【課題】不要な振動モードが生じることを抑制できるＭＥＭＳ振動子を提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳ振動子１００は、基板１０と、基板１０の上方に配置された第１電極２０と、第１電極２０との間に空隙を有した状態で配置され、第１電極２０との間の静電力によって基板１０の厚み方向に振動可能となる梁部３２、および梁部３２を支持する支持部３４を有する第２電極と、を含み、第２電極３０は、梁部３２を複数有する。 （もっと読む）

【課題】 コンパクト化、低コスト化、エネルギー消費量の低減を図るとともに、振動エネルギーを大きくして質量の大きい搬送物でも搬送可能とした超音波リニアモータおよび駆動・案内装置を提供すること。
【解決手段】 振動梁３に進行波を励起し、その振動によりスライダ１１を駆動する超音波リニアモータにおいて、前記振動梁３の一方の端部に２組以上、他方の端部に一方の端部と同数組以上の駆動素子９１１、９１２、９２１、９２２が付加されていて、略共振する駆動源１、２が構成されていることを特徴とする超音波リニアモータおよび前記超音波リニアモータを用いた駆動・案内装置である。 （もっと読む）

【課題】低コスト化、高精度化を図ることが可能となる振動型駆動装置とその移動体の製造方法を提供する。
【解決手段】電気−機械エネルギー変換素子への交流電圧の印加により振動子に楕円運動を励振させ、振動子と接触する移動体を相対移動させる振動型駆動装置であって、
移動体は、本環部と複数の板ばね部とを備え、
複数の各板ばね部は、該板ばね部と本環部を接合する固定部と、振動子と接触する接触部と、接触部と固定部を連結する連結部と、を有し、
接触部に振動子が接触して連結部が変形した際に、板ばね部に所定のバネ剛性を持たせるように、本環部と接触部との間に空間部を設けて複数の板ばね部が固定部を介して本環部と接合される。 （もっと読む）

【課題】複雑な可動フレーム構造を必要とせず簡便に作製でき、耐久性に優れたミラー駆動装置及びミラー駆動方法を提供する。
【解決手段】ミラー部12の両側に一対のアクチュエータ部30が連結され、さらにその外側の両側に一対のアクチュエータ部20が連結される。外側アクチュエータ部20の一端は固定部22として支持部材に固定され、他端は内側アクチュエータ部30に連結される。各アクチュエータ部20,30は、圧電体の変形によって屈曲変位を行うものであり、それぞれ対応する駆動電圧供給部28,38から駆動電圧が印加される。一方の駆動電圧供給部（例えば28）から、対応するアクチュエータ部（例えば20）に対して共振を励起する周波数の駆動電圧が供給され、これと同時に他方の駆動電圧供給部（例えば38）から、他のアクチュエータ部（例えば30）に非共振でミラー部12を傾ける駆動電圧を供給する。 （もっと読む）

【課題】組み立て容易性が良好な超音波モータを得る。
【解決手段】楕円振動が励起される積層圧電素子40と、前記楕円振動を駆動源として回転駆動されるロータ機構部10と、積層圧電素子40をロータ機構部10に圧接させる押圧機構部20と、フレーム30と、フレーム30のうち積層圧電素子40に対向する面に設けられ、振動子40をその厚み方向においてフレーム30と共に挟持する挟持部51ｓ1−1〜4および51ｓ2−1〜4と、を超音波モータに具備させ、前記フレーム30及び前記挟持部51ｓ1−1〜4および51ｓ2−1〜4のうち少なくとも一方は、積層圧電素子40の厚み方向について弾性力を有し、前記挟持部51ｓ1−1〜4および51ｓ2−1〜4は、フレーム30と積層圧電素子40とに対して圧接している。 （もっと読む）

【課題】本発明は、１つの電気機械変換素子で複数の移動体を異なる方向に移動させることができるものであって、小型化を図ることができるとともに、低コストで製造できるアクチュエータの提供を目的とする。
【解決手段】軸方向共振モードの共振周波数が異なるように形成された３つの軸を有する１つの圧電素子２と、その圧電素子２の軸夫々の軸方向に延ばされるようにして連結された３つの駆動ロッド３１〜３３と、駆動ロッド３１〜３３に摩擦係合した３つの移動体４〜６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、圧電素子と駆動軸と保持部材との組み付けに際して移動体が摺動する駆動軸の外周面に接着剤が付着した場合でも、移動体が駆動軸の外周面を円滑に摺動できるアクチュエータの提供を目的とする。
【解決手段】電気機械変換素子である圧電素子２と、駆動軸３と、駆動軸３の外周面を摺動する移動体５と、前記駆動軸３を接着剤を介して保持した保持部材５とを備えている。駆動軸３の外周面には、保持部材５と駆動軸３を組み付ける際に、それらを組み付ける組付治具１１０に設けられた第１押圧部材１１５よって押圧される被押圧部６が設けられている。被押圧部６は、少なくとも第１押圧部材１１５と当接する当接部６１及びその当接部近傍６２が、その被押圧部６が設けられた駆動軸３の第４外周面３４から窪まされるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】突起部を含めた振動体を、一つの部材から一体的に、低コストで信頼性高く形成することが可能となる振動体とその製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも、バネ性を有する突起部が形成された振動体と電気−機械エネルギ変換素子とを有する振動子を備え、前記振動子の楕円運動によって前記突起部と接触する被駆動体を駆動する振動波駆動装置であって、
前記突起部が、前記振動体の長手方向と幅方向とにおける一部の領域に、複数のスリット又は切り欠きを介して、一つの部材によって前記振動体と一体的に形成されている構成とする。 （もっと読む）

【課題】高トルクを発生させることができるモータ装置を提供すること。
【解決手段】回転子と、当該回転子を回転させるモータ本体と、回転子の外周の少なくとも一部に掛けられた接触部材と、回転子と接触部材との間を接触状態として接触部材を一定距離移動させると共に接触状態を解消した状態で接触部材を所定の位置に復帰させる駆動部と、を有するブレーキ装置と、を備える。 （もっと読む）

【課題】磁力を用いた加圧構造のリニア型超音波モータを構成するに当たり、加圧力の偏りが生じることを抑制することができ、出力性能の安定化と耐久性の向上を図ることが可能となる振動波駆動装置を提供する。
【解決手段】電気−機械エネルギー変換素子と接触部とを有する振動子と、接触部と加圧接触する被駆動体とを備え、
電気−機械エネルギー変換素子への印加によって接触部に楕円運動を生じさせ、接触部と加圧接触する被駆動体を前記振動子に対して相対移動させる振動波駆動装置であって、
被駆動体は、第一の磁力発生部を備えると共に、
振動子は、相対移動の方向と直交する方向において第一の磁力発生部の幅より狭い範囲に第二の磁力発生部を備え、
被駆動体の前記接触部との加圧接触が、第一の磁力発生部と第二の磁力発生部との間で発生する磁気吸引力により行われる構成を有する。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の伸縮を駆動部材に伝え、その駆動部材に所定の摩擦力で係合している被駆動部材を圧電素子の伸張時と縮小時との速度差を利用して移動させる超音波リニアアクチュエータの駆動回路において、低コストに、起動時などにおける騒音を抑える。
【解決手段】前記の速度差を生じさせる擬似鋸歯状の変位振動を、駆動周波数およびデューティを適宜設定することで、Ｈブリッジ回路によるパルスで作成できるようにし、さらにそのパルスを、起動時、停止時、間欠駆動時には、微細パルスで構成して、パルス密度を徐々に増減させることで、実質的に前記パルスの幅を変化し、圧電素子への充放電電流を抑えて騒音を低減する。これによって、駆動回路を、前記Ｈブリッジ回路などの従来通りの圧電素子の充放電回路と、その制御回路とによって構成することができ、制御回路が作成するパルスの態様を変化するだけで、低コストに実現することができる。 （もっと読む）

【課題】小型で効率的な交互送り振動アクチュエータを提供する。
【解決手段】移動対象に当接する先端部、および、移動対象に近接離間する縦方向に伸縮する電気機械変換素子をそれぞれ有する一対の縦駆動部と、一対の縦駆動部を縦方向に交差する横方向に並べて弾性的に支持する支持部と、一対の縦駆動部の間に挟まれ、横方向に伸縮する電気機械変換素子を有する横駆動部とを備える振動アクチュエータが提供される。横駆動部は、支持部により支持される一対の縦駆動部の支持位置に対して前記先端部と反対側で一対の縦駆動部に挟まれてもよい。 （もっと読む）

本発明は、ドーム状の線形圧電モーターに関するもので、ドーム状の圧電セラミックを通して向上した変位を提供する線形圧電モーターを提供するにおいて、ドーム状の線形圧電モーター（ＤＳＰＬＭ）は、両面に互いに異なる電極が印加されるように処理されたドーム状の圧電セラミックアクチュエーターと、前記ドーム状の上部頂点に垂直に固定される棒状の振動軸と、円筒状に前記振動軸に嵌められ、前記振動軸に沿って線形運動をするように構成される移動体と、前記ドーム状の下側エッジ部に固定されるセラミック拘束体とを含むことによって、平面状の圧電セラミックによる厚さ方向に対する振動変位より振動軸方向に対する振動変位をより向上させる発明に関するものである。 （もっと読む）

【課題】 慣性駆動方式による圧電素子を用いた駆動装置において、駆動部材に与圧力が加わることによって駆動部材に接続されている圧電素子もその与圧力により破壊すること、及び圧電素子を保護する機構による駆動装置の複雑化、且つ大型化である。
【解決手段】 円筒形状の圧電素子であって中空穴を有する駆動部材と、前記駆動部材の一端に固定された保持部材と、前記駆動部材の他端に取り付けられた２つの係合部材と、前記駆動部材の中空穴を貫通する移動部材から構成され、前記係合部材にて前記移動部材を挟み込んだ状態で前記駆動部材を伸張させた後に前記駆動部材を急速に収縮させることによって、前記駆動部材の移動方向と反対方向に前記移動部材を移動させる。 （もっと読む）

【課題】移動部材の位置を正確に検出可能でありながら、構成が簡単な駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置１は、電気機械変換素子３と、電気機械変換素子３によって軸方向に振動させられる軸状の振動部材４と、振動部材４に摩擦係合する移動部材５と、移動部材５の位置を検出するセンサ１４を実装した回路基板６と、回路基板６に固定され、振動部材４を支持する支持部２０およびセンサを位置決めする位置決め部２７を備える支持部材７とを有する。 （もっと読む）

【課題】電極とグランド端子との電気的接触を回避できるとともに、電気接続の作業性の向上を図ることができるフレキシブルプリント基板を備える振動型アクチュエータの提供を目的とする。
【解決手段】
フレキシブルプリント基板６を介して駆動素子に電圧を印加することにより、駆動素子を保持する駆動子が加振され、駆動子の振動によって移動子が移動される振動型アクチュエータが開示される。フレキシブルプリント基板６の電極端子部６ａは、駆動素子１０，１２，１４，１６に対して電圧を印加するための電極３０，３２，３４，３６と、駆動子を接地するためのグランド端子４０とを有する。駆動子の振動波形Ｌの第１の節部Ａに電極３０，３２，３４，３６が配置され、振動波形Ｌの第２の節部Ｂにグランド端子４０が配置される。 （もっと読む）

【課題】 超音波モータを長時間、共振駆動させた場合において、積層型圧電素子の外部電極が破断する。
【解決手段】 圧電体と内部電極を交互に積層した圧電素子を備えたランジュバン型の２個の超音波振動子と、前記２個の超音波振動子を所定の角度で保持する保持部材と、略Ｖ字型の形状を有し、その頂点部で被駆動体と接し、その端部で前記２個の超音波振動子と接続された接触部材と、を備えた超音波モータであって、該圧電素子の側面には複数の四角形状或いは長方形状の外部電極が形成されており、該外部電極における４つの端部の対角線が交わる複数の点及び該圧電素子に形成された２本の円柱孔の軸が全て同一の仮想面上に含まれることがないこと。 （もっと読む）

【課題】 積層型圧電素子に均等且つ簡易に予圧できる超音波モータを提供すること。
【解決手段】 棒状弾性体１２と、棒状弾性体１２に両端を保持され、変位方向と棒状弾性体１２の長手方向との間の角度において鋭角を有した状態で正面１２ａと裏面１２ｂとに配設され、さらに棒状弾性体１２の長手方向において正対して見て互いに反対方向に傾斜して棒状弾性体１２に配置される一対の積層型圧電素子１８と、棒状弾性体１２の先端部に接合されている摩擦子２６と、を具備し、一対の積層型圧電素子１８にそれぞれ位相の異なる交番電圧を印加することにより、縦振動と捻れ振動とを同時に励起し、摩擦子２６に超音波楕円運動を励起させる超音波モータ１であって、超音波モータ１は、積層型圧電素子１８を棒状弾性体１２に密着固定するために、積層型圧電素子１８を積層型圧電素子１８の積層方向に沿って同時に且つ均等に予圧する予圧機構８０を具備する。 （もっと読む）

【課題】スイッチング信号の周波数帯域を拡大すること。
【解決手段】駆動装置は、ピエゾ素子４２及び伝達軸４４が連結した連結体と、伝達軸４４の長手方向に沿って摺動可能な状態で直接的又は間接的に伝達軸４４が係合したケース５０と、ピエゾ素子４２の駆動に応じてケース５０に対して連結体と共に変位するレンズホルダ３１（レンズＬ１、Ｌ２）と、を備える。伝達軸４４は比重２．１以下の材料で構成されている。より好ましくは、伝達軸４４は、弾性率２０ＧＰａ以上の材料で構成される。更に好ましくは、伝達軸４４は、弾性率３０ＧＰａ以上の材料で構成される。 （もっと読む）

【課題】振動波モータの起動時間の短縮及び被駆動体の滑らかな制御を可能としたモータ駆動装置、制御方法、及びプログラムを提供する。
【解決手段】振動波モータ駆動回路のＣＰＵ５は、移動体4を予め定められた速度で駆動するために設定された変更後の２相の交流電圧の位相差が予め定められた位相差の下限値よりも小さくなる場合は、２相の交流電圧の周波数を上げる。また、変更後の２相の交流電圧の位相差が予め定められた位相差の上限値よりも大きくなる場合は、２相の交流電圧の周波数を下げる。位相差を変更することにより、第１の曲げ振動モードの振動の大きさと第２の曲げ振動モードの振動の大きさとの比を変化させて移動体4の移動速度を予め定められた速度とする。 （もっと読む）