【課題】流路を流通する流体の流量制御の安定化を図る。
【解決手段】流体が流通する流路の開度を調整可能なバルブ４１と、流体の流量を検出する流量検出部３４と、流量検出部３４の検出結果と流量に関する設定値とに基づいて、バルブ４１に供給される駆動電圧をパルス幅変調するバルブ駆動部５３と、前記駆動電圧の変動に応じて前記パルス幅変調のパルス幅を補正する制御部５７，７１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】通路を流通する流体の流量を高精度で且つ安定して制御することにある。
【解決手段】圧力流体入力ポート１２、圧力流体出力ポート１４、及び圧力センサポート１６を有し、複数の金属板の積層体からなるベース部１８と、前記ベース部１８内の第１通路３０を流通する圧力流体（ガス）の圧力を調圧する圧力制御部２０と、第２通路３４を流通する圧力流体の圧力を検出する圧力センサ７８と、前記圧力制御部２０によって調圧された圧力流体を所定量に絞る第１〜第３オリフィス４８ａ〜４８ｃを含むと共に、前記圧力流体出力ポート１４に向かって圧力流体が導出される第４〜第６通路３８、４０、４２をそれぞれ切り換える第１〜第３オン／オフ弁４６ａ〜４６ｃを有する流路切換部２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 流量制御装置を用いた流体供給系に組み込みされている複数のバルブの動作不良やシートリーク等の異常を、流体供給系の配管路からバルブを取り外しすることなしに、圧力センサを保有する流量制御装置の機能を用いて簡単且つ迅速、正確にチェックできるようにする。
【解決手段】 流量の設定機構と流量及び圧力の表示機構及び又は流量自己診断機構を備える圧力センサを保有する流量制御装置を備えた流体供給系において、前記流量制御装置並にその上流側又は下流側に設けた制御バルブの異常を、前記流量制御装置の前記圧力の表示値及び又は流量自己診断機構の診断値を用いて検出する。 （もっと読む）

【課題】 ベースの締付け固定時に発生する応力を吸収緩和することでセンサに歪などの悪影響が及ばないようにして、本来の性能を安定よく確保でき、しかも、複数のセンサ等が設置される場合も低コストで十分な応力緩和機能を発揮できるようにする。
【解決手段】 内部に流体流路を有する本体ブロック１の外面１Ａに、圧力センサ７を設置する中央取付部６ａを有するセンサ取付用ベース（マスフローコントローラ用ベース）６をその長手方向の両端においてボルト１１，１１を介して金属ガスケット１３を押圧変形させるように締付け固定してなるマスフローコントローラの取付構造であって、ベース６の長手方向両端の固定部位６ｂ，６ｂより中央取付部６ａ側寄りの二箇所に、流体導入流路９と干渉しないように切り込み溝１４，１４を設けている。
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装置（１００）は、流体の流量を制御するために用いられる。前記装置は、入口（１０６）と出口（１０８）との間に流量制限器（１１０）を有する。第１および第２のマルチセンサ（１２０，１２４）は、前記流体の流量の圧力および温度を感知する感知表面（１２２，１２６）を前記入口および出口に有す。回路（１３０）は、前記入口の圧力と前記出口の圧力との間の差に基づいて質量流量出力（１５５）を生成する。前記質量流量出力は、前記入口および前記出口の感知温度の少なくとも１つの関数としての温度補正を含む。
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【課題】制御対象値の変動を最小限に抑えつつ調節弁の切り換えを自動で行い得ると共に、調節弁のレンジを広げることなく、そのアクチュエータ部分の大型化を回避してコストダウンを図ることができる流体流通ラインの二重化自動切換制御装置を提供する。
【解決手段】通常時には、従系遮断弁１３Ｂ，１４Ｂを全閉とし、主系遮断弁１３Ａ，１４Ａを全開とした状態で、流量計１５で検出された流量１１が流量設定値１６となるよう主系調節弁１２Ａの開度を自動調節する一方、主系調節弁１２Ａに異常が発生した際には、該主系調節弁１２Ａの開度をその時点での開度に保持し、主系遮断弁１３Ａの開度を全開から全閉へ向け徐々に絞って行くと同時に、従系遮断弁１３Ｂ，１４Ｂの開度を全閉から全開とし、且つ流量計１５で検出された流量１１が流量設定値１６となるよう従系調節弁１２Ｂの開度を自動調節する。 （もっと読む）

導管（３）を通る可変比率のガス混合物の流量を制御するための体積流量制御器（１）は、導管を通るガスの流量を調節するための弁手段（５）、この弁手段を駆動するための駆動手段（９）、導管を通るガスの流量を測定するための、例えばペルトンホイールなどの、体積流量計（７）を有し、そしてこの流量計が、駆動手段に供給される調整信号（１１）を発生させる増幅器（１５）での設定点信号（１７）との比較のためにフィードバック信号（２９）を提供する。設定点信号は、設定点信号発生手段（１９）により発生され、それは所望の流量に対応する値を入力するためのポテンショメーター（２１）と、以前の設定点から所望の設定点への変更を体積流量計に固有の応答の遅れを保証するのに十分な時間遅らせてガス流量を滑らか且つ安定に制御するための、抵抗器（２５）及びキャパシタ（２７）からなるスローダウン回路（２３）を含む。好ましくは、ポテンショメーターはディジタルポテンショメーター（４０３）であって、その電圧は回転エンコーダー（４１７）の独立した操作により変えることができる。
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