基板面から離れて延在する突起部を有するフローティングゲート構造を開示する。この突起部によって、フローティングゲートとコントロールゲートとを結合するための増加した表面積をフローティングゲートに提供することが可能となる。１つの実施形態では、フローティングゲートの個々の側面でワードラインが下方へ延在して、同じ列の隣接するフローティングゲートを遮蔽する。別の実施形態では、突起部を有するフローティングゲートの組立て製造処理工程を開示する。残りのフローティングゲートに対して自己位置合せを行うために突起部を形成してもよい。
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