【課題】装置からの洗浄液および濯ぎ液の適切な排出を維持しつつ、従来技術で説明されている装置よりも小さい設置面積（すなわち、装置が占める床面積）を有する、モジュール式のリンス装置を提供する。
【解決手段】容器をリンス装置に通すようになっている少なくとも１つの円形のタレットをそれぞれ有する複数のリンスモジュールを有するリンス装置。タレットは、ほぼ水平な軸線を中心に回転するように配置されており、軸線は、重力の作用で洗浄液を容器から確実に排出するに十分な角度だけ水平からずらされている。容器は、容器の縦の軸線がタレットの回転軸線と平行になるように、円形のタレットの周囲を囲んで支持されることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】空気供給源の能力や高速除電するか否かなどに応じてより適した空気供給時間で除電、除塵を行うことができる除電除塵装置を提供する。
【解決手段】空気供給源からの空気を放電針の針先付近へ供給してイオンを除電除塵対象物へ吹き付ける空気供給手段と、空気供給手段による放電針の針先付近への空気の供給状態を第一状態と第一状態とは異なる第二状態との間で繰り返し制御する空気制御手段と、空気制御手段における１回当たりの第一状態の時間を変更する変更手段とを備え、第一状態は空気を供給する状態であり、第二状態は空気の供給を停止する状態である、又は、第一状態は空気を強く供給する状態であり、第二状態は空気を弱く供給する状態である。 （もっと読む）

【課題】イオン化された空気を間欠的に放出する動作を実行しつつ圧力異常時に所定の異常時処理を実行できる除電除塵装置を提供する。
【解決手段】放電針と、前記放電針に電圧を印加してイオンを発生させる電圧印加手段と、空気供給源からの空気を前記放電針の針先付近へ供給して前記イオンを除電除塵対象物へ吹き付ける空気供給流路部と、前記空気供給流路部を流れる空気流を間欠制御または強弱制御する空気流制御手段と、前記空気供給流路部内の空気の圧力であって前記空気流制御手段より上流側の空気の圧力を測定する圧力センサと、前記圧力センサで測定された圧力を監視し、圧力異常を検出すると所定の異常時処理を実行する異常処理制御手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ブラシの寿命を長くした洗浄装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗを保持する保持機構１０と、基板Ｗを洗浄可能な洗浄ブラシ２１とを備え、保持機構１０に保持された基板Ｗに洗浄ブラシ２１を当接させながら相対回転させて基板Ｗを洗浄するように構成された洗浄装置１において、洗浄ブラシ２１を洗浄するブラシ洗浄器５０を有し、このブラシ洗浄器５０は、洗浄ブラシ２１の表面電位を変化させて、洗浄ブラシ２１の表面電位および当該洗浄ブラシ２１に付着した異物の表面電位を互いに正負が同じ表面電位にすることにより、洗浄ブラシ２１から異物を分離して除去するようになっている。 （もっと読む）

容器、例えば特にガラス管から残留物質および／または粒子を除去する方法および装置（５０）は、前記管（５）内の静電力を調整する手段（４０）と、前記残留物質を除去する手段（６０）とを備える。前記除去手段（６０）は、ノズル（２）によって前記容器（５）内に噴射する、調節した速度の流体噴流を用いることができる一方で、前記静電力を調整する手段（４０）は、調節した抵抗率を有する導電性流体（８）を前記容器（５）に流入させる要素（１）を有することができる。このようにして、前記流体（８）、例えばイオン化空気は、前記残留物質（３０）と前記容器の表面との間の静電荷を、従って静電力を減少させおよび／または消去するために作用し、流体の噴流または吸引手段による除去に役立つ。
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【課題】静電気によって、物体の表面に付着した付着物を、容易に除去することを目的とする。
【解決手段】静電気によって、物体の表面に付着した付着物にイオンエアーをブローしながら、物体の被付着面側に、付着物の付着面の帯電と同極性の高電圧を印加した電極を近接して、もしくは接触して配置する。あるいは＋−の高電圧を交互に印加する電極を、物体の被付着面側に近接して、もしくは接触して配置する。 （もっと読む）

【課題】シート積層体の表裏面をシート同士の間から異物が生じることを抑制できる清掃装置および清掃方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る清掃装置１０は、複数枚のシートが積層されてなるシート材１の表裏面を清掃する清掃装置であり、シート材１の表裏面の異物を清掃する上側清掃部材３ａおよび下側清掃部材３ｂと、シート材１を片持ちにて挟持する上側挟持部材２ａおよび下側挟持部材２ｂと、上側挟持部材２ａおよび下側挟持部材２ｂが挟持するシート材１の挟持面に対し略平行な方向へ、シート材１の表裏面に沿って気流を発生させる吸引ノズル５とを備える。 （もっと読む）

【課題】異物の位置、大きさを正確に捉え、前記異物を的確かつ容易に除去することができる異物除去装置および異物除去方法を提供することを目的とする。
【解決手段】一端２７ａ側にＡＦＭ探針２８を有し、他端２７ｂ側にピエゾ素子２５を有するカンチレバー２７を備え、前記ピエゾ素子２５に電圧を印加することにより前記カンチレバー２７を動かして前記ＡＦＭ探針２８を走査させる異物除去装置１１であって、前記ＡＦＭ探針２８と試料３５の表面３５ｃとの間の距離をフィードバック制御しながら、前記ＡＦＭ探針２８で表面３５ｃを走査して、表面３５ｃ上に存在する異物の位置、形状および大きさを把握した後に、前記ＡＦＭ探針２８を前記異物に接触させて動かすことにより、前記試料３５の表面３５ｃから前記異物を除去する異物除去装置１１を用いることによって、上記課題を解決できる。 （もっと読む）

【課題】露光前のウェハの裏面全面を効率よく洗浄する。
【解決手段】処理容器１１０の一の側面には、搬送機構１０１の搬送アーム１２０に保持されたウェハＷを搬入出させる搬入出口１１１が形成されている。処理容器１１０内には、搬送アーム１２０に保持されたウェハＷの裏面の付着物を静電気によって捕集するために帯電可能な帯電部材１３０と、当該ウェハＷの裏面に気体を噴射できる気体噴射ノズル１４０が設けられている。処理容器１１０の底面であって、帯電部材１３０の周囲には、処理容器１１０内の雰囲気を排気する排気口１５０が形成されている。処理容器１１０内であって、搬入出口１１１側の内側面には、ウェハＷの裏面の付着物を検査する検査機構１６０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】被除塵体に付着した塵埃を確実に除去することのできる除塵装置及び除塵方法を提供すること。
【解決手段】外周面が接着力を有するピックアップローラ１２と、このピックアップローラ１２に接着した塵埃を除去する転着ローラ１３と、当該転着ローラ１３を介してピックアップローラ１２を回転させる駆動手段１５と、ピックアップローラ１２の両側に配置された第１及び第２の除電手段１６、１７とを備えて防塵装置１０が構成されている。被除塵体となるテーブルＴは第１の除電手段１６により除電された後にピックアップローラ１２により塵埃が除去され、その後に、第２の除電手段１７により更に除電される。 （もっと読む）