【課題】 水晶振動子を構成する一対の振動腕部に幅狭の溝部を複数形成することによって、電界効率の向上を図り、小型化及び等価抵抗値の低減化を実現する音叉型水晶振動子を提供することである。
【解決手段】 ケーシングに固定される基部２２と、この基部２２から平行して延びる一対の振動腕部２３，２４と、この振動腕部２３，２４に形成される励振電極部２９，３０とを備えた音叉型水晶振動子２１において、前記振動腕部２３，２４の表裏面に、長手方向に延びる複数の溝部２５〜２８を振動腕部２３，２４の厚みに対して１／２未満の深さで幅狭に形成した。 （もっと読む）

【課題】 基部へ伝わる振動を制御して、振動漏れを有効に防止し、安定した振動特性を実現できる圧電振動片と、圧電振動片を用いた圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】 一対の振動腕３４，３５と、この一対の振動腕が接続されるとともに、パッケージ２８に接合される固定領域５２ａ，５２ｂを有する基部５１と、を備える圧電振動片３２であって、一対の振動腕３４，３５は、それぞれ長手方向に沿って延びる長溝３６，３７を有し、基部５１は、固定領域５２ａ，５２ｂとは反対側を、幅方向の中心を通る長手方向に沿った中心軸Ｙ１周辺に厚みを残すように凹状とすることで形成された肉薄部６４，６５を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 基部へ伝わる振動を制御して、振動漏れを有効に防止し、安定した振動特性を実現できる圧電振動片と、圧電振動片を用いた圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】 一対の振動腕３４，３５と、この一対の振動腕が接続されるとともに、パッケージに接合される固定領域５２ａ，５２ｂを有する基部５１と、を備える圧電振動片３２であって、一対の振動腕３４，３５は、それぞれ長手方向に沿って延びる長溝３６，３７を有し、基部５１は、一対の振動腕３４，３５の各長溝３６，３７が幅方向の中央付近Ｏ１まで延伸して形成された延伸部３６ａ，３７ａを有しており、一対の振動腕の一方の長溝３６が延伸して形成された延伸部３６ａと、一対の振動腕の他方の長溝３７が延伸して形成された延伸部３７ａとが、中央付近Ｏ１を通る長手方向の仮想線Ｙ１を中心に略対称となっていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 小型、低消費電力であり、かつ周波数温度特性が良好な水晶発振器を提供すること。
【解決手段】 水晶振動子及び発振回路からなる発振部として第１の発振部１Ａと第２の発振部１Ｂとの２つを用い、これら発振部１Ａ、１Ｂからの発振周波数の差を取り出しその周波数差の周波数信号を出力する例えばヘテロダイン検波器２を設ける。第１の発振部１Ａの共振周波数は、第２の発振部１Ｂの共振周波数とは異なり、かつその周波数温度特性は、第２の発振部１Ｂの周波数温度特性と揃っている。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動子の周波数を高精度に合わせ込みをすることができる、圧電振動子の周波数調整方法を提供する。
【解決手段】 音叉腕２、３と、音叉腕２、３の一方の端部を接続する音叉基部４とを備え、音叉腕２、３の中心線を挟んだ中央部であり厚さ方向に対向する上下面に溝部５、６を形成した音叉腕が屈曲振動を行う圧電振動子１において、溝部５、６の溝底部電極７ｂ、８ｂをレーザ光を照射して除去することにより周波数を調整する。 （もっと読む）

【課題】 ＣＩ値の上昇を抑制しつつ小型化が可能な圧電振動片と、このような圧電振動片を利用した圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】 圧電材料により形成された基部５１と、前記基部と一体に形成され、互いに平行に延びる複数の振動腕３５，３６と前記各振動腕の表裏面にその長さ方向に沿って形成され駆動用電極が設けられた長溝３３，３３−１，３４，３４−１とを備えており、前記各振動腕の表裏面の少なくとも一方の長溝３３−１，３４−１を先端側に延長するとともに、他方の延長されない長溝３３，３４を有する面には、この長溝よりも先端側に周波数調整用の金属被覆部６３が設けられている。 （もっと読む）

圧電薄膜共振器は、主表面を有する基板上で形成される。圧電薄膜共振器は細長いスタックを有する。細長いスタックは圧電材料の層を有し、圧電材料の層は、圧電材料の層の第１表面に堆積した第１導電層と、圧電材料の層の第２表面に堆積した第２導電層との間に位置する。細長いスタックは、基板の主表面に関して略垂直に位置する。第１および第２導電層は、圧電材料の層に略同時に単一の加工ステップによって配置される。基板の主表面は水平面内に存在する。また、圧電薄膜共振器のスタックは略垂直の表面である。形成された共振器構造は、共振器またはフィルタのいずれかとして使用されて良い。
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【目的】本発明はＣＩ及び容量比γを小さく維持した特に高周波用の水晶振動子を提供する。
【構成】振動領域としての厚みの小さい中央部及び前記中央部を包囲する厚みの大きい外周部からなる水晶片と、前記振動領域の両主面に対向して設けられた一対の励振電極と、前記一対の励振電極から延出した引出電極とを有する水晶振動子において、前記引出電極は前記励振電極の外周に少なくとも半周以上にわたって接続して両主面間で互いに重畳する対向部を有し、前記対向部となる水晶片の厚みは前記振動領域の厚みより大きい肉厚部とする。 （もっと読む）

【課題】 小型に形成しても、圧電振動片の振動漏れを防止することにより、製品のばらつきを抑え、優れた振動特性を備えた圧電デバイス、及び圧電デバイスを利用した携帯電話装置、電子機器を提供すること。
【解決手段】 基部５１から平行に延びる一対の振動腕３４，３５を有し、この一対の振動腕のそれぞれに長手方向に沿って延びる長溝９０，９０が形成されている圧電振動片３２と、基部５１の一部を接着剤４３を介して支持固定するようにして、圧電振動片３２を内部に収容するパッケージ３６とを備える圧電デバイスであって、基部５１は、厚みが均一であって、接着剤４３により固定された箇所と振動腕３４，３５との間の領域に孔６０が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 設計通りの所定の位置に凹部を形成することが可能な水晶片の製造方法を提供することであり、さらには、小型で振動特性に優れた溝付きの水晶振動子を達成し、且つ振動脚の所定の位置に正確に凹部を形成することで発信周波数のばらつきが少ない信頼性の高い水晶振動子の製造方法を提供すること。
【解決手段】 基部とこの基部から突出して形成される複数の振動脚と、これら複数の振動脚の各々に凹部が形成されている水晶振動子の製造方法であって、水晶基板の平面上に、水晶振動子の外形形状と複数の微細な開口部がパターン化されている耐エッチング性を有するマスク層を形成する工程と、水晶基板をエッチングして水晶振動子の外形形状を形成しながら、同時に前記複数の微細な開口部がパターン化されている領域に凹部を形成する工程と、マスク層を除去し水晶片を形成する工程と、水晶片の凹部と側面部とに電極を形成する工程とを有している。 （もっと読む）

【課題】 音叉型圧電振動片に衝撃が加わっても、音叉型圧電振動片を実装するパッケージと振動腕が衝突するのを防止する音叉型圧電振動片および音叉型圧電振動片の実装方法を提供する。
【解決手段】 音叉型圧電振動片１０は、複数の振動腕１４を有する音叉型圧電振動片本体１６と、前記音叉型圧電振動片本体１６の長手方向と交わる方向に沿って形成され、前記圧電振動片本体１６に接続する短辺部１８と、前記短辺部１８から前記音叉型圧電振動片本体１６の長手方向に沿って形成し、衝撃緩和部２２を有する長辺部２０とを備えた構成である。 （もっと読む）

【課題】 基本波モード振動の周波数で高い周波数安定性（時間精度）を有し、等価直列抵抗Ｒ_１が小さく、品質係数Ｑ値が高い超小型の音叉形状の屈曲水晶振動子と、それを備えて構成される水晶ユニットと、出力信号が高安定の発振周波数を有する水晶発振器を提供することにある。
【解決手段】 音叉腕と音叉基部とを具えて構成され、音叉腕の上下面の少なくとも一面に溝を設け、溝と音叉腕の側面部に電極を配置し、それらの少なくとも１個の電極がアース電極で、水晶振動子は３電極端子を備えて構成される音叉形状の屈曲水晶振動子である。更に、前記屈曲水晶振動子は水晶ユニットを構成し、かつ、基本波モード振動のフイガーオブメリットが２次高調波モード振動のフイガーオブメリットより大きく、更に、増幅回路の増幅率と帰還回路の帰還率との関係により、出力信号が基本波モード振動の発振周波数である水晶発振器が高精度で実現できる。 （もっと読む）

【課題】基本波モード振動の発振周波数が出力され、その出力信号が高い周波数安定性を有すると共に、等価直列抵抗Ｒ_１が小さく、品質係数Ｑ値が高い超小型の音叉形状の屈曲水晶振動子を具えて構成された水晶発振器とその製造方法を提供する事にある。
【解決手段】音叉腕と音叉基部とを具えて構成され、前記音叉腕の上下面に溝若しくは貫通穴を設け、これらの溝若しくは貫通穴の側面部に電極を配置し、その電極に対抗して音叉腕の側面に極性の異なる電極を配置した音叉形状の屈曲水晶振動子を具えていて、かつ、基本波モード振動のフイガーオブメリットが２次高調波モード振動のフイガーオブメリットより大きく、更に、増幅回路と帰還回路から構成される水晶発振回路の増幅回路の増幅率と帰還回路の帰還率との関係により、出力信号が基本波モードの周波数で、高い周波数安定性を有する水晶発振器が実現できる。 （もっと読む）

【課題】ＣＩ値を小さく抑制しながら、ＣＩ値のバラツキが小さく、安定したドライブ特性が得られる音叉型振動片および圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】基部１１と、この基部１１から突出して形成されている複数の振動腕部１２、１３とを備え、前記振動腕部１２、１３の表面部及び裏面部に溝部１４、１５を形成してなる音叉型振動片である。前記振動腕部１２、１３に形成された溝部１４、１５の基部側の端部位置を、振動腕部の長さをＬとした時、音叉股部の付け根１６の位置を基準（基準線Ｘ）として、基準に対して−０．１Ｌ〜＋０．１５Ｌ（振動腕部先端側を＋として）の位置に設定した。 （もっと読む）

【課題】 振動片の発振周波数の合わせ込みが容易で、振動片の目標周波数調整への分解能が向上する振動片、これを有する振動子、この振動子を備える発振器及び電子機器を提供すること。
【解決手段】 基部１１０と、前記基部から突出して形成されている振動腕部１２１，１２２と、前記振動腕部の表面部１０１及び／又は裏面部１０２に形成される溝部１２３，１２４と、前記振動腕部に形成される微調用電極部１２８ａ、１２９ａと、を備える振動片であって、前記微調用電極部は、前記振動腕部の右側面部及び左側面部、並びに表面部又は裏面部に配置され、前記表面部では前記微調用電極部が一定の間隔を設けて複数配置されていると共に、前記裏面部では、前記表面部で前記微調用電極部が形成されている部分に対応する部分を回避して前記微調用電極部が複数配置されていることで振動片を構成する。 （もっと読む）

【課題】 基本波のＣＩ値を低く抑えながら、ＣＩ値比を一定に保持すると共に、基部を短くしても、振動片、素子間のＣＩ値バラツキを小さくし、並びに振動片全体も小型化できる振動片、これを有する振動子、この振動子を備える発振器及び電子機器を提供すること。
【解決手段】 基部１１０と、この基部から突出して形成されている振動腕部１２１，１２２と、前記振動腕部の表面部及び／又は裏面部に溝部１２３，１２４が形成されている振動片であって、前記基部に切り込み部１２６が形成されていると共に、前記溝部の一部に電極部１２３ａ，１２４ａが形成され、前記振動腕部の側面の一部にも電極部１２３ｂ，１２４ｂが形成されていることで振動片１００を構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、基部を短くしてもＣＩ値の振動片素子間のバラツキが安定すると共に振動片全体も小型化できる振動片、これを有する振動子、この振動子を備える発振器及び電子機器を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、基部と、この基部から突出して形成されている振動腕部と、を有する振動片であって、前記振動腕部の表面部及び／又は裏面部に溝部が形成されていると共に、前記基部に切り込み部が形成されていることを特徴とする振動片により、達成される。その構成によれば、前記基部に切り込み部が形成されているので、振動腕部が振動する際に、垂直方向成分を有した振動が生じても、振動腕部の振動が基部側へ漏れるのを、この切り込み部で緩和することができる。したがって、基部を小型化しながら、ＣＩ値の振動片素子間のバラツキを安定化させることができる。 （もっと読む）