システムを提供する。一方又は両方の放電電極が侵蝕による寸法変化に受ける横放電ガスレーザチャンバにおける放電電極の一方又は両方を伸張させるためのシステム及び方法を本明細書で開示する。電極伸張を行って、チャンバ耐用期間を延長させ、チャンバ耐用期間にわたってレーザ性能を増大させ、又はその両方が可能である。運用上は、電極間間隔は、電極間の特定のターゲット間隙距離を維持するか、又は帯域幅、パルス間エネルギ安定性、ビームサイズなどのようなレーザ出力ビームの特定のパラメータを最適化するように調節することができる。 （もっと読む）

【課題】１パルスあたりの出力エネルギーを従来以上に増加させたとしても、レーザチャンバに設けられた光学素子の劣化を抑制することできるエキシマレーザ装置を提供する。
【解決手段】所望するレーザ出力以上の範囲内で、レーザチャンバに設けられた光学素子に照射するレーザビームのエネルギー密度を低下させるように、レーザビームの幅を広げる。 （もっと読む）