【課題】真空弁のメンテナンスサイクルを長くできる排気圧力制御システム及び排気圧力制御方法を提供すること。
【解決手段】真空チャンバ３に接続される排気系１０に配設される真空弁１５と、排気系１０の排気圧力を目標圧力に制御するように真空弁１５のバルブ開度を制御するコントローラ１２とを有する排気圧力制御システム１１において、排気系１０に接続するパージガス供給系１４と、パージガス供給系１４に配設され、排気系１０に供給されるパージガスの流量を制御するパージガス流量コントローラ１３と、を有し、パージガス流量コントローラ１３により流量制御されたパージガスを排気系１０に供給することにより、コントローラ１２が制御する真空弁１５のバルブ開度を、パージガスを排気系１０に供給しないで排気圧力を目標圧力に制御する場合より大きくする。 （もっと読む）

弁ハウジング１０を有する比例圧力制御弁であって、弁ハウジングが、特にポンプ接続端Ｐ、利用接続端Ａ及びタンク接続端Ｔの形式の少なくとも３つの流体を案内する接続端を有し、ポンプ接続端Ｐを利用接続端Ａに、及び利用接続端Ａをタンク接続端Ｔに選択的に接続するために、制御ピストン１８が弁ハウジング１０の内部で長手方向に移動可能に案内されており、ポンプ接続端Ｐとパイロット弁２２のパイロット制御室２０との間に流体を案内する接続が存在しており、かつパイロット弁２２が、磁気装置、特に比例磁気装置２８によって駆動可能な比例圧力制御弁において、パイロット制御室２０へ流体を案内する接続が、弁ハウジング１０の壁の内部に軸方向に延びる孔２７を有しており、その孔２７がハウジング１０の、ポンプ接続端Ｐを形成する半径方向孔９から出発していることを特徴としている。
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【課題】鋼管柱２内に下部からコンクリート４を圧入中に、その閉塞の予兆把握を行えるようにし、鋼管コンクリート柱を安全且つ高い信頼性で構築可能にする。
【解決手段】鋼管柱２の下部からコンクリート４を圧入して鋼管コンクリート柱を構築する方法である。前記コンクリート４の圧入圧力と、前記鋼管柱２内の前記コンクリート４の充填高さＨとを計測し、前記圧入圧力の計測値Ｐｎと前記充填高さの計測値Ｈｎとの関係を表示手段３５にプロットして表示しながら、前記コンクリート４を圧入する。 （もっと読む）

圧交替式パッド（１）は、圧縮機（２）から供給ライン（３）を介して、供給ライン（７、８）によって空気が供給される膨張可能な隔室（９、１０）を含む。圧力制御装置は圧縮機の出力を制御する。角度位置の上昇に伴って大気への空気流を制限する角度検出弁（４０）および圧力変換器（１７）もまた供給ライン（３）に接続している。検出弁（１９）の角度増加によるあらゆる圧力上昇によって、検出ラインに背圧が発生する。圧力制御器（２）は圧力変換器（１７）を用いてこの圧力変化を検知し、次いで、それに従って隔室（９、１０）への圧縮機出力を調整するように作動する。角度検出弁（４０）はヘッドレスト部とともに動くようにパッドの頭部部分に設置される。
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フロー制御弁は、流体入口、流体出口、第１作業ポート及び第２作業ポートを包含するハウジングを含む。ハウジングは、スプール孔及びパイロットスプール孔を形成する。主段階用スプールはスプール孔に配置される。パイロット段階用スプールは前記パイロットスプール孔に配置される。パイロット段階用スプールは、主段階用スプールと選択的に流体連通されている。マイクロプロッセサは、制限され構造化された制御器及び補償制御器を持つ制御器を含む。制限され構造化された制御器及び補償制御器の出力は合計され、パイロット段階用スプールに通信される電気信号を形成する。 （もっと読む）

【課題】 スペース効率の良い圧力調整弁、これを備えた描画装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを課題としている。
【解決手段】 機能液タンク９１からバルブハウジング１７１に形成した１次室１７２に導入した機能液を、バルブハウジング１７１に形成した２次室１７３を介して機能液滴吐出ヘッド４１に供給すると共に、２次室１７３の１つの面を構成すると共に、大気に面した円形のダイヤフラム１７５が受ける大気圧を調整基準圧力として、１次室１７２と２次室１７３とを連通する連通流路１７４を開閉する圧力調整弁１６１において、２次室１７３は、ダイヤフラム１７５と同心の略円柱状に形成され、２次室１７３を形成したバルブハウジング１７１の２次室形成部１９２は、２次室１７３と同心の略円柱状に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 外気圧と室内の設定気圧の間の差圧が小さい場合においても、室内の気圧を精度よく目標設定気圧に調整することができる絶対圧力制御室の制御装置を提供することである。
【解決手段】 送風手段３を備えた給気通路４１と、排気手段４を備えた排気通路４２とを備えており、内部に光学式測長器を配置するための絶対圧力制御室２において、送風手段３と排気手段４の出力値に最低出力値を設定し、絶対圧力制御室内の目標設定気圧が、外気圧よりも高い場合においては、排気通路４２に備えた排気手段４の出力値が、最低出力値を下回らないように給気通路４１に備えた送風手段３の出力値を設定し、絶対圧力制御室２内の目標設定気圧が、外気圧よりも低い場合においては、給気通路４１に備えた送風手段３の出力値が、最低出力値を下回らないように排気通路４２に備えた排気手段４の出力値を設定した。 （もっと読む）

【課題】 油圧アクチュエータにより動作制御される制御対象の位置制御を行う位置制御システムにおいて、ポペット型電磁弁を用いて油の流量制御を行い、弁からの油漏れを抑制すると共に制御対象の位置制御を精度よく行うことのできる位置制御システムを提供する。
【解決手段】油圧アクチュエータ１０１により動作制御される制御対象１０５の位置制御を行う位置制御システム１００であって、前記油圧アクチュエータ１０１の駆動制御を行う電磁弁１〜４と、前記電磁弁１〜４を介して前記油圧アクチュエータ１０１に油を供給するポンプ８と、前記電磁弁１〜４の開閉動作をパルス幅変調制御により行う弁作動手段１２、１３と、前記制御対象１０５の位置を検出する位置検出手段６と、前記電磁弁１〜４に供給される油の温度を検出する油温度検出手段１０と、前記位置検出手段６が検出した位置及び前記油温度検出手段１０が検出した油温度に基づき前記弁作動手段１２、１３が制御するパルス幅のデューティ比を決定する制御計算手段２０とを備える。 （もっと読む）