【課題】フォトリソグラフィにおける集積回路製造のためのレーザ光源として線狭帯域化用途に使用されるＤＵＶガス放電レーザシステムにおける帯域幅の能動制御の技術を提供する。
【解決手段】光源により生成されたレーザ出力光パルスビームパルスの帯域幅を測定して帯域幅測定値を供給する帯域幅測定モジュールと、帯域幅測定値及び帯域幅設定値を受信して帯域幅誤差信号を供給する帯域幅誤差信号発生器と、帯域幅誤差に応答して細かい帯域幅補正アクチュエータ信号及び粗い帯域幅補正アクチュエータ信号を供給する能動帯域幅コントローラとを含むことができる、線狭帯域化高平均パワー高パルス繰返し数レーザマイクロフォトリソグラフィ光源帯域幅制御方法及び装置を開示する。 （もっと読む）

【課題】ＡｒＦエキシマレーザに使用され、長期の使用にわたって回折効率を維持することが可能なエシェル型回折格子を提供すること
【解決手段】各格子は厚さ２μｍから１０μｍを有する樹脂層１１と当該樹脂層の上に形成され、厚さ１２０ｎｍから５００ｎｍを有し、アルミニウムから構成された反射膜層１２を有するエシェル型回折格子１はリトロー配置を有し、頂角が８５°以上９０°未満であり、ブレーズ角は、波長１９３．３ｎｍの入射光に対して設定されたブレーズ次数の回折効率を最大にする第１のブレーズ角よりも小さい第２のブレーズ角を初期値として有し、前記第１のブレーズ角をｂｄ、前記第２のブレーズ角をｂａとすると０．２５°≦ｂｄ−ｂａ≦１．２°を満足することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】マスタレーザの波長をスレーブレーザキャビティのモードの近傍に最高の精度で調整し、マスタソースとスレーブキャビティとの間の偏光制限を排除できる、光学装置を実現する。
【解決手段】本発明は、複数の波長で光線を放射する光学ソース(2)と、各々がホログラフィック媒体(MH)を備える少なくとも１つのレーザ(3)と、前記光学ソース(2)から派生した前記光線を前記少なくとも１つのレーザ(3)に注入する手段(FO,MCS,MUX,CO,IO,AV)と、を備え、前記ホログラフィック媒体(MH)は、ホログラムを生成することによって、前記少なくとも１つのレーザが少なくとも１つの発振モードで発振するように適合し、前記少なくとも１つの発振モードは、前記複数の波長の中の少なくとも１つの波長によって決定される光学装置(1)に関する。本発明は、前記光学ソースが、前記複数の波長で同時に放射する光源を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 最も硬い結晶面（１１１）面でＣａＦ₂ 結晶をカットし、この結晶面を表面粗さの小さな高精度研磨を行うことにより、潜傷を少なくし、レーザ照射によるＣａＦ₂ 結晶の表面損傷を防止する。そして、Ｐ偏光のフレネル反射率を小さくし、真性複屈折による偏光純度の悪化を防止するＣａＦ₂ 結晶を用いたガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】 ガスレーザ装置は、レーザチャンバ１１と、レーザチャンバ１１の一方の側とその反対側に設置された光共振器と、レーザチャンバ内部に封入されたレーザガスと、レーザガスを励起する励起部と、レーザチャンバに設けられ、入射平面がフッ化カルシウム結晶の（１１１）結晶面に平行であり、励起されたレーザガスから発生するレーザ光の入射平面への入射角度は、２４．９°から６８．７３°の角度範囲内であり、フッ化カルシウム結晶が［１１１］軸を中心に回転され、真性複屈折が極小となる領域に設置される２つのウィンドウ１２，１３と、を備える ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高安定出力の半導体レーザ励起共振器内波長変換レーザ光を得る。
【解決手段】基本波レーザ光（Ｌ２）を出射する固体レーザ媒質（４）として端面（４ａ，４ｂ）を非平行にした複屈折性レーザ結晶を用いて基本波レーザ光（Ｌ２）の異なる偏波（Ｌ２１，Ｌ２２）は異なる角度で出射させる。半導体レーザ（１）からの励起レーザ光（Ｌ１）を固体レーザ媒質（４）に入射させると共に角度選択性により基本波レーザ光の一つの偏波（Ｌ２１）のみに対して共振器（２０）を構成する体積型ホログラフィック・グレーティング（３）を備える。共振器（２０）内に波長変換素子（９）を置く。
【効果】励起波長と発振波長とが近接している場合でも誘電体多層膜ミラーのような問題を生じない。波長変換素子（９）における波長変換効率を向上できる。 （もっと読む）

【課題】導波路型レーザの利得係数が非常に高い場合に、ＡＳＥが発生するが、このＡＳＥの発生を抑え、一方で、レーザ光の発振、増幅には損失を与えない、固体レーザ装置を得る。
【解決手段】導波路型固体レーザ装置の励起媒質１の対向する２辺に施された全反射膜４，５に、レーザ光路２を伝播するレーザ光の入射角に対する反射率依存性を持たせて、レーザ光の最大入射角α以下の範囲の入射角においては、全反射膜４，５の反射率を高い反射率とし、レーザ光の最大入射角αよりも大きい範囲の入射角においては、全反射膜４，５の反射率を低下させることにより、反射時のＡＳＥ光の損失を高くしてＡＳＥの発生を抑制し、一方で、レーザ光には大きな損失を与えることなく、発振、増幅させることができる。 （もっと読む）

【課題】ビーム伝送系のレーザから直接放出されたレーザ光よりもコヒーレンスが低減された光ビームを供給するビーム伝送系を提供する。
【解決手段】投影露光系のビーム伝送系は、キャビティ内の複数の縦レーザモードからレーザ光ビームを生成するレーザを含む。１つの縦レーザモードによって生成される光は平均線幅λ_latを有し、ビームのレーザ光は、ビームの各横位置において、横レーザモードに対応する第２の線幅λ_latを有し、ビームのレーザ光は、その断面全体にわたって平均化した場合、複数の横レーザモードに対応する線幅λ_bを有し、λ_m＜λ_lat＜λ_bである。ビーム上に配置される光遅延装置は、光路差ΔＩを与える。但し、λ₀は第１のレーザ光ビームの光の平均波長であり、λ_latは第２の線幅を表している。 （もっと読む）

【課題】中心波長の制御に影響を与えることなくスペクトル純度幅（スペクトル指標値）の安定化制御が行える狭帯域化レーザ装置を提供する。
【解決手段】増幅用レーザ装置から出力されるレーザ光のスペクトル純度幅Ｅ９５をスペクトル純度幅計測手段で計測し、計測されたスペクトル純度幅Ｅ９５が、目標スペクトル純度幅Ｅ９５_０の許容幅Ｅ９５_０±ｄＥ９５内に収まるように、発振用レーザ装置で放電を開始してから増幅用レーザ装置で放電を開始するまでの放電タイミングを制御する。 （もっと読む）

【課題】 発振スペクトル線幅の狭小化と、高速な波長掃引と、を達成し得る光源装置を提供する。
【解決手段】 光増幅媒体と光スイッチとを含んで構成された光共振器を備える光源装置で、光スイッチは、波長可変光源で構成された光照射源より、出射された光パルスの照射を受けて透過率または反射率が変化するもので、波長可変光源より出射される光パルスの中心波長に対応して、増幅された光を光共振器より出射するものであり、光共振器の長さＬと光パルスの繰り返し周波数ｆとの関係（Ｌ＜ｃ／（ｎｆ））と、光スイッチの変化した透過率または反射率が回復する回復時間τとＬとの関係（τ＞（ｎＬ）／ｃ）を規定。 （もっと読む）

【課題】中心波長の制御に影響を与えることなくスペクトル純度幅（スペクトル指標値）の安定化制御を行えるようにして、見かけ上のスペクトル純度幅の制御を行うことで発生する上記諸問題点を解消する。
【解決手段】増幅用レーザ装置から出力されるレーザ光のスペクトル純度幅E95をスペクトル純度幅計測手段で計測し、計測されたスペクトル純度幅E95が、目標スペクトル純度幅E950の許容幅E950±ｄE95内に収まるように、発振用レーザ装置で放電を開始してから増幅用レーザ装置で放電を開始するまでの放電タイミングを制御することで、スペクトル純度幅E95を安定化制御する。 （もっと読む）

【課題】レーザ装置のスペクトル幅調整の可能な範囲を向上する。
【解決手段】レーザ装置は、（１）レーザ媒質をレーザゲイン空間において励起する励起源と、（２）レーザゲイン空間を通る光路の一方の側に配置されたアウトプットカプラと、レーザゲイン空間を通る光路の他方の側に配置された波長分散素子と、を含む光共振器と、（３）レーザゲイン空間と波長分散素子との間の光路にビーム幅を拡大又は縮小する少なくとも１つのビーム幅変更素子を出し入れし、又は、上記光路において少なくとも１つのビーム幅変更素子の向きを反転させることにより、ビーム幅の拡大率又は縮小率を切り換える切換機構と、を含んでもよい。 （もっと読む）

【課題】従来のパルス発振ファイバレーザ光源の構成ではパルス発振を得るための部材が効率低下の要因となっていた。また、高効率な波長変換素子を使用した場合出力が飽和したり波長変換素子が劣化したりする等の問題があった。
【解決手段】Ｙｂファイバレーザ共振器部分のＹｂファイバに励起が弱くなる部分をもうけ、ポンプ用ＬＤに印加する電流をパルス状にすることによりファイバレーザを安定的にパルス発振させ、高効率な波長変換を実現する。 （もっと読む）

プリズムの運動特性のモデルを使用して光制御プリズムの次の位置を周期的に予測することによるレーザ光波長制御を提供する。予測は、次に、レーザ出力、波長の測定値が得られた場合に更新される。しかし、測定値を待つことなく予測を行うので、予測は、レーザ発射繰返し数よりも頻繁に行うことができ、プリズムは、レーザ発射イベントよりも頻繁に発生する可能性がある個別の時点で再位置決めすることができる。これはまた、レーザ測定の１パルス遅れであること及び得られるレーザ制御信号が印加されることによって引き起こされる場合がある性能劣化も低減する。 （もっと読む）

レーザ光源（１０）のレーザビーム（１４）のスペクトルバンド幅（Δλ）を設定するための狭帯域化モジュール（１）であって、レーザビームの伝播方向に対して横方向にレーザビームを拡大するビーム拡大モジュール（１８）と、反射型回折格子とを備え、狭帯域化モジュールの第１コンポーネント（３２）を、狭帯域化モジュールの光軸に対して横方向の第１軸を中心とした円筒形部分を有する擾乱をレーザビームの波面に印加することができるよう構成した、狭帯域化モジュール。本発明によれば、第１光学コンポーネントは、第１軸と平行な旋回軸（３５、４３）を中心に旋回可能であるよう具現する。第１光学コンポーネント（３２）は、１つの軸に沿った波面収差を制御するよう旋回させる（４３）シリンドリカルレンズであり得る。バンド幅は、回折格子（２８）により制御され、シリンドリカルレンズはプリズム（４０）に組み込むことができる。 （もっと読む）

【課題】狭いスペクトル線幅の光を掃引可能で、かつ安価に形成可能な波長掃引光源を得る。
【解決手段】半導体光増幅器10と、この半導体光増幅器10の一端面から発せられた光を他端面から該素子に帰還させるリング状光帰還系11と、このリング状光帰還系11内を進行する光を波長選択して透過させ、かつ、その選択波長を連続的に変化させるファイバファブリペロエタロン14と、前記リング状光帰還系11内を進行する光の一部を外部に取り出す手段15とを備えてなる波長掃引光源において、ファイバファブリペロエタロン14を、リング状光帰還系11の全長の中央位置以外に配設する。その上で、少なくともファイバファブリペロエタロン14で反射した光が半導体光増幅器10に戻る期間は、この半導体光増幅器10への印加電流を発振閾値未満に設定し、それ以外の期間では印加電流を発振閾値以上に設定する電流変調手段17、18を設ける。 （もっと読む）

【課題】ＭＯＰＯ方式の高安定性、高出力効率、細い線幅である利点を活かしつつ、空間コヒーレンスを低くした半導体露光装置用に適した２ステージレーザ装置を提供する。
【解決手段】露光用２ステージレーザ装置において、発振段レーザ５０として発振レーザ光に発散を有するものが用いられ、増幅段レーザ６０は入力側ミラー１と出力側ミラー２とからなるファブリペローエタロン型共振器を備え、その共振器は安定共振器を構成する。 （もっと読む）

【課題】ＭＯＰＯ方式の高安定性、高出力効率、細い線幅である利点を活かしつつ、空間コヒーレンスを低くした半導体露光用２ステージレーザ装置を提供する。
【解決手段】発振段レーザ５０と、発振段レーザで発振されたレーザ光を入力してそのレーザ光を増幅して出力する増幅段レーザ６０とからなり、前記発振段レーザ、増幅段レーザ共にレーザガスが充填されたチャンバーを備えている露光用２ステージレーザ装置において、発振段レーザ５０として発振レーザ光に発散を有するものが用いられ、前記増幅段レーザ６０は入力側ミラー１と出力側ミラー２とからなるファブリペローエタロン型共振器を備え、該共振器を安定共振器とした構成とする。 （もっと読む）

【課題】ＭＯＰＯ方式の高安定性、高出力効率、細い線幅である利点を活かしつつ、空間コヒーレンスを低くした半導体露光装置用に適した２ステージレーザ装置を提供する。
【解決手段】発振段レーザ５０と増幅段レーザ６０とからなる露光用２ステージレーザ装置であって、発振段レーザ５０として発振レーザ光に発散を有するものが用いられ、増幅段レーザ６０は入力側ミラー１と出力側ミラー２とからなるファブリペローエタロン型共振器を備え、その共振器は安定共振器を構成する。 （もっと読む）

【課題】簡易な方法で、滑らかな強度分布パターンをもち、かつ小型の外部共振器型のレーザ光源装置を提供する。さらに、このレーザ光源装置を用いた情報記録再生装置および電子機器を提供する。
【解決手段】半導体レーザ１の光軸３ａに対して体積型回折素子２を傾けて配置する。これにより、光軸３ａに沿って半導体レーザ１から出射した光は、体積型回折素子２を透過する。一方、体積型回折素子２の屈折率の変調方向Ｋに沿って出射した光の一部は、体積型回折素子２によって反射されて半導体レーザ１に帰還する。この結果、出力強度が落込む領域を光軸３ａから遠ざけることができ、光軸３ａ近傍の出力強度を一様にできる。 （もっと読む）