【課題】工具Ｔの交換作業と同時に工具振れ検出を行う場合において、工具の交換作業で発生する振動の影響を受けにくくした工具振れ検出方法を提供する。
【解決手段】工具Ｔを着脱自在に装着可能な少なくとも２つの加工主軸３６を備えた工作機械１０における工具振れ検出方法であって、１つの加工主軸３６において工具Ｔの交換作業を実施し、当該交換作業により発生する振動波形を検出する振動波形検出工程と、検出した前記振動波形に基づいて、振動が最も大きい周波数を特定する周波数特定工程と、特定した前記周波数よりも高い周波数域の周期を、工具Ｔの振れ検出を実施する際のスキャン時間として設定するスキャン時間設定工程と、１つの加工主軸３６において工具Ｔの交換作業を実施すると共に、他の１つの加工主軸３６を回転させながら、設定した前記スキャン時間により工具Ｔの振れ検出を実施する工具振れ検出工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】超微小球状プローブの製造と、製造された超微小球状プローブの品質評価と、を同一の加工装置上で行うことができる超微小球状プローブ加工装置を提供する。
【解決手段】超微小球状プローブ加工装置は、電気信号監視制御ユニット１と、加工テーブル２と、加工テーブル２に移動可能に配置される上、電気信号監視制御ユニット１に電気的に接続される三軸移動プラットフォーム３と、三軸移動プラットフォーム３に移動可能に配置され、ワーク８を挟持するのに使用される着脱自在ホルダー４と、加工テーブル２に配置される上、電気信号監視制御ユニット１に電気的に接続され、放電加工によってワーク８に尖端を有する円錐形の電極工具を形成するのに使用されるワイヤ放電加工ユニット５と、放電加工ユニット６と、光学測定ユニット７とを備える。 （もっと読む）

【課題】効率的に工具の振れ測定位置を設定することができる振れ測定位置設定方法を提供すること。
【解決手段】振れ測定装置２０は、測定範囲ＤＢ３２により、複数の工具Ｔのそれぞれにおける振れセンサ２１の振れ測定値が要件値となる第１の測定位置から、この振れ測定値が振れセンサ２１の測定限界値となる第２の測定位置までの範囲を、この複数の工具Ｔの取付位置からの距離に対する振れ測定可能範囲Ｄ_ｍとして予め記憶する。また、振れ測定装置２０は、距離センサ２２により測定された、工具Ｔの取付位置から先端までの距離と、測定範囲ＤＢ３２に基づいて、振れセンサ２１の工具Ｔの振れ測定可能範囲Ｄ_ｍを算出し、算出された振れ測定可能範囲Ｄ_ｍに基づいて、振れセンサ２１の振れ測定位置を設定する。 （もっと読む）

【課題】 スキップ信号が読み込まれない場合であっても、工具の移動を確実に停止させることができる工具長測定方法及び工具測定装置を提供する。
【解決手段】 工具を４所定位置から所定方向に移動させて、前記工具４によりレーザー光６を遮光したときの、前記工具４の前記所定位置からの移動量に基づいて前記工具の長さを測定する工具長測定方法において、前記工具４がレーザー光６を遮光していることを示すスターティック信号Ｂが検知されたとき、前記工具４のレーザー装置本体５へ接近する方向への移動を停止する。 （もっと読む）

【課題】使用する環境の温度変化や、経時変化などの影響があっても適切に空間精度補正をすることができる産業機械の提供。
【解決手段】産業機械としての三次元測定機１は、ガイド部２１２と、コラム２２１とで構成され、Ｙ軸方向に沿って移動する移動機構と、コラム２２１の角度を検出する２軸角度計３２と、移動機構を制御する制御装置４とを備える。制御装置４は、角度誤差取得部４２と、パラメータ生成部４３と、補正部４４とを備える。角度誤差取得部４２は、コラム２２１を移動させたときに２軸角度計３２にて検出される角度に基づいて、コラム２２１の位置に対するコラム２２１の角度誤差を取得する。パラメータ生成部４３は、角度誤差取得部４２にて取得されるコラム２２１の角度誤差をコラム２２１の位置で積分することで真直度補正パラメータを生成する。補正部４４は、パラメータ生成部４３にて生成される真直度補正パラメータに基づいて、移動機構の運動誤差を補正する。 （もっと読む）

【課題】より簡易に工作機械の基準位置に含まれる回転軸の軸中心を検出することができる工作機械の基準位置検出装置および基準位置検出方法を提供することを目的とする。
【解決手段】検出域に直交する検出方向がテーブルの回転軸に対して垂直になるようにテーブル１２，１３に設置された軸中心検出用センサ４０と、テーブル１２，１３を回転軸における複数の位相に位置決めする位置決め手段５２と、検出体２３を軸中心検出用センサ４０に接近させ、軸中心検出用センサ４０が検出域４４において検出する検出体２３の位置情報を取得する位置情報取得手段５３と、検出された検出体２３の位置情報に基づいて回転軸の軸中心を検出する基準位置検出手段５４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 熱変位補正手段を設けることなく、熱変位にかかわらずに高精度にワーク支持手段と工具支持手段間の相対位置に移動制御が行えて、制御系が簡素にできる工作機械を提供する。
【解決手段】 ベッド３に１箇所で設置された低熱膨張係数の検出手段支持枠３０を設ける。この検出手段支持枠３０に、ワーク側の直線位置検出手段３１および工具側の直線位置検出手段３２のスケール３１ａ，３２ａを設ける。これらのセンサ３１，３２の読取りヘッド３１ｂ，３２ｂは、それぞれワーク支持手段２１および工具支持手段２２に取り付ける。Ｘ軸の移動制御手段４４は、ワーク側および工具側の両直線位置検出手段３１，３２の両方の検出値を用い、Ｘ軸移動機構１２をフルクローズドループ方式で制御する。 （もっと読む）

【課題】単純な構成で長時間の加工においても、切り込み深さの変化を少なくできる高精度な微細表面加工を可能とする。
【解決手段】被加工物６はＹ方向に移動するＹ軸ステージ３上に固定され、加工を行う工具５はＺ軸ステージ４に固定された工具ホルダに取り付けられる。また、被加工物６の上方に基準プレート１４の参照面１１を設置し、加えて工具５の後端部に参照面１１とのギャップを測定する変位検出センサ１２を設置する。加工機１の駆動によるモータ部や摺動部の発熱によって、加工する被加工物６と工具５との相対距離が変化するが、変位検出センサ１２により常に参照面１１を測定しながら加工する。これにより、ＮＣ制御器７により加工中のＺ軸方向の変化量を算出し、補正制御することで被加工物６を高精度に加工できる。 （もっと読む）

【課題】軸受に損傷を与えることなく相手部材に対して刃具を接近させる速度を早くすることを可能とすることにより、刃具の接触位置の検出時間を短縮することができる刃具接触検知装置を提供する。
【解決手段】予圧調整手段により軸受３０，４０の予圧Ｐを基準予圧Ｐ０より低くした状態において刃具８１を相手部材に接触させた場合の変位センサ２０１，２０２による検出値を用いて、軸受３０，４０の予圧Ｐを基準予圧Ｐ０とした場合に刃具８１が相手部材に接触した位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】ワークに対する加工の自由度、及びワークの形状に対する対応の自由度を向上できるクランプ装置を提供すること。
【解決手段】ワークを固定するクランプ装置１であって、ワークを囲繞可能な枠体１１と、枠体１１の内面に配置され、内方に向けて突出する複数の突起部１２３を有する第１把持部１２と、枠体１１における第１把持部１２が配置された内面に対向する内面に配置され内方に向けて突出する複数の突起部１３３を有する第２把持部１３と、第１把持部１２と第２把持部１３とを互いに接近する方向又は離間する方向に進退させる把持部駆動部１４と、を備える。 （もっと読む）