【課題】有機ＥＬ表示装置の蒸着工程における蒸着マスクの洗浄蒸着装置とインラインで行い、蒸着マスクの使用回数を増大させる。
【解決手段】蒸着を終わったマスク２１０はクリーニング準備室２０１に移動し、その後、大気圧であるクリーニング室２０２に移動する。クリーニング室２０２において、マスクにレーザを照射し、これによって生じた衝撃波によってマスク２１０に付着した堆積物を剥離する。剥離した堆積物はクリーナ２０８によって除去される。その後、マスク２１０はフラッシング室２０３に移動し、クリーニング室２０２で除去しきれなかった剥離物をマスク２１０から除去する。その後マスク２１０はマスク排出室２０４に移動し、次の蒸着を行う。 （もっと読む）

【課題】被処理物の全面からの静電気と埃等の異物の除去と、除去された異物の被処理物への再付着の防止とが有利に実現可能な除電除塵技術を提供する。
【解決手段】イオンを気体と共に被処理物に吹き付ける複数の吹付ヘッド１３を、互いに所定距離を隔てて離間して、配設すると共に、それら吹付ヘッド１３同士の間を該被処理物１０が通過するように、該吹付ヘッド１３と該被処理物１０のうちの少なくとも何れか一方を移動させる移動手段１２を設け、更に、該吹付ヘッド１３同士の離間方向内方で、且つ該吹付ヘッド１３の移動方向の前方側又は該被処理物の移動方向の後方側に向かって、該吹付ヘッド１３から前記気体が噴射されるように構成した。 （もっと読む）

【課題】流水管路内の夾雑物を、より確実に除去できるようにする。
【解決手段】ブロック配水管の下流側末端に流速計２０とインラインフィルタ装置１０とを配置する。インラインフィルタ装置１０は、夾雑物を捕捉する機能を有するフィルタ５と、そのフィルタ５を夾んで上流側と下流側に位置する開閉自在のドレン排水管９及びフィルタ逆洗用排水管８とを備える。洗管の際には、流速計２０の示す数値に基づいて前記両排水管８，９を交互に開放して流水管路Ｐ内の流速を上昇させ、その流速の上昇により前記夾雑物の除去を促進する。また、ブロック配水管の途中に設けられた開閉弁の操作により、夾雑物を除去しようとする流路を特定し、他の流路を閉じることによりさらに流速を高めることができる。また、インラインフィルタ装置１０のフィルタ５が、その洗管位置の下流側に位置するので、夾雑物を下流側の流水管路Ｐに流さないように捕捉することができる。 （もっと読む）

【課題】処理部中の塵埃を除去でき、装置の小型化、処理のスループットの向上及び歩留まりの向上を図れるようにすること。
【解決手段】搬送手段によって搬送されるウエハを処理部に搬送して処理を施す基板搬送処理において、ウエハＷの処理前に、搬送手段であるメインアームＡ２によって搬送される、塵埃を捕集可能な状態の捕集プレートＰＬを塗布処理ユニット３２に搬入して、塗布処理ユニット内に発生する塵埃を捕集プレートに付着して捕集する。塵埃を捕集した捕集プレートを洗浄ユニット８０内に搬入し、この洗浄ユニット内において捕集した塵埃を洗浄により除去し、塵埃が除去された捕集プレートを、塵埃を捕集可能な状態例えばイオナイザ２００によって帯電して再生する。塵埃を捕集可能な状態に再生された捕集プレートを、メインアームによって処理前の処理部に搬入して、この処理部内に発生する塵埃を捕集プレートに付着して捕集する。 （もっと読む）

【課題】洗浄装置の効率を極大化することができる、共振を利用し、より微細な汚染源を除去し得る超音波洗浄装置を提供する。
【解決手段】ガラス表面に付着された異物を除去するために、ブロワーからエアを受け、スロット状のエア噴射口を通じて前記ガラス表面にエアを噴射するエア供給部；前記エア供給部から噴射されるエアに超音波を発生させることで、前記噴射されるエアに振動を印加する超音波発生装置；前記振動を受けたエアが噴射されて前記ガラスに付着された異物を除去する際に、前記ガラスと異物間の静電気発生を防止するイオナイザ；及び前記エア供給部から噴射されたエアと前記エアにより除去された異物とを排出装置により吸いこみ、エア吸入口を通じて排出するエア吸入部；を含んでなる。 （もっと読む）

【課題】塵埃を除去することができる清掃装置を提供すること。
【解決手段】帯電粒子を含み揮発性を有する溶液を保持する保持部２と、保持部２に保持された溶液を出力する出力部６と、帯電粒子と逆極性の電位を有し、帯電粒子を引きつけて回収する回収部８とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】導電性基板表面に形成された絶縁膜表面に発生した静電気を容易に除去する。
【解決手段】基板処理装置１はプラス電荷及びマイナス電荷を有するガス５を発生させるためのイオン発生部３と、除電対象基板７を保持するための基板保持部９を備えている。除電対象基板７では導体又は半導体からなるベース基板７ａの上に絶縁膜７ｂが形成されている。ベース基板７ａにマイナス電位を与えるための電源部１１を備えている。除電処理前の絶縁膜７ｂの表面は静電気によるマイナス電荷１３によりマイナス帯電している。ベース基板７ａ表面近傍にはマイナス電荷１３によって逆極性のプラス電荷１５が誘起されている（（Ａ）参照）。除電処理時には電源部１１によりベース基板７ａにマイナス電位を与え、ベース基板７ａ表面近傍に誘起されているプラス電荷１５を打ち消した状態でイオン発生部３からのガス５に絶縁膜７ｂ表面を暴露する（（Ｂ）参照）。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板のブレイク時に発生したガラスカレットを確実に捕捉・除去することができるガラスカレットの除去装置、除去方法等を提供する。
【解決手段】ガラス基板８０の表裏両側からスクライブラインＬに臨む一対のカレット除去ユニット１０から成り、カレット除去ユニット１０は、弱粘着シート１１と、弱粘着シート１１の粘着面をガラス基板８０に押し当てる押当て位置と退避位置との間で移動自在な押圧部材３１と、押圧部材３１を移動させる移動手段３５と、弱粘着シート１１を巻き取るシート巻取り手段４２と、制御する制御手段７と、を備え、制御手段７は、ブレイク前、押圧部材３１を押当て位置に移動させ、ブレイクの後、押圧部材３１を退避位置に移動させてから弱粘着シート１１を巻き取らせるようにしている。 （もっと読む）

【課題】イオン化空気の吹き付け圧力が有する鋸波形の鈍化を防止することができる除塵器を提供する。
【解決手段】除塵器１００は、相互に対向して配置されている一対の電極１１０であって、当該電極間に発生させた放電により、当該電極間の空気をプラスまたはマイナスの極性のイオンにする一対の電極と、前記電極１１０と対向して配置され、イオン化された空気を放出するノズル１０２と、ノズルとは反対側において前記電極と対向して配置され、空気に脈流を生じさせた状態で前記電極に直接的に前記空気を送る電磁弁ユニット１２０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】複写機、ファクシミリ等の使用済みの製品ないしユニットを再使用したり、樹脂材料として利用したりするリサイクル工程において、それらユニットや部品に付着している微粒子粉体であるトナーを除去し清浄化する工程が必要である。洗浄における低エネルギー消費化や環境負荷低減のため乾式洗浄方法が重視されている。しかし、付着力の強いトナーに対してはこれまで洗浄能力が十分ではなかった。
【解決手段】固体の洗浄媒体、特に薄片状の洗浄媒体Ｍを用い、洗浄媒体Ｍを洗浄槽内に浮遊拡散させる洗浄媒体浮遊拡散手段としてのノズル２と、浮遊拡散している洗浄媒体Ｍを気流を用いて洗浄対象物Ｗに向けて加速する洗浄媒体加速手段としてのノズル６を多数配置する。ノズル２は噴出する方向を変化させることによって洗浄媒体の滞留をなくし、ノズル６は吹き出し方向を変化させることによって、洗浄対象物の洗浄ムラをなくす。 （もっと読む）