【課題】磨耗等の影響が少なく、効率よく移動子を移動あるいは駆動でき、配線の耐久性が向上し、断線することが防止され長期間にわたり安定した駆動を行うことができる慣性駆動アクチュエータを提供すること。
【解決手段】変位手段と、振動基板と、移動子と、移動子に対向した向きに磁気吸引力又は反発力が働くように磁界を発生する第１の磁界発生手段と、移動子の振動基板に対向した面に第１の磁界発生手段が発生する磁束が集中するように、移動子は第１の磁界発生手段が発生する磁束を誘導する第１のヨークを有し、振動基板の移動子に対向した向きと反対側に第２のヨークと、を有し、第２のヨークは、第１の磁界発生手段が発生する磁束が、固定子側の面にＮ極、Ｓ極が集中するように、第１の磁界発生手段から発生する磁界を制御することによって、移動子と振動基板の間に働く摩擦力を制御し、移動子を駆動する。 （もっと読む）

【課題】 コンパクト化、低コスト化、エネルギー消費量の低減を図るとともに、振動エネルギーを大きくして質量の大きい搬送物でも搬送可能とした超音波リニアモータおよび駆動・案内装置を提供すること。
【解決手段】 振動梁３に進行波を励起し、その振動によりスライダ１１を駆動する超音波リニアモータにおいて、前記振動梁３の一方の端部に２組以上、他方の端部に一方の端部と同数組以上の駆動素子９１１、９１２、９２１、９２２が付加されていて、略共振する駆動源１、２が構成されていることを特徴とする超音波リニアモータおよび前記超音波リニアモータを用いた駆動・案内装置である。 （もっと読む）

【課題】簡素且つ小型の駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置１０は、錘２０、圧電素子３０、ロッド４０、被駆動部材５０を備える。錘２０は、固定壁９１に弾性固定される。圧電素子３０の伸縮方向に沿った一方端は錘２０に固定されている。ロッド４０は、圧電素子３０の伸縮方向に沿った他方端に固定されている。ロッド４０の圧電素子３０に固定された端部と反対側の端部は、保持壁９２の保持用の穴へ挿通されている。ロッド４０には、被駆動部材５０が摩擦係合している。錘２０には貫通穴２２が形成されている。この際、貫通穴２２は、圧電素子３０に印加する駆動電圧信号の２次高調波と、振動系１１の２次共振周波数とが一致するような位置および形状で形成される。 （もっと読む）

【課題】騒音の発生を抑制することが可能な振動型リニアアクチュエータとそれを有する光学機器を有する光学機器を提供すること
【解決手段】電気−機械エネルギー変換作用により、振動が励起される振動部材２０８と、振動部材と圧接する接触部材２０７と、を相対移動させる振動型リニアアクチュエータは、振動部材に電気信号を与えるフレキシブル配線板２０９を有し、振動部材は、電気機械変換素子２０８ａが取り付けられる平面部２０８ｃから突出する取付部２０８ｅを有する弾性部材２０８ｂを有し、フレキシブル配線板は弾性部材の取付部２０８ｅに固定される第１の固定部２０９ｃを有する。 （もっと読む）

【課題】摺動部の磨耗の進行状況を検出可能な圧電アクチュエーターを得る。
【解決手段】圧電素子と、圧電素子に積層される振動板３１と、振動板３１から被駆動部に当接するように突出して圧電素子の振動を被駆動部に伝達する摺動部４１と、を含む圧電アクチュエーターであって、摺動部４１は、被駆動部に当接する第１部材１１と、少なくとも振動板３１側を除く三方を第１部材１１に囲まれた部材であり、かつ、第１部材１１とは異なる材質からなる部材である第２部材２１と、を含んで構成されていることを特徴とする圧電アクチュエーター。 （もっと読む）

【課題】複雑な可動フレーム構造を必要とせず簡便に作製でき、耐久性に優れたミラー駆動装置及びミラー駆動方法を提供する。
【解決手段】ミラー部12の両側に一対のアクチュエータ部30が連結され、さらにその外側の両側に一対のアクチュエータ部20が連結される。外側アクチュエータ部20の一端は固定部22として支持部材に固定され、他端は内側アクチュエータ部30に連結される。各アクチュエータ部20,30は、圧電体の変形によって屈曲変位を行うものであり、それぞれ対応する駆動電圧供給部28,38から駆動電圧が印加される。一方の駆動電圧供給部（例えば28）から、対応するアクチュエータ部（例えば20）に対して共振を励起する周波数の駆動電圧が供給され、これと同時に他方の駆動電圧供給部（例えば38）から、他のアクチュエータ部（例えば30）に非共振でミラー部12を傾ける駆動電圧を供給する。 （もっと読む）

【課題】組み立て容易性が良好な超音波モータを得る。
【解決手段】楕円振動が励起される積層圧電素子40と、前記楕円振動を駆動源として回転駆動されるロータ機構部10と、積層圧電素子40をロータ機構部10に圧接させる押圧機構部20と、フレーム30と、フレーム30のうち積層圧電素子40に対向する面に設けられ、振動子40をその厚み方向においてフレーム30と共に挟持する挟持部51ｓ1−1〜4および51ｓ2−1〜4と、を超音波モータに具備させ、前記フレーム30及び前記挟持部51ｓ1−1〜4および51ｓ2−1〜4のうち少なくとも一方は、積層圧電素子40の厚み方向について弾性力を有し、前記挟持部51ｓ1−1〜4および51ｓ2−1〜4は、フレーム30と積層圧電素子40とに対して圧接している。 （もっと読む）

【課題】 永久磁石により、振動体と接触部との間に所望の加圧力を与える場合、所望の加圧力を得るためには、コストが増大する課題があった。
【解決手段】 本発明の駆動装置は、ガイド部材５の案内方向に垂直な面内において、前記ガイド部材５から永久磁石７までの距離よりも前記ガイド部材５から前記振動体９までの距離のほうが短く、前記永久磁石７と磁性体８との間の吸引力が、前記ガイド部材５の軸周りに保持部材６を回転させる力として働き、前記回転させる力により前記振動体９は前記接触部材１０に加圧されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】設計自由度及び製造／組立の容易性を向上させた超音波モータを提供すること。
【解決手段】分極部を備え、該分極部に所定の交流電圧が印加されることで縦振動と捻れ振動とが同時に励起され、端面に楕円振動が生じる振動子40を具備する超音波モータを次のように構成する。すなわち、振動子40の端面における楕円振動を駆動源として回転駆動される摺動板13と、摺動板13を振動子40に対して押圧するバネ14と、前記柱状振動体の所定部位に対して係合する係合凸部30a,30bを備え、且つ、前記係合凸部30a,30bによる振動子40との係合部位とバネ14と共に振動子40を挟持して、振動子40と摺動板13とを圧接させる枠部30と、を前記超音波モータに具備させる。 （もっと読む）

【課題】小型で効率的な交互送り振動アクチュエータを提供する。
【解決手段】移動対象に当接する先端部、および、移動対象に近接離間する縦方向に伸縮する電気機械変換素子をそれぞれ有する一対の縦駆動部と、一対の縦駆動部を縦方向に交差する横方向に並べて弾性的に支持する支持部と、一対の縦駆動部の間に挟まれ、横方向に伸縮する電気機械変換素子を有する横駆動部とを備える振動アクチュエータが提供される。横駆動部は、支持部により支持される一対の縦駆動部の支持位置に対して前記先端部と反対側で一対の縦駆動部に挟まれてもよい。 （もっと読む）

【課題】積層型圧電素子を弾性体に固定するための冶具や装置を用いなくても、積層型圧電素子を弾性体に容易に固定できる超音波モータを提供すること。
【解決手段】溝部１４を有する棒状弾性体１２と、棒状弾性体１２に両端を保持され、変位方向と棒状弾性体１２の長手方向との間の角度において鋭角を有した状態で正面１２ａと裏面１２ｂとに配設され、さらに棒状弾性体１２の長手方向において正対して見て互いに反対方向に傾斜して棒状弾性体１２に配置される一対の積層型圧電素子１８と、棒状弾性体１２の先端部に接合されている摩擦子２６と、を具備し、一対の積層型圧電素子１８にそれぞれ位相の異なる交番電圧を印加することにより、縦振動と捻れ振動とを同時に励起し、摩擦子２６に超音波楕円運動を励起させる超音波モータ１であって、超音波モータ１は、積層型圧電素子１８を棒状弾性体１２に密着固定するために積層型圧電素子１８を与圧する与圧機構６０を具備する。 （もっと読む）

【課題】電極層の種類を減らす。
【解決手段】超音波アクチュエータ２は、圧電体層４１，４１，…とプラス及びマイナス電極層５，６とを交互に積層させて構成されたアクチュエータ本体４を備えている。プラス電極層５は、第１〜第４プラス分割電極５１Ａ〜５４Ｂと、第１及び第３プラス分割電極５１Ａ，５３Ａを接続するプラス対角接続電極５５Ａとを有する。第２及び第４プラス分割電極５２Ｂ，５４Ｂは、プラス電極層５の外部で接続されている。マイナス電極層６は、第１〜第４マイナス分割電極６１Ａ〜６４Ｂと、第１及び第３マイナス分割電極６１Ａ，６３Ａを接続するマイナス対角接続電極６５Ａとを有する。第２及び第４マイナス分割電極６２Ｂ，６４Ｂは、マイナス電極層６の外部で接続されている。 （もっと読む）

【課題】圧電体の電極に対する改良された電気配線を有する圧電アクチュエータを提供する。
【解決手段】本発明の圧電アクチュエータ１０は、互いに対向する第１の面１１Ｆと第２の面１１Ｒとを有する凹部１１が形成されたベース部材１０と、前記凹部１１内に配置された際に、前記第１の面１１Ｆと前記第２の面１１Ｒのそれぞれに対向する第３の面３１Ｆと第４の面３１Ｒとを有する駆動部材と、前記第３の面３１Ｆと前記第１の面１１Ｆとの間に配置された第１の圧電体３３Ｆ、及び前記第４の面３１Ｒと前記第２の面１１Ｒとの間に配置された第２の圧電体３３Ｒと、前記ベース部材１０の表面に形成され、前記第１の圧電体３３Ｆと前記第２の圧電体３３Ｒとを電気接続する導電材料４０と、前記第１の圧電体３３Ｆ及び前記第２の圧電体３３Ｒへの電力供給を行う電源と前記導電材料４０とを接続する電気配線４５と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡単且つ安価な構造で、振動振幅の大きな弾性表面波を効率よく励振できる超音波発生装置、及び超音波発生方法を提供する。
【解決手段】圧電基板１５と、圧電基板１５の表面に設けられたすだれ状電極（１４ａ，１４ｂ）と、すだれ状電極（１４ａ，１４ｂ）を構成する第１の櫛形電極１４ａと第２の櫛形電極１４ｂとの間にパルス状の駆動電圧を印加するスイッチング素子１３と、スイッチング素子１３の制御電極にパルス電圧を出力するゲート駆動回路１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】被駆動体に搭載物を追加しても、超音波振動子にかかる押圧力を一定に保つことを可能とし、これにより動作が安定した超音波モータ駆動装置（ＸＹステージ）を提供する。
【解決手段】縦振動と屈曲振動を同時に励起して楕円振動を発生させ、楕円振動を駆動力として被駆動体を駆動する、複数の超音波振動子を有する超音波モータ駆動装置であって、被駆動体と対向するように超音波振動子に設けられ、被駆動体と接触し被駆動体を平面内の任意の方向に駆動させる駆動子と、被駆動体と超音波振動子との間に作用する押圧力を検出する押圧力検出部と、押圧力検出部による検出結果に基づき押圧力を所定の押圧力に調整する押圧力調整部と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】高効率な駆動を実現することができる圧電駆動装置、圧電駆動方法および電子機器を提供する。
【解決手段】駆動信号の周波数として縦振動と反共振動の共振周波数を有する圧電素子を備える圧電アクチュエーターを以下のように駆動制御する。先ず、駆動開始時は初期駆動制御モードで駆動を制御し、その後、被駆動体のローターが所定量駆動するまでは定常駆動制御モードに切り替えて駆動を制御する。定常駆動制御モードでは、ローターの振動状態に基づいて周波数制御される駆動信号を圧電素子に印加し、かつ、定常駆動制御モードでの駆動を終了する際にその時の駆動信号の周波数を次回駆動時の駆動周波数ｆ０として記憶する。初期駆動制御モードでは、初めに圧電素子に駆動周波数ｆ０よりも低い固定周波数ｆｒ１の駆動信号を印加し、その後、予め設定されたタイミングで、駆動周波数ｆ０に固定された駆動信号を印加する。 （もっと読む）

【課題】 慣性駆動方式による圧電素子を用いた駆動装置において、駆動部材に与圧力が加わることによって駆動部材に接続されている圧電素子もその与圧力により破壊すること、及び圧電素子を保護する機構による駆動装置の複雑化、且つ大型化である。
【解決手段】 円筒形状の圧電素子であって中空穴を有する駆動部材と、前記駆動部材の一端に固定された保持部材と、前記駆動部材の他端に取り付けられた２つの係合部材と、前記駆動部材の中空穴を貫通する移動部材から構成され、前記係合部材にて前記移動部材を挟み込んだ状態で前記駆動部材を伸張させた後に前記駆動部材を急速に収縮させることによって、前記駆動部材の移動方向と反対方向に前記移動部材を移動させる。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子と振動部材との位置関係を高精度に維持しながら効率良く所定の作業を進めることができる圧電モーターの製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電アクチュエーター１０と、回転軸と、圧電アクチュエーター１０を回転軸に向かって付勢する付勢手段とを具備する圧電モーターの製造方法であって、突起部２１を中心として左右両側の対称な位置で振動部材の前記突起部側の一端部に位置決め用の測定パターン２４，２４Ａを形成する工程と、前記圧電素子における前記測定パターンに対応する位置を切欠いて窓部２５，２５Ａを形成する工程と、前記振動部材に前記圧電素子を載置するとともに前記窓部の外縁を規定する辺２８，２９，３８，３９と前記測定パターンとの相対的な位置関係が所定の位置関係になるように前記圧電素子の前記振動部材に対する相対的な位置関係を調整する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】電源から電源電圧を供給した直後の、駆動回路が駆動する前における第１活性部の充電による駆動回路の故障を防止する。
【解決手段】駆動回路６１は、第１給電系統７０と接続されており、制御基板６０から駆動電位が付与される。コンデンサ８１の一端側である中間電極４４ａは、第１給電系統７０から分岐した第２給電系統７１と接続されており、制御基板６０から直接駆動電位が付与される。コンデンサ８２の一端側である下部電極４３は、グランドに接続されている。コンデンサ８１、８２それぞれの他端側である上部電極４５は、駆動回路６１の出力端子に接続されており、駆動電位とグランド電位のうち、いずれか一方の電位が選択的に付与される。第２給電系統７１において、コンデンサ８１に対して直列的に抵抗器８３が接続されているとともに、コンデンサ８１に対して並列的にコンデンサ８４が接続されている。 （もっと読む）

【課題】複数の超音波振動子を備えた超音波モータであって、前記複数の超音波振動子を同時駆動する際の駆動安定性及び駆動自由度を向上させた超音波モータを提供すること。
【解決手段】超音波モータを次のように構成する。すなわち、複数の圧電素子2と、圧電素子2の一方面に設けられた少なくとも一つ以上の駆動子4と、圧電素子2の他方面において縦振動及び屈曲振動の共通の節または節近傍に対応する位置に配設されたホルダ部材10と、ホルダ部材10と係合することで被接触部材13と駆動子4との接触面に対して平行を為す方向における圧電素子2の位置を規制する位置規制部材6と、位置規制部材6に設けられ、ホルダ部材10と係合することで圧電素子2を保持する振動子保持部材16と、圧電素子2の個数と同数の位置規制部材6が設けられたベース部材8と、駆動子4により任意の方向へ摩擦駆動される被接触部材13と、を具備する超音波モータ。 （もっと読む）