【課題】ステージを搭載する固定ベース表面に組み込んだマイクロヒータアレイで構成されるコンパクトなアクチュエータシステムで、ＸＹ方向、ヨー回転方向の３自由度に関する長ストローク駆動、およびＺ／ピッチ／ロール方向の微細駆動を実現することができるステージ機構およびその駆動方法を提供する。
【解決手段】ステージ１に接触するベース２の表面近傍に、ベース２の表面の熱変形突出用の第一層目のヒータ３をＸＹ方向にアレイ状に複数配置し、更にベース２の表面から深いところに、第一層目のヒータ３の前後左右を挟み込むように第二層目のヒータ４をＸＹ方向にアレイ状に複数配置する。第二層目のヒータ４が、第一層目のヒータ３による熱変形突出部をＸＹ方向に移動することにより、熱変形突出部に接触するステージ１をＸＹθ方向に駆動する。 （もっと読む）

集中型太陽光発電及び熱システムが開示される。システムは、このような高い集光レベルを欠如する構成よりも少数の太陽光発電レシーバーを必要とする効率的なエネルギー変換を生じる高い集中型太陽光エネルギーを生じる太陽光発電レシーバーアッセンブリを妥協する。太陽光発電レシーバーアッセンブリは、光源の光を電磁エネルギーレシーバー上に集光する主要な光学要素と、光源のさらなる集光を助ける二次的な光学要素と、熱エネルギーコンバーターと、放熱ユニットとを備える。太陽光発電レシーバーアッセンブリは、好ましくは、太陽の露呈を最大限にするために追従システムに取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】周波数が高い領域においても良好な制御特性を維持するとともに、集積回路化が容易なＰＩＤ制御によるサーボ制御回路を提供する。
【解決手段】サーボ制御回路１００において、差分演算部１０は、制御対象から検出された検出信号ｘに比例した量と第１の信号ｆに比例した量との差ｕを出力する。Ａ／Ｄ変換部２１は、差分演算部１０の出力ｕをデジタル変換する。積分部２２は、Ａ／Ｄ変換部２１の出力Ｕをデジタル積分する。Ｄ／Ａ変換部２３は、積分部２２の出力に比例した量Ｆをアナログ変換して、第１の信号ｆとして出力する。加算演算部１５は、Ａ／Ｄ変換部２１の出力Ｕに比例した量と積分部２２の出力Ｆに比例した量との和Ｄを出力する。デジタルＰＩ制御部４０は、加算演算部１５の出力Ｄと目標値Ｒとの偏差Ｅに基づいて比例演算および積分演算を行なうことによって、制御対象を制御する制御信号Ｙを生成する。 （もっと読む）

【課題】可変構造制御装置を用いたサーボ制御における、制御器の切り換え時の過渡特性の良化を図る。
【解決手段】互いに切り換え可能な複数の制御器Ｃ₁、Ｃ₂を具備し、プラントＰの制御出力ｙを目標値ｒに追従させるサーボ制御を行う可変構造制御装置において、プラントＰを制御する制御器をＣ₂に切り換える際、当該制御器Ｃ₂による制御入力に切り換え時のプラントＰの初期状態に対する過渡特性を補償する付加入力ｕ_p^a及び目標値ｒに対する過渡特性を補償する付加入力ｕ_r^aを重畳した入力ｕをプラントＰに与えることとした。 （もっと読む）

【課題】従来の二次元型テーブル微小角度駆動機構の制御ループは、第１〜第４ヒンジの共振が考慮されていないので、第１〜第４ヒンジの共振によって駆動誤差が生じる。
【解決手段】本発明による二次元型テーブル微小角度駆動機構の制御ループは、第２減算部３００と第２乗算部４００との間に介在され、第１補償乗算部８１０、第１積分部８２０、第２補償乗算部８３０、第２積分部８４０、及び加算部８５０から構成される補償演算手段８００によって、機構部７００の共振周波数ω_０とダンピング比ζとを用いた補正角速度偏差８５０ａが生成される構成である。 （もっと読む）

【課題】従来のビルの清掃作業手法に比べ、清掃用ゴンドラを上下駆動できる装置を簡単に設置することができ、しかも、作業が終了すれば簡単に撤去することができ、さらに、清掃用作業員が効率的に清掃作業を行うことができ、そして、安全で、安価に提供できる位置決め制御システムを提供することを目的としている。
【解決手段】位置決め制御システムは、夫々モータ３で回転駆動される複数のプーリー６と、該各プーリー６に夫々巻回されてなる索体７と、該各プーリー６に巻回されてなる少なくとも２本の索体７を使用して上方向に支持されてなる作業装置１２と、前記各モータ３の回転駆動を夫々制御するモータ制御装置２と、前記各モータ制御装置２に前記モータ３の回転駆動量を指令する制御装置１とからなるものとしている。 （もっと読む）

【課題】補償効果に優れる移動体のサーボ制御装置およびレーザ加工装置を提供することおよび付加入力の演算に語長制限がある場合でも十分な補償効果を持たせる。
【解決手段】フィードバック・ループを備え、移動体を位置指令データに基づいて位置決めする移動体のディジタルサーボ制御装置において、位置指令データを受けた時刻におけるフィードバック・ループの状態量に関する伝達関数に対して、フィードバック・ループに固有の極を相殺するような零点を付加するディジタル・フィルタ１０ａ、１０ｂ（付加入力手段）を設け、位置指令データに加えてディジタル・フィルタ１０ａ、１０ｂの出力をフィードバック・ループに入力して前記移動体を位置決めする。また、ディジタル・フィルタを縦続型構造とし、この構造を構成する伝達関数が複素平面上で接近した極と零点を持つようにして、演算に語長制限がある場合でも十分な補償効果を得る。 （もっと読む）

【課題】操作子に適度な操作反力を再現する汎用性の高い技術を提供する。
【解決手段】 操作装置は、人が操作する操作子と、人が操作子に加えている操作力を検出する操作力検出手段と、操作子の速度を検出する手段と、検出した操作子の速度に検出した操作力に起因して生じる加速度から計算する速度変化量を加味して第１速度を算出する手段と、第１速度と反対向きの力を決定する手段と、第１速度に決定した反対力に起因して生じる加速度から計算する速度変化量を加味して第２速度を算出し、算出した第２速度が第１速度と反対向きであれば、算出した第２速度をゼロとする手段と、操作子の速度が第２速度算出手段で算出した第２速度に変化するように、操作子を動作させるアクチュエータとを備える。 （もっと読む）

【課題】真空雰囲気の劣化を防止しかつ位置決め精度が良好な微小位置決め装置を提供する。
【解決手段】位置決め対象部４と、位置決め対象部４を変位可能に支持する基部２，３と、位置決め対象部４と基部２，３との間に設けられ、温度変化に応じて伸縮する熱伸縮部１０と、熱伸縮部１０を加熱又は冷却する温度調節部１１とを備える微小位置決め装置とし、熱伸縮部１０を加熱又は伸縮したときの熱膨張又は熱収縮によって位置決めを行なう。 （もっと読む）

【課題】 弾性体アクチュエータで駆動される可動機構を応答性良くかつ位置決め精度良く制御できる弾性体アクチュエータ駆動型可動機構の制御装置及び方法を提供する。
【解決手段】 流体圧駆動アクチュエータ１の内部圧力を圧力計測手段９で計測し、流体圧駆動アクチュエータにより発生する駆動トルクをトルクセンサー７で計測し、可動機構の変位量を計測し、変位の目標値と計測値とが入力されて位置誤差を位置誤差補償手段１２で補償し、位置誤差補償手段の出力と駆動トルクの計測値とが入力されて駆動トルク誤差を駆動トルク誤差補償手段２５で補償し、駆動トルク誤差補償手段の出力と圧力差の計測値とが入力され圧力差誤差を圧力差誤差補償手段１５で補償する。 （もっと読む）

【課題】 軸受け内でのガタの発生を抑制することで、移動部材の位置精度を向上させることができる位置制御装置を提供する。
【解決手段】 駆動源（１０）からの駆動力を受けて回転する軸部材（３）と、軸部材を回転可能に支持する第１の軸受け（６）と、軸部材の回転に応じて軸部材の長手方向に移動可能な移動部材（１）とを有する。第１の軸受けは、軸部材に固定された第１の部材（６ｂ）と、第１の部材に対して転動体（６ｃ）を挟んで配置された第２の部材（６ａ）とを有する。第１および第２の部材を転動体に加圧接触させる力を、軸部材を介して第１の部材に作用させる加圧手段（８）を有する。 （もっと読む）