【課題】高精度化と安定度の向上を図りながら、国際度量衡委員会（ＣＩＰＭ）の勧告値に沿った無変調レーザ光の出力が可能となる。
【解決手段】レーザ光の周波数が安定化された無変調安定化レーザ装置１００において、無変調のレーザ光を発生させるレーザ光源１０２と、周波数基準となる原子時計１０６からの出力に同期した周波数間隔ｆｒに従い周波数軸上で櫛状に並んだ複数のモード（光周波数コム）を発生させる光周波数コム発生器１０８と、を備え、光周波数コムのうちの１のスペクトル成分とレーザ光とが混合されることで光ヘテロダインが行われてビート信号が生成され、原子時計１０６からの出力を計数基準としてビート信号が計数され、計数された値が特定の一定値となるようにレーザ光源１０２が制御される。 （もっと読む）

【課題】放電負荷の負荷変動による過電流検出保護回路の誤動作、および、高電圧スイッチング電源の半導体制御素子の過電流による損傷を防止し、高信頼性のレーザ発振装置を提供する。
【解決手段】インバータ部６の出力電流を１次電流検出部で検出し、検出電流値が所定の電流値を超えた場合にインバータ部制御素子のゲートパルス幅を縮小させて、インバータ部６の出力電流値を制限するパルス幅制限手段３７の保護回路によりインバータ部制御素子で発生する電力損失を減少させて熱破壊より防止する。 （もっと読む）

【課題】送風手段より発生するオイルミストの影響を排除し、安定なレーザ出力が可能なレーザ発振装置を提供する。
【解決手段】レーザ媒体を励起する放電手段と、レーザガスを送風する送風手段と、前記放電手段と送風手段との間にレーザガスを冷却する熱交換器と、前記放電手段と前記送風手段と前記熱交換器とを接続してレーザガスの循環経路を形成するレーザガス循環経路と、前記熱交換器の吐出側ガス循環経路より分岐して前記送風手段の駆動部に冷却ガスを供給する冷却ガス経路を備え、駆動部のロータおよびステータ間を流れるガスとの接触によって冷却させる構造とする。 （もっと読む）

【課題】ガスレーザ共振器において、複数の放電管を互いに連結する放電管連結ホルダ自体の熱変形、及びガスレーザ共振器の移動に伴って放電管連結ホルダに加わる加速度を考慮する。
【解決手段】レーザ共振器１０は、軸線方向へ整列する２つの放電管１ａ、２ａ、１ｂ、２ｂ、１ｃ、２ｃをそれぞれに有する３つの放電管列３Ａ、３Ｂ、３Ｃと、各放電管列の放電管を互いに連結して支持する放電管連結ホルダ５と、放電管１ｃの一端に配置される出力鏡１１を備えるエンドプレート１５と、放電管２ａの一端に配置されるリア鏡１２を備えるエンドプレート１６と、両端がそれぞれエンドプレート１５、１６に固定された４本の支持棒２１〜２４とを備える。放電管連結ホルダ５は、クランプ（剛性部材）２５を介して下側の支持棒２１、２２に固定され、クランプ（弾性部材）２６、２７を介して上側の支持棒２３、２４に連結される。 （もっと読む）

【課題】露光装置の指令によりレーザ運転の全時間に対するパルスレーザ光の発振時間が変化しても、ビームダイバージェンスの大きさとビームポインティングの角度変化を基準レベル以内に収めることができるＭＯＰＯシステムを有する露光装置用のレーザ装置を提供する。
【解決手段】露光装置用のレーザ装置において、ＭＯＰＯシステムの発振段と増幅段の間に、出射されたレーザ光のビームダイバージェンスの大きさおよびビームポインティングの角度変化を基準レベル以下に収めるような拡大率に設定されたビームエキスパンダを設ける。 （もっと読む）

シード信号を発生させるシード源と光サーキュレータとを備えるチューナブルパルスレーザ源である。光サーキュレータは、シード源に連結された第１のポートと、第２のポートと、第３のポートとを含む。レーザ源は、第１のサイドおよび第２のサイドによって特徴付けられている振幅変調器をさらに含む。第１のサイドは光サーキュレータの第２のポートに連結されている。レーザ源は、入力端と、スペクトル領域反射フィルタを含む反射端とによって特徴付けられている第１の光増幅器をさらに含む。入力端は振幅変調器の第２のサイドに連結されている。さらに、レーザ源は光サーキュレータの第３のポートに連結されている第２の光増幅器を含む。 （もっと読む）

平面的に延びそれらの平坦面が対向して位置する一対の電極間にレーザガス（ＬＧ）が存在するリボンレーザは、各々細長い放電室（３ａ〜３ｄ）を形成する多数の電極対（２ａ〜２ｄ）を有している。それらの放電室は、折返しミラ（２６）を経て光学的に連結され、電極の平坦面に対して平行に延びる放電室の中央平面が共通平面内に位置するように、互いに並べて配置されている。各々互いに直接連結された隣接する放電室間においてレーザビームを案内すべく、少なくとも１つの導波体（３０）を備えている。
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【課題】 レーザ加工機のレーザ共振装置において、レーザビームの外径寸法を規制してビームモードを自動的に選択する装置を提供する。
【解決手段】 レーザ発振装置１００は、筐体１１０内でレーザビームＬＢを発振させて、出力レンズ１３０を介して加工トーチ１０へ供給する。レーザビームＬＢの軸心に直交する方向に設けられるビームモード自動選択装置２００は、リニアガイドで案内される絞り部材２２０を有する。ハウジング２１０の外部に設けるシリンダ２４０により駆動されるピストンロッド２４４は一方の極性を有する永久磁石２５０を駆動する。絞り部材２２０にとりつけた他方の極性を有する永久磁石２３０は、非接触で駆動され、絞り部材２２０の開口部２２２，２２４を自動的に選択する。 （もっと読む）