【課題】レーザチャンバ内の全ガス交換の回数を抑制する。
【解決手段】このエキシマレーザ装置は、ハロゲンガスを含む第１レーザガスを収容した第１容器と、第１レーザガスよりもハロゲンガス濃度の低い第２レーザガスを収容した第２容器と、に接続され、第１レーザガス及び第２レーザガスのレーザチャンバの内部への供給を行うガス供給部を含んでもよい。そして、ガス供給部による第２レーザガスのレーザチャンバの内部への供給、及び、ガス排気部によるレーザチャンバの内部のガスの部分的な排気のいずれかを行うガス圧制御と、ガス供給部による第１レーザガス及び第２レーザガスのレーザチャンバの内部への供給、及び、ガス排気部によるレーザチャンバの内部のガスの部分的な排気の両者を行う部分ガス交換制御と、を選択的に行ってもよい。 （もっと読む）

【課題】稼動時の消費電力を正確かつ容易に測定できるガスレーザ装置を実現する。
【解決手段】入力された交流を直流に変換するＤＣ電源部２１およびＤＣ電源部２１から出力された直流を放電管２４内のレーザガスを放電励起する高周波電圧に変換するＲＦ電源部２２を有するレーザ電源装置２０と、入力された交流を放電管２４にレーザガスを送るブロワ２５を駆動する交流に変換する駆動装置２５とを備えるガスレーザ装置１は、ＤＣ電源部２１の出力電流値および出力電圧値とＤＣ電源部２１による入力電力から出力電力への変換効率とを用いてレーザ電源装置２０への入力電力の推定値を算出する第１の推計手段１１と、駆動装置２３の出力電流値を用いて駆動装置２３への入力電力の推定値を算出する第２の推計手段１２と、レーザ電源装置２０および駆動装置２３への各入力電力の推定値に基づいてガスレーザ装置１の消費電力値を算出する電力計算手段１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】ガスレーザ発振装置において、長期使用時における発振装置の部品劣化による出力低下抑制が大きな課題となっていた。
【解決手段】ガスレーザ発振器のレーザガス供給排出量を検出するレーザガス供給排出量検出器と、放電入力を検出する放電入力検出器と、レーザ出力を検出するレーザ出力検出器と、検出された放電入力とレーザ出力を入力してガスレーザ発振器の入出力特性を演算し、あらかじめ設定した基準特性と比較する比較装置と、比較装置の出力に応じてレーザガス供給装置および排気装置を制御して最適なレーザガス供給排出量を得ることができる制御装置を設けた。 （もっと読む）

【課題】回転軸に結合された軸受が劣化などにより破壊した場合、回転軸の有する回転エネルギーにより送風手段が過大な損傷を受けるが、このような損傷を最小限度に抑制することのできる送風手段を搭載したレーザ発振装置を提供する。
【解決手段】レーザガスを送風する送風手段において、回転部は先端に翼車を設けた回転軸とそれに結合された１つ以上の軸受を備え、非回転部は翼車に近接されて設けられているスクロール部と駆動手段および回転軸、軸受を保持するハウジング部により構成され、前記回転軸と前記ハウジング部の空間距離を前記翼車と前記スクロール部の間隙以下とした。 （もっと読む）

【課題】ガスレーザ発振装置の送風手段のグリス不足による軸受消耗を防止して、送風手段のメンテナンスフリー化を図る
【解決手段】送風手段の軸受近傍にグリス補給手段を設け、軸受に封入されたグリス量を直接もしくは間接的に検出するグリス量検出手段を備え、グリス量検出手段により検出した信号に応じて、あるいは予め運転時間に応じて決めた量に応じて、送風手段外部と内部の圧力差による真空力等を利用して適宜グリスの自動補給を行う事が可能とする （もっと読む）

【課題】レーザ加工装置における待機時間中での無駄なエネルギ消費を抑える。
【解決手段】ＮＣ装置１１は、レーザ発振器７におけるベース放電が行われている待機状態であらかじめ設定した時間が経過したら、省エネモードＢに移行する制御を行う。省エネモードＢでは、ベース放電を停止させる。その後、さらにあらかじめ設定した時間が経過したら、省エネモードＡに移行する制御を行う。省エネモードＡでは、ベース放電を停止させることに加え、レーザガス圧を低下させるとともに、温調器９における冷却水の設定温度領域を広くする。 （もっと読む）

【課題】レーザガスの消費量を低減できるレーザ装置を得ること。
【解決手段】レーザ装置は、レーザガスが封入された筐体と前記筐体内の圧力を検知する圧力検知部とを有し、封じ切り運転を行い、前記レーザガスの交換周期が経過するまで前記筐体内に前記レーザガスが封入された状態が維持され、前記レーザガスの交換周期が経過した後における運転停止中に前記筐体内の前記レーザガスが交換されるレーザ発振器と、前記圧力検知部により異なる複数のタイミングで検知された複数の圧力と前記異なる複数のタイミングの時間間隔とから前記レーザガスの単位時間当たりの漏れ量を演算する演算部と、前記演算部により演算された前記単位時間当たりの漏れ量に応じて、前記筐体に封入された前記レーザガスの交換周期を決定する決定部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で小型・安価に構成することができ、安定して長寿命に動作するＨｅ−Ｎｅガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】ガラスで構成されたレーザ管にＨｅ−Ｎｅガスが封入されてなる発振器と、その発振器に具備され、内部にＨｅガスを収蔵し、そのＨｅガスをレーザ管に補給することができる補給タンクとを有するＨｅ−Ｎｅガスレーザ装置において、レーザ管（管孔１２）の内部空間と補給タンク６１の内部空間とをガラスの隔壁６４を隔てて隣接させ、レーザ管の内部のＨｅガスの分圧と補給タンク６１の内部のＨｅガスの分圧との差により、隔壁６４を透過して補給タンク６１からレーザ管へ供給される単位時間当たりのＨｅガスの量を発振器から外部へ漏出する単位時間当たりのＨｅガスの量と等しくする。 （もっと読む）

【課題】一時停止解除指令後に、レーザ発振可能な状態に短時間で復帰させる。
【解決手段】ガス流路１０１に沿ってレーザガスを循環させる送風機３０と、レーザガスのガス圧Ｐを検出する圧力検出手段３３と、ガス流路１０１にレーザガスを供排するガス給排手段５１，６１，６２と、レーザ発振の一時停止を指令する指令手段７５と、指令手段７５からの指令に応じて送風機３０およびガス給排手段５１，６１，６２を制御する制御手段７０とを備える。制御手段７０は、一時停止指令前は、送風機３０を所定回転数Ｎ１で回転させるとともに、検出ガス圧Ｐが第１の目標ガス圧Ｐ１となるようにガス給排手段５１，６１，６２を制御し、一時停止指令後は、送風機３０の回転数を低減または回転を停止させるとともに、検出ガス圧Ｐが第１の目標ガス圧Ｐ１に対応した第２の目標ガス圧Ｐ２となるようにガス給排手段５１，６１，６２を制御する。 （もっと読む）

【課題】低ガス圧使用時における出力特性が改善される放電励起エキシマレーザ装置を提供する。
【解決手段】一対の主放電電極１０２、１０２と、回転軸１０４を有し前記一対の主放電電極間１０２、１０２にレーザガス流を作り出す貫流ファン１０３と、該貫流ファン１０３の該回転軸１０４に対して回転駆動力を付与するモータ１１２と、該モータ１１２に駆動用交流電圧を供給するインバータ１３１と、該レーザチャンバ１０１内のレーザガス圧を検出するガス圧力センサ１２１と、少なくとも該ガス圧力センサ１２１からのレーザガス圧力検出信号を受信し、かつ、該モータ１１２を所定の回転数で回転させるための駆動用交流電圧をインバータ１３１に発生させる速度指令信号を発信するコントローラー１３０と、からなる放電励起エキシマレーザ装置１００であって、該コントローラー１３０は、該レーザガス圧力検出信号に応じた速度指令信号を発信する。 （もっと読む）

本発明は、レーザービームを発生するためのレーザー発振器（１）、レーザービームを通すレーザーヘッド（３）、レーザー発振器（１）とレーザーヘッド（３）との間でレーザービームを伝えるための光学路（２）、およびメインガスパイプ（８）を介して流体を流通可能にレーザーヘッド（３）へ接続されたガス供給源（９）を有するレーザー機械設備に関する。さらに、第２パイプ（１８）が上記ガス供給源（９）をレーザー発振器（１）へ流体を流通可能に接続する。それゆえに、上記設備は、レーザー発振器（１）およびヘッド（３）に共通のガス供給源を有する。ガスは、好ましくは、窒素である。
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【課題】送風機によるガス循環冷却を行わないガスレーザ発振装置において、スラブ方式でなく、安定型共振器によるレーザビーム生成実現のためのガス冷却手段の開発が大きな課題となっていた。
【解決手段】レーザガスを励起する放電手段と、レーザガスを内部に配置して放電を行う放電管１と、放電管１を光軸方向に配置し対向する全反射鏡６、部分反射鏡７によって挟むことで形成された光共振器と、放電管１の円周上に複数個の電磁石１２を備え、放電管１に接する冷媒手段をもち、光軸と一致した回転軸を中心として回転可能な構造とし、電磁石１２と、冷媒を回転させる駆動手段を設け、この複数個の電磁石１２を順番にＯＮ・ＯＦＦすることにより放電管１内部のガス分子が移動し、冷媒により冷却される。 （もっと読む）

【課題】本発明はレーザガスの消費量を低減できるガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機を提供するものである。
【解決手段】レーザガス２に放電を発生させる電極３、４、電源５からなる放電手段と、レーザガス２を放電手段による放電部分に送風する送風手段１０を備え、送風手段１０は、翼車２４、回転軸２５、モータロータ２６から構成された回転部と、モータステータ２７、ケーシング２８から構成された回転を行わない非回転部を有し、非回転部に送風手段１０の内部へ冷却ガスとして空気を導入する冷却ガス供給口１７を設け、冷却ガス供給口１７に流量調整弁１８、電磁弁１９、フィルタ２０、空気取入口２１からなる冷却ガス供給手段を接続し、非回転部にガス排出口２２を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】 小型軽量かつ安価で気密構造を必要とせず、また放電電極容器が破損しにくく取り扱いが容易であり、放電電極容器内部での水漏れや結露を防止した放電電極を備えたレーザ発振器を得る。
【解決手段】 放電箱１２は、放電電極２が設けられた面だけに破損しやすい無機絶縁物を配置し、その他の面は破損しにくい無機金属で構成されているため、組立の際には放電電極２の面だけを注意すればよく、取り扱いが容易となる。また、絶縁物１６を放電箱１２の内部に充填することで、放電箱１２の内部と外部に大きな圧力差が生じないため、容器１１には厚みの薄い無期金属の板材を用いても強度を確保できる。 （もっと読む）

【課題】 レーザガスの圧力を高くすることにより、レーザ出力を高めることができるが、レーザガスの圧力を高くすると、放電開始電圧が上昇するため、出力電圧の高い電源を用いなければならない。
【解決手段】 誘電体からなるレーザ容器が、レーザガスを収容する放電空間を画定する。レーザ容器の放電空間に面する表面に沿って沿面放電を生じさせる電極が配置されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、装置のコストダウンを図れ、長期に渡って安定した性能を維持することができるレーザ発振装置を提供することを目的とする。
【解決手段】レーザガスの流路を構成するひとつ以上の放電管４と、放電管４に接続されたガス循環経路１２と、ガス循環経路１２中に設けた複数の送風手段１０ａ、１０ｂ、１０ｃを備え、送風手段１０ａ、１０ｂ、１０ｃを設けたガス循環経路１２の部分を複数の並列経路にて構成し、ひとつの放電管４に対して複数の送風手段１０ａ、１０ｂ、１０ｃからのレーザガスを供給するものである。この構成により、放電管４ひとつ当りの送風手段１０ａ、１０ｂ、１０ｃの数を増やすことでレーザガスの流量を増やすことが出来、安価にレーザ発振装置の高出力化を図る事ができる。 （もっと読む）

【課題】効率的にガスレーザ発振装置を構成する部品の共用化と最適化を実現することにより、無駄な過剰設計の省略、個別最適によるマスメリット減少の防止の両立を実現し、安価なガスレーザ発振装置を提供することを目的とする。
【解決手段】内部でレーザガス４を放電する放電管５と、放電管５へレーザガス４を送風する送風手段となる送風機１と、レーザガス４を冷却するための熱交換器２ａ，２ｂと、放電管５と送風手段となる送風機１と熱交換器２ａ，２ｂを接続する配管３を備え、熱交換器２ａ，２ｂを迂回するバイパス１５ａ，１５ｂを設けたものである。 （もっと読む）

【課題】長期停止時のガス循環部分への大気及び水分の侵入、大気中へのレーザガスの侵出などによるレーザガス組成変化による放電乱れを抑制する大出力に適したガスレーザ発振装置を提供することを目的とする。
【解決手段】レーザガスを用い、起動中にレーザガスを給気するボンベ１４と、レーザガスを排気する真空ポンプ１５と、ボンベ１４から給気するレーザガス量および真空ポンプ１５で排気するレーザガス量を制御する制御部１６を備え、制御部１６は、起動時にレーザガスを真空ポンプ１５で排出後、ボンベ１４から大気圧近傍まで給気した後、再度レーザガスを真空ポンプ１５で排出後、動作ガス圧までボンベ１４から給気するシーケンスとして、起動時の真空ポンプ１５で排出するガス圧を、起動時のガス圧より低く、かつ、再度真空ポンプ１５で排出するガス圧よりも高くするものである。 （もっと読む）

【課題】従来のガスレーザ発振装置は、レーザガス消費量が多く、ランニングコストが増大するという問題が発生していた。
【解決手段】レーザガス４を移動させる回転体２１ａ，２１ｂと、回転体２１ａ，２１ｂを駆動する駆動部２２と、回転体２１ａ，２１ｂと駆動部２２を連結する駆動軸２３と、駆動軸２３を貫通させるとともに回転体２１ａ，２１ｂと駆動部２２を隔離する隔壁２５と、隔壁２５と駆動軸２３の間に配置した軸受け２６と、軸受け２６よりも回転体２１ａ，２１ｂ側に配置し、かつ軸受け２６の外形寸法よりも大きな空間部２８と、軸受け２６と空間部２８の間にシール材２７を配置したものである。 （もっと読む）

【課題】長期間に渡って安定したレーザ出力およびレーザ加工性能を維持できるレーザ発振装置およびレーザ加工機を提供することを目的とする。
【解決手段】電極６と、前記電極６へ接続した電源７と、前記電源７と前記電極６により形成される放電空間にレーザガス４を循環供給させる送風機１を備え、前記送風機１には、レーザガス４を移動させる回転体２１と、前記回転体２１を駆動する駆動部２２と、前記回転体２１と前記駆動部２２を連結する駆動軸２３と、前記駆動軸２３を貫通させるとともに前記回転体２１と前記駆動部２２を隔離する隔壁２５と、前記隔壁２５と前記駆動軸２３の間に配置した軸受け２６と、前記軸受け２６と前記回転体２１の間にシール材２７とを配置し、前記駆動軸２３と隔壁２５間の空間に圧力変動低減部２８を設けた。 （もっと読む）