【課題】 波長掃引の高速化と、発振スペクトル線幅の狭小化と、を同時に達成し得る光源装置を提供する。
【解決手段】 光を増幅させる光利得媒体を備えた光共振器と、前記光利得媒体より放出された光を波長に応じて分散させる分散素子と、前記分散素子を経た特定の波長の光を反射または透過する波長選択部と、を有する光源装置であって、前記光利得媒体より放出された光が前記光共振器内を一往復する間に前記波長選択部で複数回の波長選択がなされ、該複数回の波長選択により得られた重複した波長帯域の光を出射させる光源装置。 （もっと読む）

【課題】スペクトル純度幅Ｅ９５の制御を、中心波長の制御にほとんど影響を与えることなく広い制御範囲で行えるようにし、スペクトル純度幅Ｅ９５を安定化させた狭帯域化レーザ装置を提供する。
【解決手段】光共振器内の出力側、すなわち出力カプラ３１側に波面調整器３２が設けられる。レーザチャンバ１０で発生した光は、レーザチャンバ１０側から波面調整器３２を通過し、出力カプラ３１に達する。波面調整器３２は所望のスペクトル純度幅Ｅ９５が得られるように、凹レンズ３３と凸レンズ３４間の距離を調整することで所望の波面になるように調整する。 （もっと読む）

【課題】
１バースト期間のうちの不安定期間に出力されるレーザ光のスペクトル幅を目標とするスペクトル幅に近づけて、１バースト期間内でレーザ光のスペクトル幅を安定させることによって、集積回路パターンの品質悪化や生産効率の低下を防止する。
【解決手段】
狭帯域化したレーザ光を連続してパルス発振するバースト期間と発振休止する発振休止期間とを交互に繰り返して動作する狭帯域化レーザにおいて、発振休止期間の長さに応じて発振休止期間中にパルス発振した場合のスペクトル幅を予測してスペクトル幅を変化させるアクチュエータを予め制御する。または、前回以前のバースト初期のスペクトル幅の不安定期間に計測されたスペクトル幅の計測値とそのときのスペクトル幅調整機構の動作指令値といった実績に基づいて不安定期間中にスペクトル幅制御を行う。 （もっと読む）

【課題】
レーザ装置の製造時の機差によるＥ９５幅等のスペクトル幅のばらつきや、レーザ装置の交換やメンテナンスに伴うＥ９５幅等のスペクトル幅のばらつきを抑制し、半導体の露光装置が形成する集積回路パターンの品質を安定させる。
【解決手段】
先ず予め複数の狭帯域化レーザ装置に共通するスペクトル幅の上限値と下限値とを設定しておく。そして、狭帯域化レーザ装置のメンテナンス時や出荷時など、狭帯域化レーザ装置を半導体露光の光源として使用する前に、狭帯域化レーザ装置をレーザ発振してスペクトル幅を検出する。この際、スペクトル幅が予め設定した上限値と下限値との間の値になるように、狭帯域化レーザ装置に備えられたスペクトル幅調整部を調整する。 （もっと読む）

【課題】 入射光強度が弱い場合でも、従来より変換効率を高くすることが可能な光高調波発生装置を提供することができる。
【解決手段】 本光高調波発生装置は、基本波の光を閉じこめて前記基本波の光強度を増強する第１共振器と、前記第１共振器に閉じこめられた前記基本波の光が入射する第２共振器と、前記第２共振器の光軸上に配置され、入射する前記基本波の光を２次高調波の光に変換する波長変換素子と、を有し、前記第２共振器は、前記２次高調波の光を閉じこめて前記２次高調波の光強度を増強するとともに、光強度が増強された前記２次高調波の光の一部を前記第２共振器の外部に出射する。 （もっと読む）

【課題】高出力化を実現するレーザー光源装置を提供する。
【解決手段】本発明のレーザー光源装置は、基台１１と、発光部２２を有する第１発光素子（第１半導体レーザー素子１２）と、発光部２３を有する第２発光素子（第２半導体レーザー素子１３）と、第１発光素子と第２発光素子との間の光路上に配置され、各発光素子から射出された基本波長のレーザー光の少なくとも一部を所定の変換波長のレーザー光に変換する波長変換素子１６と、基台１１に支持され、波長変換素子１６を保持する保持部材２６とを備え、第１発光素子及び第２発光素子は、互いに一方の発光素子の発光部から射出されたレーザー光が他の発光素子の発光部に入射するように配置され、保持部材２６は、基台１１に対して、互いに直交する任意の２つの軸を中心とする各回転動作における回転角度が調整可能とされている。 （もっと読む）

【課題】波長変換素子の出射側表面に固体レーザ素子で発生した基本波を反射し光共振器を形成する反射部が設けられているため、波長変換素子が固体レーザ素子に接合される前の段階では基本波を共振し増幅させることができない。そのため、固体レーザ素子から出射する光の出力が小さく、半導体レーザと固体レーザ素子との相対位置を適切に調整することができないという問題があった。この発明は、上記のような問題点を解決するために、波長変換素子が固体レーザ素子に接合される前の段階でも、半導体レーザと固体レーザ素子との相対位置を適切に調整して接合できるようにする。
【解決手段】固体レーザ素子の第１の反射部と対向し、固体レーザ素子から出射された基本波の一部を透過し他の一部を反射する第２の反射部を設け、当該第２の反射部を透過した光の出力が所定値以上になるような相対位置で、半導体レーザと固体レーザ素子とを接合するようにした。 （もっと読む）

【課題】広い波長範囲に亘ってシングルモードの高速な連続波長掃引が可能であり、且つ複数の出力光を出射できる波長掃引光源を提供する。
【解決手段】回動ミラー３０の反射面３２ａの角度変化に応じて共振器長を変化させ、半導体発光素子２２が出射する光の波長を所定範囲内で連続的に変化させるリトマン方式外部共振器型の波長掃引光源において、半導体発光素子２２から出射された光の一部を回折格子２５の所定入射位置Ｇに向けて反射させるとともに、回折格子２５から逆光路で戻された光の一部を半導体発光素子２２の低反射率面２２ａに向けて反射させ、残りの少なくとも一部を透過させるハーフミラー２４０と、回折格子２５から逆光路で戻されてハーフミラー２４０を透過した光を回動ミラー３０に対して非交差となる方向に反射させることにより第１の出力光Ｌ₁を外部に出射する第１の出力ミラー２４１を備える。 （もっと読む）

例えば、ハイスピード波長チューニングを提供するための装置、光源構成及び方法の例示的な実施態様が提供されうる。例示的な実施態様に従って、（ｉ）約６０００（約２０００）テラヘルツ／ミリ秒より大きい絶対速度にて変化する中心周波数をもつスペクトルを有し、（ｉｉ）約１０テラヘルツより大きいレンジに渡って変化する中心周波数を有し、及び／又は（ｉｉｉ）約１５ギガヘルツより小さい瞬間線幅を有する、電磁放射を放出するように構成された少なくとも一つの構成が提供されうる。他の例示的な実施態様に従って、周期的にかつ時間の関数として、少なくとも一つの第一の電磁放射の中心周波数に基づいて該少なくとも一つの第一に電磁放射を選択するように構成された少なくとも一つの構成（ここで、周期的選択は第一の固有周期で実行される）が提供されうる。中心周波数は、時間とともに直線的に変化し、ここで、装置は、第二の固有周期で時間の関数として周期的に変化する中心周波数をもつスペクトルを有する少なくとも一つの第二の電磁放射を放出できる。更に、第一の固有周期は、該第二の固有周期より大きくできる。
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【課題】高出力のレーザ光が得られるレーザ光源装置を容易に製造する方法を提供する。
【解決手段】本発明のレーザ光源装置の製造方法は、反射ミラー１９を第１レーザ素子２からの光の光路上に配置し、第１レーザ素子２と反射ミラー１９との間でレーザ発振させつつ反射ミラー１９に対する第１レーザ素子２のエミッタ形成面２ａの相対角度を調整する第１レーザ素子角度調整工程と、反射ミラー１９を同じ位置に維持したまま、第１レーザ素子２のエミッタ形成面２ａに対する第２レーザ素子３のエミッタ形成面３ａの相対角度を調整する第２レーザ素子角度調整工程と、第１レーザ素子２から射出された光と第２レーザ素子３から射出された光の双方でレーザ発振させつつ第１レーザ素子２と第２レーザ素子３の相対回転角度及び相対位置を調整する角度位置調整工程と、を備えている。 （もっと読む）

本発明は、単色Ｘ線を生成するための高速ピコ秒パルス化レーザと共に使用し得る、ファブリーペロ型の増幅光共振器に関する。本発明は、平均出力Ｐ_ＭＯＹで高い安定性を有する強力集束されるポンプ化レーザビームを得るために使用し得るファブリーペロ型の増幅光共振器に関する。本発明は、より具体的には、高速ピコ秒ポンプ化レーザビーム（１２）と同期電子ビームとの間のＣＯＭＰＴＯＮ反応によって単色Ｘ線を生成するためのファブリーペロ型の増幅光共振器（４０）に関し、共振器は真空下に配置し得る閉塞囲壁（４２）を含み、閉塞囲壁を通じて電子ビーム管（４６）が延び、囲壁（４２）は、レーザビーム入力手段と、２つの平面光反射器（Ｍ１，Ｍ２）を維持し且つ位置決めするための手段と、相互作用地点で電子ビームと集束し得る２つの球面光反射器（Ｍ３，Ｍ４）を維持し且つ位置決めするための手段とを含む。光反射器（Ｍ１乃至Ｍ４）を維持し且つ位置決めするための手段は、光反射器（Ｍ１乃至Ｍ４）が四面体の頂点を実質的に定めるよう配置される。

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【課題】和周波混合により、例えば２００ｎｍ程度以下の波長域のレーザ光を、安定して、かつ狭い波長幅で出力することが可能なレーザ光発生装置を提供する。
【解決手段】エルビウム（Ｅｒ）をコアに含むダブルクラッドファイバーにより、波長λ₁のレーザ光Ｌ１を出力するファイバーレーザ光源１０と、イッテルビウム（Ｙｂ）またはネオジム（Ｎｄ）をコアに含むダブルクラッドファイバーにより、波長λ₂のレーザ光Ｌ２を出力するファイバーレーザ光源１１と、外部共振器１４Ａ，１４Ｂ，１５Ａ〜１５Ｃと、非線形光学素子１７とを備える。レーザ光Ｌ１は、外部共振器１４Ａ，１４Ｂを経て波長変換され、レーザ光Ｌ２は外部共振器１５Ａ〜１５Ｃを経て波長変換され、それぞれ同時に非線形光学素子１７に入射して、和周波としての波長λ₃のレーザ光Ｌ３を発生する。 （もっと読む）

【課題】光源において、装置の大型化とコストを抑制し、高い光利用効率と高速の波長掃引を可能にする。
【解決手段】線形共振器型の光源１は、光増幅媒体３と、特定波長の光を透過させ、特定波長以外の光を反射するファブリーペロー共振器を含む波長選択手段６と、波長選択手段６を透過した光については線形共振器内を往復可能とし、波長選択手段６で反射された光については光増幅媒体３への入射を遮断する光分離光学系９とを備える。光分離光学系９は、光増幅媒体３と波長選択手段６の間に配置され、所定方向の直線偏光のみを線形共振器内に進行させる偏光選択手段４と、波長選択手段６の両側に配置され、直交する２方向の偏光成分間に１／４波長分の位相差を付与する第１および第２の１／４波長位相子５、７とを含む。 （もっと読む）

【課題】波長をプログラマブル且つ高速に変化させることができる波長可変光源を提供する。
【解決手段】利得媒質１と、利得媒質１からの射出光を波長分散する分散素子２と、波長分散された光を当該光の分散方向と非平行な方向に走査する光偏向器３と、走査された光の一部を戻り光として反射する部分反射素子４とを備え、部分反射素子４への入射光が波長分散方向と走査方向との領域を持つ。 （もっと読む）

【課題】安価に変調による影響を解消したレーザ周波数安定化装置、方法、及びプログラムを提供する。
【解決手段】レーザ周波数安定化装置は、波長の異なる第１，第２縦モード光を生成し出射するレーザ光生成部１０、レーザ光を第１縦モード光Ｌ（１）及び第２縦モード光Ｌ（２）の分光するレーザ光分光部２０、光出力信号Ｓｇ１を検出する第１検出部３１、第１縦モード光Ｌ（１）による第１縦モード信号Ｓｇａを検出する第２検出部４１、第２縦モード光Ｌ（２）による第２縦モード信号Ｓｇｂを検出する第３検出部４２、共振器長を変化させるアクチュエータ１８、光出力信号Ｓｇ１に基づきアクチュエータ１８の駆動を制御する第１駆動制御部３６、第１縦モード信号Ｓｇａの信号強度及び第２縦モード信号Ｓｇｂの信号強度の比が所定値となるようにアクチュエータ１８の駆動を制御する第２駆動制御部４２を備える。 （もっと読む）

【課題】小型、低コストでかつ安定性が高く、フェムト秒領域のCWモード同期を実現できる固体レーザ装置を得る。
【解決手段】固体レーザ媒質15、可飽和吸収ミラー16および負分散素子17を共振器内に備えたソリトン型モード同期固体レーザ装置において、固体レーザ媒質15と可飽和吸収ミラー16とをレーリ長の２倍以下の距離で近接配置する。その上で、可飽和吸収ミラー16の吸収変調深さΔＲを0.4％以上とし、また、下記関係式で表される、共振器内を所定の波長の光が一往復した場合の共振器内全分散量の絶対値｜Ｄ｜（ただしＤ＜０）を、可飽和吸収ミラーにより基本周期のソリトンパルス以外の動作様式が抑制可能なパルス帯域内に設定する。
【数１】
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【課題】広い波長範囲において動作可能な波長可変ファイバーレーザ（チューナブルファイバーレーザ）を提供する。
【解決手段】複数の色で発光する蛍光体が添加され, 励起光が入射する光ファイバー１４と、光ファイバー１４の少なくとも一方の端面に成膜され、電気光学効果を有する強誘電体多層膜からなる強誘電体積層構造２０とを備え、強誘電体積層構造２０と光ファイバー１４と光ファイバーの他方の端面とからファブリーペロー型共振器が構成され、強誘電体多層膜を分極反転させるための電極１０、１２を備え、強誘電体多層膜の各層の厚さをｌ、発振波長をλ、屈折率をｎとすると、λ／４ｎ＝ｌを満足する屈折率ｎとなる電界を強誘電体多層膜に印加して分極配向させて共振波長λを可変にして、レーザ発振する波長が可変となる,波長可変ファイバーレーザ。 （もっと読む）

【課題】光共振器の熱及び振動による機械的ひずみが生じた場合でも、自動的に共振器ミラーや出射光軸調整ミラーの角度を補正し、レーザ光の高い出力及び正しい光軸位置を維持することができる光共振器自動補正装置及び光共振器自動補正方法を提供する。
【解決手段】互いに対向配置された第１共振器ミラー１０及び第２共振器ミラー２０と、第１共振器ミラー１０及び第２共振器ミラー２０により光共振されたレーザ光の一部を検知する４象限光検出器５０と、４象限光検出器５０により検知されたレーザ光の出力の大きさに基づき第１制御信号を生成する信号処理部６０と、信号処理部６０により生成された第１制御信号に基づき第１共振器ミラー１０の角度を調整する第１アクチュエータ７０とを備える。 （もっと読む）

【課題】炭酸ガスレーザー励起の遠赤外ガスレーザーにおいて、波長選択可能であり、かつ、同一光軸で多波長発振させる。
【解決手段】複数の励起用炭酸ガスレーザー装置１、２から出力される複数の異なる励起レーザーを１つの遠赤外レーザー装置３に入力し、１つの遠赤外レーザー装置３から２つの異なる波長で、かつ、同じ光軸を取るレーザー光を出力させる。これにより、多波長の遠赤外レーザー発振を可能にできる。 （もっと読む）

【課題】高い波長変換効率により、高い効率でレーザ光を供給可能な光源装置、その光源装置を用いる照明装置、画像表示装置及びモニタ装置を提供すること。
【解決手段】光を供給する光源部である半導体素子１１及びレーザ結晶１３と、光源部からの光の光路を変換させる光学素子である反射ミラー１４と、光学素子からの光の波長を変換させる波長変換素子であるＳＨＧ素子１５と、を有し、光学素子は可動であって、光学素子を移動させることにより、波長変換素子へ入射させる光の光路をシフトさせる。 （もっと読む）