【課題】 被処理物の表面に形成されている酸化膜を、従来よりも効率的に除去する。
【解決手段】 この発明に係るクリーニング装置１０によれば、チャンバ１２内のプラズマ発光室３８で、水素プラズマが生成される。そして、この水素プラズマに含まれる水素ラジカルのみが、遮蔽板３６をすり抜けて、処理室４０に導かれる。処理室４０においては、支持台１４上に設置された被処理物１８，１８，…が、抵抗加熱ヒータ２０によって加熱されおり、この被処理物１８，１８，…の表面に形成されている酸化膜と、水素ラジカルと、が互いに反応し合うことによって、当該酸化膜が還元され、除去される。さらに、被処理物１８，１８，…には、支持台１４および連結棒２２を介して、超音波振動子２４から振動が付与される。これによって、被処理物１８，１８，…の隅々にまで水素ラジカルが行き届き易くなると共に、当該水素ラジカルと酸化膜との反応が活性化される。 （もっと読む）

【課題】オペレータの作業を軽減し、しかもクリンルームに塵等が侵入するのを予防できる遮断搬入装置を、低コストで提供する。
【解決手段】遮断搬入装置４は、クリンルーム１の室外に外側導入口５を開きクリンルーム１の室内に内側導入口６を開いた導入ハウジング７と、外側導入口５を開閉する外側シャッタ８と、内側導入口６を開閉する内側シャッタ９と、被搬入物２を着脱自在に吊持できる吊持手段１０が先端に設けられた作動アーム１１と、被搬入物２を外側導入口５の近傍まで１個ずつ供給する搬送手段１２とを備える。遮断搬入装置４によれば、クリンルーム１の室外で函体３に収納された被搬入物２を、函体３から吊上げクリンルーム１の室内へ搬入できる。 （もっと読む）

静電チャック（ESC）の洗浄方法であって、ESCのセラミック表面を誘電性流体に浸す工程と、ESCのセラミック表面を導電性表面から離して、誘電性流体がESCのセラミック表面と導電性表面との間に満たされる工程と、誘電性流体を超音波攪拌すると同時にESCに電圧を印加する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】凹凸のある複雑形状の部品であっても、確実に摺接して除去することができる洗浄装置を提供することを目的とする。
【解決手段】被洗浄部品Ｗを洗浄槽内に出入れ可能に構成され、洗浄槽内において被洗浄部品表面に付着した粒子を除去する洗浄装置において、保持部材２０に一部を固定されることにより他の部位を自由に変形動作し得るように構成された柔軟材料から成る摺接部材２１と、摺接部材を振動させる気流発生手段と、摺接部材を被洗浄部品の表面適所に接触させる相対姿勢変更手段２５と、を有する。 （もっと読む）

【課題】２種類の洗浄媒体、すなわち、トナーを遊離させる性質を有する洗浄媒体、トナーを吸着する性質を有する洗浄媒体を用いて、洗浄媒体の回収容易性と細部への洗浄能力を向上させるとともに、洗浄作用を持続させて高い洗浄度を実現する粉体の乾式洗浄方法及びこの方法を実施する装置を提供する。
【解決手段】洗浄対象物１と洗浄媒体１４、１５との相対移動により前記洗浄対象物表面に付着した粉体１６を除去する粉体の乾式洗浄方法において、非帯電性の第１の洗浄媒体１４と前記粉体１６を吸着可能な第２の洗浄媒体１５を同時に用いて前記洗浄対象物１を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】 シンプルな構成で、カード表面に付着した塵埃を清掃するカードクリーニング装置を提供する。
【解決手段】 粘性と弾性を持った帯電防止ローラを回転させ、このローラよりも粘性の強い粘着ベルトを粘性による摩擦力で駆動する基本ユニットをカード搬送方向に対して水平及び垂直に配置して使うカードクリーニング装置において、水平配置の粘着ベルトの一部と垂直配置の粘着ベルトを辺に含む多角形の密閉空間を形成すること、カードが上下から前記ローラで挟み込まれながら前記密閉空間内を搬送されること、粘着ベルトの動きによって前記密閉空間に空気の気流を生成し、この気流を利用して前記密閉空間内に浮遊する塵埃を水平配置と垂直配置の粘着ベルトに吸着させるようにした。 （もっと読む）

【課題】 段ボールシートおよび紙粉や紙片の静電気を除去することにより、段ボールへの異物混入や印刷品質の向上を図ると同時に、製函工程のシート供給部やスロッタ部でのトラブルの発生が押さえられる。
【解決手段】 図１のように、電位センサ３で測定した電位を制御装置６でシート１と逆の極性に帯電させて中和すべく、樹脂製のブラシロール２に対する摩擦板４の押さえ強さをアクチュエータ５で自動調整する。 （もっと読む）

【課題】基板から異物を効果的に除去できる異物除去装置，処理システム，及び，異物除去方法を提供する。
【解決手段】基板Ｗを支持する支持部１４０と，基板Ｗから異物を除去する異物除去器１４１と，基板Ｗに対して異物検査を行う異物検査機構によって得られた異物の位置情報に基づいて，異物に対する異物除去器１４１の位置を調節する制御を行う制御部１５０とを備えた。異物除去器１４１としては，異物を静電気力によって補集する捕集部材を用いた。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造でもって粉状物に付着した細菌を確実に殺菌することができる殺菌装置を提供すること。
【解決手段】 気体流によって移動する粉状物８を帯電するための帯電領域１４と、粉状物８に帯電した電荷を除電するための除電領域１８とが設けられ、帯電領域１４には電荷付与手段１６が設けられ、除電領域１８には除電手段２０が設けられている雑菌装置。帯電領域１４においては、電荷付与手段１６によって粉状物８が帯電され、除電領域１８においては、除電手段２０によって粉状物８に帯電した電荷が除電され、粉状物８への帯電及び除電が１回又は複数回行われ、帯電及び除電による電位変動によって粉状物８に付着した細菌が殺菌される。帯電領域１４及び除電領域１８は搬送経路１０に沿って設けられ、殺菌処理すべき粉状物８は帯電領域１４及び除電領域１８を通して搬送される。 （もっと読む）

誘電体ハウジング内に配置された少なくとも１つの電極に無線周波数高電圧を印加する一方、プロセスガスが誘電体ハウジングの入口から電極を通過して出口に流れるようにさせることによって、霧化された表面処理剤を組み込んだ非平衡状態大気圧プラズマが発生する。印加される電圧は、電極から少なくとも誘電体ハウジングの出口まで延びる非平衡状態大気圧プラズマを発生するのに十分高い。電極は、誘電体ハウジング内で表面処理剤用の霧化器と組み合わせてもよい。電極は、放射性材料を含んでもよい。処理される表面は、表面がプラズマに接触するようにプラズマの出口に隣接して配置され、このプラズマの出口に対して移動することができる。
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