【課題】本発明は、スーパージャンクション構造を有し双方向スイッチングが可能な半導体双方向スイッチング装置を提供する。
【解決手段】二つの主電極の両方に電子とホールの制御部を設け、スーパージャンクションを構成するｎ形半導体層とｐ形半導体層における電流を制御する。 （もっと読む）

【課題】同一基板上に形成された縦型ＰＮＰトランジスタとＮＰＮトランジスタの両方の特性向上が図られた半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置はＰＮＰトランジスタ５０を備えている。ＰＮＰトランジスタ５０は、第１のＰ型コレクタ領域３ｂと、第１のＰ型コレクタ領域３ｂの底面を覆い、第１のＰ型コレクタ領域３ｂの不純物濃度のピークよりも深い位置に不純物濃度のピークを有する第１のＮ型埋め込み領域２と、第１のＰ型コレクタ領域３ｂ上に形成された第２のＰ型コレクタ領域５ｂとを備えている。第１のＰ型コレクタ領域３ｂの側面もＮ型領域に囲まれている。このため、ＰＮＰトランジスタ５０におけるパンチスルーの発生が抑えられるとともに、コレクタ領域内のキャリア通過経路を短くしてコレクタ抵抗の低減を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】 基板が低濃度の半導体基板のみからなるＪ−ＦＥＴは、静電破壊耐量は高いが、ノイズ電圧が大きく、ノイズ特性のばらつきも大きい問題があった。一方、ノイズ対策として、高濃度の半導体基板に低濃度の半導体層を積層した基板構造のＪ−ＦＥＴでは、ゲート抵抗の低減によりノイズ電圧を小さくできノイズ特性も安定する反面、静電破壊耐量が劣化する問題があった。
【解決手段】 高濃度半導体基板の条件を、所望の静電破壊耐量が得られる比抵抗及び厚みとし、これに低濃度の半導体層を積層した基板構造とする。これにより静電破壊耐量を劣化させない範囲でノイズ特性のばらつきを抑え、ノイズ電圧を小さくすることができる。また同時にノイズ特性に影響を与えない範囲で静電破壊耐量を向上させることができる。従って、従来構造と比較して市場要求に比較的柔軟に対応できるＪ−ＦＥＴを提供できる。 （もっと読む）

【課題】 基板が低濃度の半導体基板のみからなるＪ−ＦＥＴは、静電破壊耐量は高いが、ノイズ電圧が大きく、ノイズ特性のばらつきも大きい問題があった。一方、ノイズ対策として、高濃度の半導体基板に低濃度の半導体層を積層した基板構造のＪ−ＦＥＴでは、ゲート抵抗の低減によりノイズ電圧を小さくできノイズ特性も安定する反面、静電破壊耐量が劣化する問題があった。
【解決手段】 高濃度半導体基板に低濃度の第１半導体層と、第１半導体層より高濃度の第２半導体層を積層する基板構造とする。これにより静電破壊耐量を劣化させない範囲でノイズ特性のばらつきを抑え、ノイズ電圧を小さくすることができる。また同時にノイズ特性に影響を与えない範囲で静電破壊耐量を向上させることができる。従って、従来構造と比較して市場要求に比較的柔軟に対応できるＪ−ＦＥＴを提供できる。 （もっと読む）

【課題】バイポーラトランジスタの耐圧の確保と電流増幅率ｈＦＥの向上とが容易な半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板のＳＯＩ層ＳＬにバイポーラトランジスタＢＴと、ｎＭＯＳトランジスタＮＴと、ｐＭＯＳトランジスタＰＴとが形成されている。バイポーラトランジスタＢＴのコレクタ領域ＣＬのｎ^-領域ＣＬＬは、ＳＯＩ層ＳＬの厚み方向に対してｐＭＯＳトランジスタＰＴのｎ^-チャネル形成領域ＮＣと同じ不純物濃度分布を有している。バイポーラトランジスタＢＴのベース領域ＢＡは、ｐＭＯＳトランジスタＰＴのｎ^-チャネル形成領域ＮＣのｎ型の不純物濃度よりも高いｐ型の不純物濃度を有している。 （もっと読む）

【課題】製造工程数が増加するのを抑制しながら、電極の側方に形成された異種の材料からなる複合膜の残渣の除去を容易に行うことが可能な半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】この半導体装置の製造方法は、シリコン基板１１の電界効果型トランジスタが形成される領域Ｂ上にゲート電極を形成する工程と、シリコン基板１１のバイポーラトランジスタが形成される領域Ａ上にバイポーラトランジスタを構成するＳｉＧｅからなるエピタキシャル層１９ａを形成する工程と、エピタキシャル層１９ａの形成時にゲート電極の側方に形成されるＳｉＧｅおよび多結晶シリコンからなるエッチング残渣１９ｃ、２５ｂおよび４３ａを除去する工程と、その後、ゲート電極の側方を覆うサイドウォール絶縁膜と、エミッタ電極２５の側方を覆うサイドウォール絶縁膜とを形成する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】パワー半導体素子として、動作時の熱暴走および熱破壊が防止でき、且つ、安全動作領域ＳＯＡが拡大されるトランジスタを提供する。
【解決手段】第１導電型のコレクタ層２と、前記コレクタ層上に島状に形成され且つ前記第１導電型と異なる第２導電型のベース層３と、前記ベース層上に少なくとも１つの島状に形成され且つ前記第１導電型のエミッタ層４ａ，４ｂと、前記ベース層と電気的に接続されベースコンタクト９を形成するベース電極と、前記エミッタ層と電気的に接続されエミッタコンタクト１０を形成するエミッタ電極と、前記コレクタ層と電気的に接続されたコレクタ電極と、を有し、前記エミッタ層上に形成され且つ前記第１導電型の第１抵抗層１１が、平面的に見て、前記ベースコンタクトを包囲するように形成されることを特徴とするトランジスタ構造。 （もっと読む）

【課題】安価な、また、放熱特性に優れたＳｉ基板を用いて、良質なＧａＡｓ系の結晶薄膜を得る。
【解決手段】Ｓｉの基板と、基板上に結晶成長され、孤立した島状に形成されたＧｅ層と、Ｇｅ層の上に結晶成長され、Ｐを含む３−５族化合物半導体層からなるバッファ層と、バッファ層の上に結晶成長された機能層と、を備える半導体基板を提供する。Ｇｅ層は、アニールした場合に、アニールの温度および時間において結晶欠陥が移動する距離の２倍を越えない大きさの島状に形成する。あるいはＧｅ層は、アニールした場合に、アニールの温度において基板であるＳｉとの熱膨張係数の相違によるストレスが剥離を発生させない大きさの島状に形成する。 （もっと読む）

【課題】安価な、また、放熱特性に優れたＳｉ基板を用いて、良質なＧａＡｓ系の結晶薄膜を得る。
【解決手段】Ｓｉの基板と、基板の上に形成され、結晶成長を阻害する阻害層とを備え、阻害層は、基板の一部を覆う被覆領域と、被覆領域の内部に基板を覆わない開口領域とを有し、さらに開口領域に結晶成長されたＧｅ層と、Ｇｅ層上に結晶成長された機能層と、を備える半導体基板を提供する。当該半導体基板において、Ｇｅ層は、結晶欠陥が移動できる温度および時間でアニールされることにより形成されてよい。 （もっと読む）

【課題】安価な、また、放熱特性に優れたＳｉ基板を用いて、良質なＧａＡｓ系の結晶薄膜を得る。
【解決手段】単結晶Ｓｉの基板と、基板の上に形成され、開口領域を有する絶縁層と、開口領域の基板上にエピタキシャル成長されたＧｅ層と、Ｇｅ層の上にエピタキシャル成長されたＧａＡｓ層と、を備え、Ｇｅ層は、超高真空の減圧状態にできるＣＶＤ反応室に基板を導入し、原料ガスを熱分解できる第１温度で第１のエピタキシャル成長を実施し、第１温度より高い第２温度で第２のエピタキシャル成長を実施し、第１および第２のエピタキシャル成長を実施したエピタキシャル層をＧｅの融点に達しない第３温度で第１のアニールを実施し、第３温度より低い第４温度で第２のアニールを実施して形成された半導体基板を提供する。 （もっと読む）

【課題】高い信頼性を持つ車載用高耐圧のバイポ−ラ型半導体装置を提供する。
【解決手段】面方位（１１１）オフアングル ３〜４°の支持基板上に活性領域をエピタキシャル成長させたエピ基板を用いて形成した高耐圧バイポ−ラ型半導体装置（以下、高耐圧ＢＩＰ−ＩＣ）において、コンタクト孔底部および、接合分離層上面を除き、高耐圧ＢＩＰ−ＩＣ表面を減圧熱分解ＣＶＤ法により形成した薄い窒化シリコン膜（下層）と薄い酸化膜シリコン（上層）の積層膜で被覆することにより、保護膜として用いるプラズマＣＶＤによる窒化シリコン膜（以下、プラズマ窒化シリコン膜）中の水素に起因したフィ−ルド部の寄生ＭＯＳのしきい値：フィ−ルドＶｔの低下を抑止し回路誤動作の防止するとともに、前記薄い窒化シリコン膜と薄い酸化膜シリコンの積層膜をコンデンサ膜の一部として用いることによりコンデンサの信頼性を向上せしめる。 （もっと読む）

【課題】バイポーラおよびＭＯＳ、受動素子を含む集積回路の製造方法において、ＭＯＳ、受動素子を絶縁膜で覆った後に、バイポーラのベース以降の工程を行うことを特徴とする半導体装置を提供する。
【解決手段】基板にバイポーラ・トランジスタの能動領域及びＭＯＳ素子の能動領域４１を形成し、能動領域の周りに水平面において絶縁領域８１を形成し、ＭＯＳ素子の能動領域上にＭＯＳゲート領域１１１、１１２を形成し、ＭＯＳゲート領域及びトランジスタの能動領域４１上に絶縁材料層１４１を形成し、絶縁層１４１の残りの部分がバイポーラ・トランジスタの能動領域を部分的に覆うように、絶縁層１４１に開口１４３を形成することにより、トランジスタの能動領域内にベース領域を画定する。絶縁層１４１は、ＭＯＳゲート領域上に残り、後続の製造工程の間ＭＯＳゲート領域を密閉及び保護する。 （もっと読む）

【課題】応答性に優れ、瞬間的な動作や過大入力がある場合においてもダイオード素子の順方向動作時の損失増加や過剰電流による絶縁ゲートトランジスタ素子の破壊を防止できる小型の半導体装置を提供する。
【解決手段】絶縁ゲートトランジスタ素子２１とダイオード素子２２とが同じ半導体基板に形成され、絶縁ゲートトランジスタ素子２１とダイオード素子２２が逆並列に接続されてなる半導体装置６０であって、ダイオード素子２２に電流が流れた場合に、絶縁ゲートトランジスタ素子２１のゲート（Ｇ）端子の電位を下げて、該絶縁ゲートトランジスタ素子２１のゲートをオフする第１制御トランジスタ素子ＳＴ１が、前記半導体基板に形成されてなる半導体装置６０とする。 （もっと読む）

【課題】半導体集積回路装置の高集積化及び低コスト化を可能にする複数のトランジスタセルを含む半導体装置を提供することを第１の目的とし、高密度に集積化された小型の半導体集積回路装置を安価に提供する。
【解決手段】基板上に、それぞれ第１層、ベース層、及び、第２層を順に有し、前記第１層、及び、前記第２層の一方がコレクタ層であり、他方がエミッタ層であるトランジスタセルを複数含み、前記各トランジスタセルの前記第１層に接続される第１電極が、前記第１層に形成されたエッチング溝に形成された半導体装置において、前記エッチング溝は、その長手方向に沿った側面が順メサ面となっており、複数のトランジスタセル間の前記第１電極が、前記各順メサ面に交差するように設けられた、まとめ配線によって接続される半導体装置である。 （もっと読む）

【課題】高特性の合併したバイポーラ回路とＣＭＯＳ回路とをＣＭＯＳ処理工程だけのコストで製造する方法および回路を提供する。
【解決手段】ＢｉＣＭＯＳ集積回路を製造する方法は、バイポーラ・トランジスタのベース領域２１１とＮチヤンネルＭＯＳトランジスタのＰ形ウエル２１２とを１つの注入段階で作成する段階と、バイポーラ・トランジスタのコレクタ接触体ウエル２１３とＰチヤンネルＭＯＳトランジスタのＮ形ウエル２０８とを１つの注入段階で作成する段階とを有する。 （もっと読む）

【課題】同一半導体基板上にフォトダイオードとトランジスタとを混載した半導体装置の動作速度の更なる高速化と、フォトダイオードにおけるパルスの応答遅延の改善を図る。
【解決手段】第一導電型の半導体基板と、この半導体基板上に形成された第一導電型のエピタキシャル層と、第一導電型のエピタキシャル層上に形成された第二導電型のエピタキシャル層と、第一導電型のエピタキシャル層内に形成された第二導電型のコレクタ領域を有するトランジスタと、第一導電型のエピタキシャル層上に第二導電型の半導体領域を形成してなるフォトダイオードとを有する半導体装置において、コレクタ領域の下方における半導体基板表面の不純物濃度を、コレクタ領域と第一導電型のエピタキシャル層との接合により生じる空乏層の下端が半導体基板に達する不純物濃度とし、フォトダイオードの下方における半導体基板に、トラップ準位を形成した。 （もっと読む）

【課題】第１素子の第１電極の表面上に形成される第１絶縁膜を除去する際に、素子分離絶縁膜の端部が除去されることに起因する不都合が発生するのを抑制することが可能な半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】この半導体装置１００の製造方法は、バイポーラトランジスタ１が形成される領域Ａに隣接するように素子分離絶縁膜１６ｂを形成する工程と、エミッタ電極２５の表面上にシリコン窒化膜４７ａを形成する工程と、領域Ａに不純物を注入する工程と、少なくとも素子分離絶縁膜１６ｂがスペーサ絶縁膜４２により覆われた状態でシリコン窒化膜４７ａを除去する工程と、シリコン窒化膜４７ａが除去された後に領域Ａおよび素子分離絶縁膜１６ｂを覆うようにシリコン窒化膜を形成する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】従来の半導体装置では、ＩＳＯを構成するＰ型の埋込層の横方向拡散幅が広がる等により、ＩＳＯの形成領域が狭め難いという問題があった。
【解決手段】本発明の半導体装置では、Ｐ型の基板６上に２層のＥＰＩ７、８が形成される。基板６及びＥＰＩ７、８には、ＩＳＯ１、２、３が形成され、複数のアイランドに区分される。ＩＳＯ１は、Ｌ−ＩＳＯ９、Ｍ−ＩＳＯ１０及びＵ−ＩＳＯ１１が連結し、形成される。そして、Ｌ−ＩＳＯ９とＵ−ＩＳＯ１１との間にＭ−ＩＳＯ１０が配置され、Ｌ−ＩＳＯ９の横方向拡散幅Ｗ１が狭められる。この構造により、ＩＳＯ１の形成領域が狭められる。 （もっと読む）

【課題】従来の半導体装置では、分離領域を構成するＰ型の埋込拡散層の横方向拡散幅が広がる等により、分離領域の形成領域が狭め難いという問題があった。
【解決手段】本発明の半導体装置では、Ｐ型の単結晶シリコン基板６上にエピタキシャル層７が形成されている。基板６及びエピタキシャル層７には、分離領域１、２、３が形成され、複数の素子形成領域に区分されている。分離領域１は、Ｐ型の埋込拡散層８、９及びＰ型の拡散層１０が連結し、形成されている。そして、Ｐ型の埋込拡散層８とＰ型の拡散層１０との間にＰ型の埋込拡散層９が配置されることで、Ｐ型の埋込拡散層８の横方向拡散幅Ｗ１が狭められる。この構造により、分離領域１の形成領域が狭められる。 （もっと読む）

【課題】能動素子または受動素子が一つの半導体基板に複数個形成されてなる半導体装置およびその製造方法であって、両面電極素子についても絶縁分離と集積化が可能であり、安価に製造することのできる半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板２０が、当該半導体基板２０を貫通する絶縁分離トレンチＴに取り囲まれて、複数のフィールド領域Ｆ１〜Ｆ８に分割されてなり、複数個の能動素子３１〜３３，４１〜４３または受動素子５１，５２が、それぞれ異なるフィールド領域Ｆ１〜Ｆ８に分散して配置されてなり、二個以上の素子が、当該素子に通電するための一組の電極ｄｒ１，ｄｒ２が半導体基板２０の両側の表面Ｓ１，Ｓ２に分散して配置されてなる、両面電極素子４１〜４３，５１，５２である半導体装置１００とする。 （もっと読む）