【課題】効率よく安定した振動振幅が得られると共に実際の振動振幅をモニタ可能な超音波モータと、これを備える顕微鏡ステージを提供する。
【解決手段】顕微鏡ステージ１が備える超音波モータは、複数の矩形形状の板状圧電体を厚さ方向に積層して構成される振動子１１と、板状圧電体に駆動信号を印加する駆動回路５９と、板状圧電体が変形した際に生じる起電力を検出する検出回路６０とを備え、その複数の板状圧電体は板状圧電体３２、３５を含み、板状圧電体３２、３５の各々は、縦振動を励起可能な縦振動用分極部と屈曲振動を励起可能な屈曲振動用分極部とが厚さ方向に分極された板状圧電体であって、板状圧電体３５は駆動回路５９と検出回路６０とに接続され、板状圧電体３２は、駆動回路５９と接続され検出回路６０と接続されない。 （もっと読む）

【課題】小型かつ簡単な機構であるとともに、圧電アクチュエータの振動を直接的に移動平面に伝達することができる振動移動方法及び振動移動装置を提供する。
【解決手段】、本発明の振動移動装置は、印加電圧により振動を生ずる圧電アクチュエータ１を有する脚部２と、圧電アクチュエータ１を振動方向が移動面３に対して角度θだけ傾斜するように支持する移動体本体４と、を備えており、脚部２は、３枚の圧電アクチュエータ１を放射状に配置した構造をしている。 （もっと読む）

【課題】接着層を介さずに弾性体と電気機械エネルギ変換素子とを直接接合することができ、電気機械エネルギ変換素子の厚さを極めて薄くすることができる振動体の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子の製造にＡＤ法を用いる。１００μｍ以下の大きさの粉体とした圧電材料を不活性ガス（Ｈｅガス）を充填した攪拌槽でエアロゾル化し、高速で金属弾性体の成膜したい個所に吹き付ける。このとき、圧電材料の粉体を吹き付けるノズルに対し、金属弾性体が搭載されたステージを移動させる。１０μｍ程度にまで粉砕されたナノ粒子の粉体１０４は、金属弾性体１０２の表面に堆積される。圧電材料の吹き付け温度を５００℃から圧電材料の焼成温度７００℃まで徐々に上げていき、１時間以上焼成を行う。金属弾性体１０２の表面には、圧電素子からなる薄膜圧電層１０１が直接形成される。 （もっと読む）

【課題】消費電力が十分に低減される駆動装置、を提供する。
【解決手段】駆動装置は、電圧が印加されることにより伸縮する圧電素子と、圧電素子の伸縮に伴ってその伸縮方向に駆動する駆動部材と、駆動部材に対して摩擦係合された移動部材と、印加電圧を制御する制御部とを備える。制御部は、圧電素子を伸長させる伸長ステップ５０と、圧電素子の伸縮を停止させる停止ステップ６０とを順に実行する。伸長ステップ５０は、駆動部材を加速させながら圧電素子の伸長方向に駆動させる第１加速ステップ５１と、第１加速ステップ５１の後、駆動部材を減速させながら圧電素子の伸長方向に駆動させる第１減速ステップ５２とを含む。駆動部材の加速度の絶対値は、第１加速ステップ５１よりも第１減速ステップ５２の方が大きい。停止ステップ６０時に、移動部材が駆動部材に対して滑りながら圧電素子の伸長方向に移動する。 （もっと読む）

【課題】摺動損失を低減し高耐久化が図られ、さらに異音が発生しない安定した接触が得られる接触部材を有する振動型アクチュエータを提供する。
【解決手段】駆動のために変形する振動体１０２にばね性を有する接触部材９を取り付け、接触部材１０９が、被駆動体に接触する突起部１０３と、振動体１０２と固着される複数の固定部１０７からなる振動型アクチュエータにおいて、接触部材１０９は、突起部１０３と複数の固定部１０７の間に変換部１１１を備えている。変換部１１は、突起部１０３に設けられる被駆動体との接触面１０４に対して傾斜し、かつ接触面１０４の反対側に延伸された斜面を有している。そして、変換部１１１は振動体１０２の変形により生じる複数の固定部１０７間の相対的な距離の変化を、接触面１０４の異なる方向の変位に変換する。 （もっと読む）

【課題】長さ方向と屈曲方向の振動の合成により楕円運動が発生する圧電モータに関する。
【解決手段】圧電モータは、印加される電源により第１の振動モードと第２の振動モードを同時に発生させる圧電体と、前記圧電体の一側に陥没し形成された凹部に湾入し固定され、前記圧電体において発生した振動により楕円運動をする摩擦部材とを含み、摩擦部材の付着が共振周波数に及ぼす影響を最少化することを特徴とする。これにより、圧電モータの駆動効率が増大し、摩擦部材の付着強度が改善される上、摩擦部材の固定位置が一定であるため、付着位置の変化による共振周波数の変化を防ぐことができるという効果を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】省電力化を図りつつ、梁を大きく曲げ変形させることができるアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明のアクチュエータは、長手形状をなす梁２３２１と、梁２３２１に接合された圧電素子４１１〜４１４とを有し、圧電素子４１１〜４１４に通電して圧電素子４１１〜４１４を伸縮させることにより、梁２３２１を曲げ変形させるように構成され、圧電素子４１１〜４１４のそれぞれについて、その圧電素子の伸縮方向に間隔を隔てて設けられ、その圧電素子と梁２３２１とを接合する１対の接合部５１１、５１２と、圧電素子４１１〜４１４のそれぞれについて、１対の接合部５１１、５１２の間でかつその圧電素子と梁２３２１との間に形成された空間部５１３とを有している。 （もっと読む）

【課題】圧電素子を用いたアクチュエータを安定動作、および高速動作させる。
【解決手段】搬送ステージ１１と対向して設けられ、Ｘ軸方向に搬送ステージ１１を移動させる駆動部１２ａ、１２ｂと、駆動部１２ａ、１２ｂにそれぞれ設けられ、Ｘ軸方向に伸縮する圧電素子１７ａ、１７ｂと、搬送ステージ１１の駆動部１２ａ、１２ｂ側の面に設けられている搬送電極１５と、駆動部１２ａ、１２ｂのそれぞれの搬送ステージ１１側の面に設けられ、搬送電極１５を静電的に吸着する駆動電極１８ａ、１８ｂとを有する。圧電素子１７ａ、１７ｂには、互いに同期しない信号を印加する。 （もっと読む）

【課題】振動子３００を用いた駆動機構５００のレイアウトの自由度を増す。
【解決手段】回転駆動される搬送駆動ローラ１３２および記録用紙１７０を搬送駆動ローラ１３２に押し付けつつ連れ回される搬送従動ローラ１３４を含み、記録用紙１７０を搬送方向に搬送する搬送部１３０と、記録用紙１７０にインクを吐出して画像を形成する記録ヘッド１６４とを備えたインクジェット式記録装置１００であって、回転軸と同軸の円形をなすホイール部１３７と、ホイール部１３７の縁部から回転軸に対して平行に一方の方向に延在して形成された円筒部１３９とを有して、搬送駆動ローラ１３２に対して固定された駆動カップ１３６と、周期的に変化する電圧を印加されて伸縮運動する圧電材料板３２２を含み、伸縮運動の少なくとも一部において駆動カップ１３６の円筒部１３９に当接して駆動カップ１３６を回転軸の周りに回転させる超音波アクチュエータ４００とを備える。 （もっと読む）

【課題】 精密な位置決めが可能で、制御性が良く、消費電力が小さく信頼性に富んだ駆動装置を、小型、簡易な構造で実現する。
【解決手段】 そこで、上記課題を解決する為に本発明の駆動装置は、稼動部と、一端を稼動部に固定常態に、他端を支持部材に固定状態に設けられ弾性部材と、一端を前記稼動部に固定状態に、他端を支持部材に固定状態に設けられた圧電アクチュエータと、を有し、圧電アクチュエータの変位により前記稼動部材は第一の方向に稼動し、弾性部材の第一の方向への剛性は第一の方向と直交する他の方向の剛性よりも低いことを特徴とする駆動装置とする。 （もっと読む）

【課題】 積層された圧電シート間に配置される電極の面積を小さくしても十分な変形量を付与することができ、エネルギ効率の良好な圧電アクチュエータおよび流体移送装置を提供する。
【解決手段】 圧力室１６の中央に対応する圧電アクチュエータ５０の部分（第１の部分Ｆ）の両側に電極２４，２５を有する第２の部分Ｓを配置し、第２の部分Ｓの電極２４，２５は厚さ方向において圧力室１６とは遠い側に位置する。電極２４，２５間に電圧を印加すると、電極間に挟まれた圧電シート５４〜５６が面方向に収縮して第２の部分Ｓが上方へ湾曲する。それにともない第１の部分Ｆが上方へ押し上げられるとともに下側を凹として湾曲し、圧力室１６の容積を拡大する。 （もっと読む）

【課題】回転子を安定して移動させることができる多自由度アクチュエータを提供する。
【解決手段】それぞれＹ軸の回りにのみ回転可能なローラ１３を有する第１の予圧部７および８と、それぞれＸ軸の回りにのみ回転可能なローラ１３を有する第２の予圧部９および１０とにより、回転子６に固定子２に対する予圧が付与されている。振動子３により固定子２に超音波振動を発生させて回転子６をＹ軸回りに回転させると、回転子６の表面に圧接されている第１の予圧部７および８のローラ１３が回転子６の回転運動に従動してそれぞれ軸部材１１の回りを回転する。このため、回転子６の予圧が不均一であっても、回転子６の回転方向にずれが生じにくく、回転子６は第１の予圧部７および８のローラ１３によりＹ軸回りに安定して回転する。 （もっと読む）

【課題】容量性の振動子の駆動に際して静音化と電力効率向上をバランス良く実現する。
【解決手段】容量性の振動子の駆動を制御する振動子駆動制御回路において、半波整流電源電圧であるソース側電源電圧とシンク側電源電圧間に配設した第１のソース側駆動トランジスタと第１のシンク側駆動トランジスタによる第１の直列接続体の接続部と、当該ソース側電源電圧と当該シンク側電源電圧間に配設した第２のソース側駆動トランジスタと第２のシンク側駆動トランジスタによる第２の直列接続体の接続部との間に、前記振動子を配設するＨブリッジ回路と、前記第１のソース側駆動トランジスタ及び前記第２のシンク側駆動トランジスタと、前記第２のソース側駆動トランジスタ及び前記第１のシンク側駆動トランジスタと、を所定周期で交互に飽和駆動するための駆動制御信号を生成するＨブリッジ制御回路と、を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、デッドバンドをより少なくして、位相差に対する回転速度の特性をより線形にし得る超音波モータの制御装置、該方法、該プログラム及び記録媒体並びに超音波モータシステムを提供する。
【解決手段】本発明に係る、２相の駆動信号が供給されることによって生じた超音波振動で駆動する超音波モータ４を制御するための超音波モータ４の制御装置１は、超音波モータ４における位相差と駆動周波数との関係に基づいて、２相の駆動信号を生成するために、所定の位相差に応じた駆動周波数を演算する駆動周波数演算部１２を備える。 （もっと読む）

【課題】複数の次数の振動を同一の電極を用いて効率よく発生させる。
【解決手段】圧電素子には、分極により極性が設定された複数の電極を形成する共に、これは複数の電極は、少なくとも２つの電極の極性が異なる複数の電極で構成される複数の電極グループにグループ化する。そして、複数の電極グループに印加する交流電圧の位相と周波数を切替えることにより、異なる次数の振動を発生させる。 （もっと読む）

【課題】好適な駆動効率を実現する駆動装置を提供することを課題とする。
【解決手段】駆動装置２０は、駆動発生部２１と、摺動部材２２と、軸受部２３と、付勢部２４とを含む。駆動発生部２１は、振動アクチュエータ１により駆動を発生させる。摺動部材２２は、駆動発生部２１により発生した駆動を受け、駆動発生部２１に対して相対的に駆動される。軸受部２３は、摺動部材２２を挟んで駆動発生部２１と対向して配置され、摺動部材２２において駆動発生部２１が作用する箇所の駆動発生部２１側とは反対側への変位を規制する。付勢部２４は、駆動発生部２１と軸受部２３とをお互いに近づける方向に付勢する。 （もっと読む）

【課題】回路構成を複雑にせずに被駆動体を二次元方向に移動させる圧電体振動子を提供する。
【解決手段】圧電体振動子は外壁部を有するシムと、外壁部と垂直な第１方向と外壁部及び第１方向に垂直な第２方向に垂直な第３方向でシムに固着される圧電素子を備える。圧電素子上に円周方向に順に並べて配置された第１〜第４電極が取り付けられる。第１電極に第１交流電圧が印加され、第２電極に第２交流電圧が印加され、第３電極に第３交流電圧が印加され、第４電極に第４交流電圧が印加される。外壁部を第２方向に付勢する第１付勢部材を第１方向の一方に移動させる場合に第１交流電圧の電圧印加が行われ、第１方向の他方に移動させる場合に第３交流電圧の電圧印加が行われ、外壁部を第１方向に付勢する第２付勢部材を第２方向の一方に移動させる場合に第２交流電圧の電圧印加が行われ、第２方向の他方に移動させる場合に第４交流電圧の電圧印加が行われる。 （もっと読む）

【課題】電気機械変換素子を用いた、駆動効率の高い駆動装置を提供する。
【解決手段】固定体２に接着剤３で一端を固定した電気機械変換素子４と、電気機械変換素子４の他端に接着剤５で一端を固定した駆動軸６と、駆動軸６に摩擦係合する移動体７とからなる駆動装置１において、接着剤３，５に、直径が１μｍ以上、５μｍ以下の微粒子１０を混入することで、接着剤の厚みをｔ（μｍ）、接着剤の縦弾性係数をＥ（ＧＰａ）としたときに、８≧Ｅ／ｔ≧０．４８を満たすようにする。 （もっと読む）

【課題】簡便な構成にて、転写するトナー像の乱れを小さく抑えつつ転写効率を向上させることのできる画像形成装置を提供する。
【解決手段】トナー像を担持する移動可能な像担持体２１１と、像担持体２１１とニップ領域を形成する移動可能な移動体２５１と、像担持体２１１又は移動体２５１を移動させるモータ６１と、を有し、ニップ領域において像担持体２１１からトナー像を転写する画像形成装置１０１は、モータ６１を一定速度で回転させることが可能な基本電圧に加えて、モータ６１の回転速度を周期的に変動させる発振電圧をモータ６１へ入力する構成とする。 （もっと読む）

【課題】高負荷時に於いても、圧電体の励振が不安定になり制御性が失われることのない超音波モータを提供する。
【解決手段】圧電体の励振に２枚の圧電体を張り合わせて用い２枚の圧電体の電極をΔ結線することにより、積層された夫々の圧電体が、互いに６０°の位相差をもって励振するようにして、固定子の励振を安定化させる。さらに積層しΔ結線したことにより、圧電体の印加電圧を下げることができる。 （もっと読む）