【課題】マイクロ処理装置の特性や流体の物性に拘わらず閉塞箇所を高精度に検出することができる流体分配装置、及び当該装置を備えることによって安定した長期連続運転が可能なマイクロプラントを提供する。
【解決手段】流体分配装置１は、入力流路１１に供給される流体を３以上の出力流路１３に分配するものであって、複数の枝マイクロ流路Ｒc21〜Ｒc33，Ｒs11〜Ｒs36を組み合わせてなり、入力流路１１に供給された処理対象流体Ｗ１を出力流路１３の数だけ分配する分配流路１２と、分配流路１２をなす複数の枝マイクロ流路Ｒc21〜Ｒc33，Ｒs11〜Ｒs36のうちの２つの枝マイクロ流路（例えば、枝マイクロ流路Ｒc31，Ｒc33）の流量を測定するマイクロ流量計１４ａ，１４ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】レベリングバルブの流量特性の設定の自由度を拡大する。
【解決手段】レベリングバルブ１は、負荷の昇降に応じてスプール孔８内を軸方向に変位する中空のスプール３と、スプール３の外周に形成した大径部３Ｃと、スプール３に相対してスプール孔８の開口部を閉鎖する弁体１１と、空気圧供給源及びドレーンの一方をスプール３の中空部３Ａに接続する第１の通路５と、負荷を支持する空気ばねに連通し、スプール３の外周に臨む空気ばね通路４とを備える。スプール孔８を大径に形成する一方、大径部３Ｃとの間に環状隙間を形成する縮径部８Ａをスプール孔８に形成し、大径部３Ｃと縮径部８Ａの軸方向長さを互いに異なる値ａ，ｂに設定する。 （もっと読む）

【課題】保守や管理の容易な流量制御装置の提供を課題とする。
【解決手段】流入口から流出口に至る経路中に設けられた制御弁と、前記流入口から流出口に至る流体の流れの有無を電気信号に置換して出力する検知部と、前記流出口を経て放流された流体の流量を前記検知部で取得した電気信号に基づき算出する流量算出部と、放流を停止すべき放流停止流量に前記流量算出部で算出した流量が達したか否かに基づき前記制御弁の開閉操作を制御する制御部と、前記流量算出部で算出した流量を前記制御部外に出力する出力部と、出力部に設けられ、流体の放流毎に出力される流量を、当該放流が為された日時等と共に表示する流量カウンタと、装置の作動不良を報知するインジケータと、を備えたことを特徴とする流量制御装置。 （もっと読む）

【課題】質量流量計の測定精度を向上させる。
【解決手段】試料ガスＧが流れる流路に設けられた感熱抵抗体４１ａ、４１ｂを有するセンサ部４１１、４１２からの出力信号を取得し、前記試料ガスＧの流量Ｑ_ｒａｗを算出する流量算出部４２と、前記流路２における一次側圧力Ｐ_ｉｎを測定する圧力測定部４３と、前記圧力測定部４３により得られた一次側圧力Ｐ_ｉｎ、及び前記試料ガスＧの定圧比熱Ｃ_Ｐにより決まるガス係数αを用いて、前記流量算出部４２により得られた測定流量Ｑ_ｒａｗを補正する流量補正部４４と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】入水量と排水量の不均衡のために原水が容器から漏れたり、飼育水槽の原水が少なくなって魚類が死亡したり、原水が、飼育水槽内の還流が適切でなく魚類が弱ったり死んだりした。また飼育水槽内に魚類の糞や塵が滞留し、腐敗して魚類の死亡の原因になっていた、また糞や塵や死んだ魚類を誤認識や誤判断をした。魚類の飼育環境を考慮しなかったために魚類が頻繁に死亡し、毒物含有が原因なのかの判断に迷いが生じていた。飼育水槽の保守や清掃などを簡便にする必要があった。
【解決手段】水槽は受水槽とポンプ水槽と飼育水槽とに分割し、配管は入水配管と排水配管とで構成した、受水槽には入水配管と排水配管を接続し、飼育水槽には排水配管が接続され、入水量と排水量をコントロールする。排水配管にはオーバーフロー管があり、飼育水槽の入水配管には入水調整弁と入水量確認弁を具備し、排水配管には排水弁を具備した。 （もっと読む）

【課題】少ない刺激によって高速かつ高精度に微粒子を分別できる微粒子分別マイクロシステムおよび微粒子分別方法を提供することを目的とする。
【解決手段】微粒子分別マイクロシステム１は、刺激感応物質としてのゾル-ゲル転移物質が添加された微粒子含溶液11が流れる微粒子含溶液流路３と、所定位置で当該微粒子含溶液流路３と合流するシース溶液12が流れるシース溶液流路４と、微粒子含溶液流路３とシース溶液流路４とが合流した合流流路９と、当該合流流路９に設けられた導入された微粒子10を計測するための微粒子計測部５と、合流流路９の下流に設けられ、分岐点６を介して分岐する微粒子10を分別するための微粒子回収流路７ａ及び微粒子廃棄流路７ｂとが、基板２上に設けられるとともに、当該微粒子廃棄流路７ｂ上に刺激付与手段としての赤外線照射装置８が設けられた構成を有する。 （もっと読む）

【課題】大がかりな可動部や電気的な制御装置を不要とし、水位の変動にかかわらず常に略許容放流量の放流することができる調整池の放流量調整装置および調整池を提供する。
【解決手段】調整池１の放流量調整装置２は、調整池１の放流口１５に設置されてオリフィスを形成する可動板２１と、調整池１に貯留された雨水に浮かぶフロート２９と、フロート２９と可動板２１とを直接または動力伝達機構を介して連結する天秤棒２８および動力伝達棒２６とを有している。また、前記動力伝達機構が、動力伝達棒２６に連結された駆動側ピニオンおよび可動板２１に設置された従動側ラック、若しくは、可動板２１に当接する偏心カムである。さらに、放流口１５が断面矩形で、可動板２１の一方の辺が曲線であって、可動板２１の並進もしくは回動に伴う放流口１５の開口面積の変化率が、放流口１５の開口面積が狭くなるほど小さくなる。 （もっと読む）