【課題】 極浅接合を形成する方法を提供する。
【解決手段】 ｐ型素子に極浅接合を形成する方法は、アルミニウムイオンをｎ型にドープされたシリコンに打ち込み、続いてアルミニウムを活性化させ、かつ拡散させるために低温アニーリングを行う。アルミニウムを使用することによりホウ素を使用した場合に比べ、より浅い接合を形成することができる、抵抗が低くなる、より低温でのアニーリングが可能となるといった様々な利点が生まれる。 （もっと読む）

【課題】サイドウォールの応力によってキャリア移動度を高めることにより、ＣＭＯＳトランジスタの高速化を図る半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ＮＭＩＳトランジスタのゲート電極１４ａ及びＰＭＩＳトランジスタのゲート電極１４ｂの側面上に、引張応力を有する第１のサイドウォール１６ａ、１６ｂを形成する。その後、基板上の全面に、圧縮応力を有する圧縮応力含有絶縁膜１７を形成する。その後、レジスト１８をマスクにして、圧縮応力含有絶縁膜１７を選択的にエッチングして、ゲート電極１４ｂの側面上に、第２のサイドウォール１７ａを形成する。その後、第２のサイドウォール１７ａを覆うレジスト１９をマスクにして、圧縮応力含有絶縁膜１７を除去する。その後、半導体基板１１上の全面に、実質的に応力が生じない層間絶縁膜２１を形成する。 （もっと読む）

相補型金属−酸化膜−半導体電界効果トランジスタ構造（１００）はイオン注入領域（１２６，１２８）を２つの相補型素子の内の一方のみに含む。トランジスタ構造（１００）は通常、化合物半導体基板（１０２）と、そしてエピタキシャル層構造（１０４）と、を含み、エピタキシャル層構造は、エピタキシャル層構造の導電型を決定する一つ以上のドナー層を含む。イオン注入領域は、これらの相補型素子の内の一方に位置するエピタキシャル層構造（１０４）の導電型を「反転する」または「逆にする」ように作用する。例示として実施形態では、ｐ型アクセプターをドープしたイオン注入領域がｐチャネル素子（１２２）において使用され、ｎチャネル素子（１２０）はイオン注入されない状態のままである。
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【課題】 電気的特性に優れた半導体装置を提供する。また、低温でゲートリーク電流量を小さくすることのできる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 シリコン基板１の上には、第１の絶縁膜５と、窒素を含む第２の絶縁膜６とからなるゲート絶縁膜が形成されている。また、ゲート絶縁膜の上にはゲート電極８が形成されている。そして、ゲート絶縁膜およびゲート電極８の側壁部には、第２の絶縁膜６に含まれる窒素濃度よりも高濃度の窒素を含むシリコン酸窒化膜１１が形成されており、第２の絶縁膜６とシリコン酸窒化膜１１が接触するゲート電極８の下端部付近での窒素濃度は周囲の窒素濃度よりも高くなっている。第２の絶縁膜６は５ａｔｍ％〜２０ａｔｍ％の濃度の窒素を含むことが好ましく、シリコン酸窒化膜１１は、第２の絶縁膜６に含まれる窒素濃度の１．１倍〜２．０倍の窒素を含むことが好ましい。 （もっと読む）