【課題】相手材に付着している帯電塵埃を除電しながら粘着体により確実に除去することができる除電機能付きの除塵クリーナーの提供。
【解決手段】相手材Ａへの接触面に粘着層１５を有する粘着体１２としての粘着ローラー１３と、該粘着ローラー１３を着脱自在に支持する支持体２２と、該支持体２２に連結される把持体３２とで少なくとも構成され、支持体２２には、該支持体２２もしくは把持体３２に内蔵させた静電気除去装置が生成するイオンを粘着体１２としての粘着ローラー１３方向へと放出する除電ノズル２５を具備させた。 （もっと読む）

【課題】 被処理物に付着した塵埃の除電除塵操作を短時間で効率的に行うことができ、かつ取り除いた塵埃の漏出による作業環境の汚染を防止できる除電除塵装置を提供する。
【解決手段】 この除電除塵装置は、空気流入口１６が設けられた基台ボックス１１と、基台ボックス１１に支持コラム２１を介して取り付けられる処理ヘッド２３とを有しており、空気流入口１６と処理ヘッド２３との間には処理空間２４が形成される。装置の正面開口部２９と左右の側面開口部２８には、空気噴出パイプ３３の噴出口からの空気により処理空間２４を外部から遮断するエアーカーテンが形成される。処理空間２４内には、イオン発生器４２により生成されたイオン化空気が噴出されて、処理空間２４内に配置される被処理物にはイオン化空気が吹き付けられて被処理物の塵埃が除去される。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、例えば、半導体、フラットパネルディスプレイ、プリント基板などの製造装置や検査装置など、異物を嫌う基板処理装置のクリーニングシート及びクリーニング方法を提供する。
【解決手段】 クリーニング層が、電石（エレクトレット）化された物質からなる、又は／及びクリーニング層の表面電位が、０．１〜１０ＫＶの範囲であるクリーニングシートである。 （もっと読む）