【課題】複数の操作端毎の位置指令信号値の間に差が生じた場合でも、速度型ＰＩＤ演算部からの自動制御を継続しつつ、複数の操作端毎の位置指令信号値間の偏差を自動的に解消する。
【解決手段】速度型ＰＩＤ演算手段と複数の積分演算手段と複数の上書き手段と自動バランス手段とを持つ。前記速度型ＰＩＤ演算手段は、偏差信号からＰＩＤ演算を行い、偏差に応じた速度型の操作量指令信号を生成する。前記積分演算手段は、前記操作量指令信号に基づいて各操作端用の規定された操作端位置指令信号を生成する。前記複数の上書き手段は、各操作端用の追加の位置指令信号を生成し、対応する積分演算手段に上書き処理を行って操作端位置指令信号を新たに規定する。前記自動バランス手段は、前記規定された操作端位置指令信号間の偏差を算出し、その算出結果に基づいて前記操作量指令信号を補正し、補正された操作量指令信号を前記積分演算手段に与える。 （もっと読む）

【課題】定常状態において電力使用量が一定値を超えないように、かつ外乱抑制特性が可能な限り損なわれないようにする。
【解決手段】電力総和抑制制御装置は、割当総電力の情報を受信する割当総電力入力部（１０）と、総電力実測値を取得する総電力実測値入力部（１１）と、総電力実測値が割当総電力より大きい場合に補正係数を小さくする第１の補正係数更新部（１２）と、使用電力が最大状態に到達していると見なされる状況で総電力実測値が割当総電力より小さい場合に補正係数を大きくする第２の補正係数更新部（１３）と、各制御ループの電力余裕が公平な状態に近づくように操作量出力上限値を算出する電力抑制手段（１４〜２０）と、操作量出力上限値に補正係数を乗じて補正する出力上限値補正部２１と、制御ループ毎に設けられ、操作量を算出して操作量の上限処理を実行する制御部（２２−ｉ）を備える。 （もっと読む）

【課題】設定値変更時において制御手段とそれ以外の手段との間で行われる信号伝達の頻度を減らしつつ、各制御ループの制御量が設定値に達する時間がほぼ同じになるようにする。
【解決手段】制御装置は、複数の制御ループＬｉの設定値ＳＰｉが変更されたとき、各制御ループＬｉの操作量出力上限値ＯＨｉを規定出力上限値ＭＯｉにしたときに各制御ループＬｉの制御量ＰＶｉが設定値ＳＰｉまで達するのに必要な昇温時間ＴＬを推定する昇温時間推定部１と、昇温時間ＴＬで制御量ＰＶｉが設定値ＳＰｉまで達するのに必要な操作量出力ＭＵｉを制御ループＬｉ毎に推定する必要出力推定部２と、操作量出力ＭＵｉを各制御ループＬｉの操作量出力上限値ＯＨｉとして一時的に設定する出力上限設定部３と、制御ループＬｉ毎に設けられた制御部５−ｉとから構成される。 （もっと読む）

【課題】マルチループ温度制御系において最遅同調制御を適用することを想定した省エネルギー余裕分を概算で見積もる。
【解決手段】省エネルギー余裕算出装置は、昇温前の操作量ＭＶＬを取得する低温時操作量取得部１と、昇温完了後の温度で待機中の操作量ＭＶＨを取得する高温時操作量取得部２と、最遅制御ループ以外の制御ループの昇温完了から最遅制御ループの昇温完了までの、最遅制御ループ以外の制御ループの待機時間ＴＨを計測する待機時間計測部３と、ヒータ容量に関する情報ＨＰを記憶するヒータ容量記憶部４と、待機時間ＴＨとヒータ容量ＨＰと操作量ＭＶＨと操作量ＭＶＬとから最遅制御ループ以外の制御ループの省エネルギー余裕ＥＳを算出する省エネルギー余裕算出部５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】実時間制御において、複合的な目的を達成するとともに作業時間を短縮することが可能な自走式移動体の制御システムを提供する。
【解決手段】自走式掃除機１００の制御システム１は、変位可能な本体１１０と、本体１１０に取り付けられ、本体１１０に対して変位可能なアーム１２０と、本体１１０を駆動するための車輪駆動用モータユニット１３３と、アーム１２０を駆動するための第１のサーボ１２７と第２のサーボ１２８と、コンピュータ２００とを備え、コンピュータ２００は、本体１１０の変位に関する因子とアーム１２０の変位に関する因子との両方の因子に基づいて本体１１０の挙動とアーム１２０の挙動とを評価する評価関数を利用して、本体１１０の挙動とアーム１２０の挙動とを制御するように車輪駆動用モータユニット１３３と第１のサーボ１２７と第２のサーボ１２８とを最適制御する。 （もっと読む）

【課題】操作量総和を操作量総和下限値以上の値に維持しつつ、制御の限界を改善する。
【解決手段】制御装置は、各制御ループの制御量ＰＶ１，ＰＶ２と設定値ＳＰ１，ＳＰ２との偏差に基づいて操作量ＭＶ１，ＭＶ２を算出するＰＩＤ演算部２２−１，２２−２と、操作量ＭＶ１とＭＶ２の総和ＭＶ＿allを算出する操作量総和算出部３１−１，３１−２と、複数のゾーンＺ１，Ｚ２のうち予め規定されたゾーンの制御の整定状態を検出したときに、整定時の各ゾーンＺ１，Ｚ２の操作量ＭＶ１，ＭＶ２と整定時の操作量総和ＭＶ＿allとの比に応じて、予め規定された操作量総和下限値ＯＬ＿allを各ゾーンに配分し、この配分した値を各ゾーンの操作量下限値ＯＬ１，ＯＬ２とする下限値配分部３２−１，３２−２とを備える。 （もっと読む）

【課題】操作量総和を操作量総和下限値以上の値に維持しつつ、制御の限界を改善する。
【解決手段】制御装置は、各制御ループの制御量ＰＶ１，ＰＶ２と設定値ＳＰ１，ＳＰ２との偏差に基づいて操作量ＭＶ１，ＭＶ２を算出するＰＩＤ演算部２２−１，２２−２と、操作量ＭＶ１とＭＶ２の総和ＭＶ＿allを算出する操作量総和算出部３１−１，３１−２と、操作量総和ＭＶ＿allが予め規定された操作量総和下限値に到達してこの下限値以下になったときに、操作量ＭＶ１，ＭＶ２を、到達が生じた時点の操作量ＭＶ１，ＭＶ２に基づく値に固定する操作量固定部３２−１，３２−２とを備える。 （もっと読む）

【課題】制御量を設定値に近づける特性を完全に犠牲にしてしまうことは避けつつ、過渡状態、整定状態に関係なくエネルギー消費量を抑制する。
【解決手段】制御装置は、各制御ループの制御量ＰＶ１，ＰＶ２と設定値ＳＰ１，ＳＰ２との偏差に基づいて操作量ＭＶ１，ＭＶ２を算出するＰＩＤ演算部２２−１，２２−２と、操作量ＭＶ１とＭＶ２との操作量差δＭＶを算出する操作量差算出部３１−１，３１−２と、操作量差δＭＶに基づいて設定値ＳＰ１，ＳＰ２に対するＳＰ補正量ΔＳＰ１，ΔＳＰ２を算出するＳＰ補正量算出部３２−１，３２−２とを備える。ＳＰ補正量算出部３２−１，３２−２は、操作量ＭＶ１のエネルギー効率が悪い場合にエネルギー効率が良い方向へ変化するようにＳＰ補正量ΔＳＰ１，ΔＳＰ２を算出する。 （もっと読む）

【課題】 複数チャンネルを関連付けた制御において、特性が異なるチャンネルが存在する場合に、制御性能が悪化するのを回避する。
【解決手段】複数の各チャンネルのステップ応答波形を計測し（ステップｎ１）、複数の各チャンネルの最大傾きＲの内の最大値を抽出し（ステップｎ２）、最大値の１／２を閾値として、複数のチャンネルを、最大傾きＲでグループ分けできるか否か判定し（ステップｎ３）、グループ分けできるときには、複数チャンネルの内に特性の異なるチャンネルが存在するとして、最大傾きＲが小さいグループのチャンネルの検出温度の平均温度を代表温度に変換し（ステップｎ４，５）、傾斜温度制御を行う。 （もっと読む）

【課題】ユーザの要求に応じて、高精度な均一制御と通常の制御とを可能にする。
【解決手段】制御対象２からの複数の検出温度を変換するモード変換器３の変換用の行列Ｇｍと、ＰＩＤ制御部４−１〜４−３からの操作量を配分する前置補償器５の配分比の行列Ｇｃとを切替えることにより、複数チャンネルに対応する複数の検出温度を、傾斜温度および代表温度に変換し、それらを制御量として複数チャンネルを関連付けて制御する第１の制御と、複数の検出温度をそのまま制御量としてチャンネル毎に制御する第２の制御とを、制御中に切替え可能としている。 （もっと読む）

【課題】操作量が飽和するのを回避して、被処理物を、所望の状態で処理するための調整作業を容易に行えるようにする。
【解決手段】目標温度ＳＰを変化させたときの操作量ＭＶ、ウェハの温度ＷＡＦ、および、熱板の検出温度ＰＶの各変化に基づいて、目標温度ＳＰと操作量ＭＶとの関係を示す第１の行列、および、ウェハの温度ＷＡＦと目標温度ＳＰとの関係を示す第２の行列を取得し、第１，第２の行列を用いて、操作量ＭＶを制限した範囲内で、ウェハの面内の温度のばらつきを最小化する目標温度ＳＰの補正値を求めるようにしている。 （もっと読む）

【課題】傾斜温度（温度差）を用いた温度制御などにおいて、干渉の強い制御対象であっても、ハンチング等が生じないようにすることを目的とする。
【解決手段】温度差である傾斜温度に基づいて、操作量を演算する傾斜モモードのコントローラＣｇと、平均温度に基づいて、操作量を演算する平均モードのコントローラＣａとを備える温度調節器において、傾斜温度に基づいて、干渉を打ち消すように、傾斜モードおよび平均モードの各コントローラＣｇ，Ｃａの操作量を調整する傾斜モードおよび平均モードの非干渉化器Ｆｇ，Ｆａを設けている。 （もっと読む）

【課題】制御量以外の参照パラメータの検出結果の信頼性の低下などに起因して、制御誤差が一時的に増大するような条件下でも、制御誤差を適切かつ迅速に補償でき、それにより、高い制御精度を確保できる制御装置を提供する。
【解決手段】制御装置1の空燃比コントローラ100は、連結重み関数Wcp_iを空燃比誤差推定値Eafなどに乗算して、修正誤差Weaf_iを算出し、この値Weaf_iが値0になるように、値Dlift_bs_iを算出し、連結重み関数Wcp_iを値Dlift_bs_iなどに乗算して、値Dlift_ls_iを算出し、この値Dlift_ls_iの総和である値Dliftを値Liftinに加算することにより、値Liftin_modを算出し、この値Liftin_modに応じて、空燃比をフィードフォワード制御するための第１推定吸気量Gcyl_vtを算出し、空燃比をフィードバック制御するための空燃比補正係数KAFを算出し、これらに応じて燃料噴射量TOUTを算出する。 （もっと読む）

【課題】複数の制御因子を有するプロセスの、プロセス条件を一定範囲に制御するための制御因子のうち、逆方向の効果をもたらす少なくとも２つの制御因子の制御が切り替わる境界におけるハンチングによる不必要なロスを低減でき、かつ、不感帯による制御の不安定を回避できるという優れたプロセスの制御装置および制御方法を提供する。
【解決手段】（１）プロセス条件を一定範囲に制御するための制御因子のうち、逆方向の効果をもたらす少なくとも２つの制御因子に対して独立して制御する手段を含むことを特徴とするプロセス制御装置。（２）プロセス条件を一定範囲に制御するための制御因子のうち、逆方向の効果をもたらす少なくとも２つの制御因子に対して独立して制御する手段を設置して、一定の制御範囲内で少なくとも２個以上の設定値を設定し、制御することを特徴とするプロセス制御方法。 （もっと読む）

【課題】制御点数が増えた場合にも、高精度な傾斜温度制御を可能とする。
【解決手段】傾斜温度制御を行なう温度制御ブロック２４Ｈ，２４Ｌ−１，２４Ｌ−２を階層化し、下層の温度制御ブロック２４Ｌ−１，２４Ｌ−２の入力温度モード変換ブロックからの平均温度ＧＰＶ１を、上層の温度制御ブロック２４Ｈの入力温度モード変換ブロック２０Ｈの入力温度とする一方、上層の温度制御ブロック２４Ｈの前置補償ブロック２３Ｈからの制御出力を、下層の温度制御ブロック２４Ｌ−１，２４Ｌ−２の目標温度モード変換ブロック２１Ｌ−１，２１Ｌ−２の目標温度とし、これによって、下層の各温度制御ブロック２４Ｌ−１，２４Ｌ−２毎に、個別に傾斜温度制御するのではなく、両温度制御ブロック２４Ｌ−１，２４Ｌ−２全体として傾斜温度制御するようにしている。 （もっと読む）

【課題】マルチループの状態量制御系において定常偏差の絶対値を小さくする。
【解決手段】第１の制御ループについて設定値ＳＰ１と制御量ＰＶ１との偏差Ｅｒ１を算出する偏差Ｅｒ１算出部３−１と、偏差Ｅｒ１を入力として操作量ＭＶ１を算出するＰＩＤ演算部４−１と、偏差Ｅｒ１に予め設定された倍率Ａ１を乗算する倍率Ａ１演算部６−１と、第１の制御ループとの間に干渉が存在する第２の制御ループの設定値ＳＰ２に倍率Ａ１演算部６−１の乗算結果を加算して補正設定値ＳＰ２ｘを算出する加算部７−２と、補正設定値ＳＰ２ｘと制御量ＰＶ２との偏差Ｅｒ２を算出する偏差Ｅｒ２算出部３−２と、偏差Ｅｒ２を入力として操作量ＭＶ２を算出するＰＩＤ演算部４−２とを備える。 （もっと読む）

【課題】汎用の温度調節器であっても、傾斜温度制御を実現できるようにする。
【解決手段】 制御対象１の検出温度を、モード変換器６で傾斜温度および平均温度に変換し、入力される目標傾斜温度および目標平均温度になるように、ＰＩＤ制御部８−１，８−２で操作信号を出力し、この操作信号を、前置補償器９、リミッタ１０−１，１０−２および補償部１１−１，１１−２を介して温度調節器２−１，２−２の目標温度として与え、傾斜温度制御を行なっている。 （もっと読む）