超微小球状プローブ加工装置
【課題】超微小球状プローブの製造と、製造された超微小球状プローブの品質評価と、を同一の加工装置上で行うことができる超微小球状プローブ加工装置を提供する。
【解決手段】超微小球状プローブ加工装置は、電気信号監視制御ユニット１と、加工テーブル２と、加工テーブル２に移動可能に配置される上、電気信号監視制御ユニット１に電気的に接続される三軸移動プラットフォーム３と、三軸移動プラットフォーム３に移動可能に配置され、ワーク８を挟持するのに使用される着脱自在ホルダー４と、加工テーブル２に配置される上、電気信号監視制御ユニット１に電気的に接続され、放電加工によってワーク８に尖端を有する円錐形の電極工具を形成するのに使用されるワイヤ放電加工ユニット５と、放電加工ユニット６と、光学測定ユニット７とを備える。
【解決手段】超微小球状プローブ加工装置は、電気信号監視制御ユニット１と、加工テーブル２と、加工テーブル２に移動可能に配置される上、電気信号監視制御ユニット１に電気的に接続される三軸移動プラットフォーム３と、三軸移動プラットフォーム３に移動可能に配置され、ワーク８を挟持するのに使用される着脱自在ホルダー４と、加工テーブル２に配置される上、電気信号監視制御ユニット１に電気的に接続され、放電加工によってワーク８に尖端を有する円錐形の電極工具を形成するのに使用されるワイヤ放電加工ユニット５と、放電加工ユニット６と、光学測定ユニット７とを備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超微小球状プローブ加工装置に関し、特に、超微小球状プローブの製造と、製造された超微小球状プローブの品質評価と、を同一の加工装置上で行うことができる超微小球状プローブ加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の小型三次元測定機（ＣＭＭ）は、微小ワークを測定することができなかった。特に、ＭＥＭＳ素子などの微小素子は、一般に、微細形状測定プローブの直径が０．２ｍｍ以上であるため、測定することができなかった。三次元測定機が微小ワークを正確に測定するには、より高精度の微小球状プローブを製造しなければならない。また、その微小球状プローブを測定ヘッドに取り付けられる必要がある。これにより、小型な三次元測定機は、微小素子を測定することができるようになる。従来の加工技術では、微小宝石球を垂直な工具の前端に接着することによって微小球状プローブが形成される。しかし、このような小球状プローブの直径は、約０．２ｍｍであり、さらに微小な球状プローブは、従来技術では、製造することができなかった。
【０００３】
そこで、本発明は、超微小球状プローブの製造と、製造された超微小球状プローブの品質評価と、を同一の加工装置上で行うことができる超微小球状プローブ加工装置を開示するものである。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の主な目的は、ワイヤ放電加工ユニット、放電加工ユニット及び光学測定ユニットにより、超微小球状プローブの製造と、製造された超微小球状プローブの品質評価と、を同一の加工装置上で行うことができる上、製造された超微小球状プローブを利用することにより、加工装置を三次元測定機として使用することができる超微小球状プローブ加工装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明の第１の形態によれば、電気信号監視制御ユニットと、加工テーブルと、前記加工テーブルに移動可能に配置される上、前記電気信号監視制御ユニットに電気的に接続される三軸移動プラットフォームと、前記三軸移動プラットフォームに移動可能に配置され、ワークを挟持するのに使用される着脱自在ホルダーと、前記加工テーブルに配置される上、前記電気信号監視制御ユニットに電気的に接続され、放電加工によって前記ワークに尖端を有する円錐形の電極工具を形成するのに使用されるワイヤ放電加工ユニットと、前記加工テーブルに配置される上、前記電気信号監視制御ユニットに電気的に接続され、放電加工によって前記ワイヤ放電加工ユニットが放電加工した後の前記ワークの尖端に微小球体を形成するのに使用される放電加工ユニットと、前記加工テーブルに配置される上、前記電気信号監視制御ユニットに電気的に接続され、前記放電加工ユニットが放電加工した後の前記工具を測定するのに使用される光学測定ユニットと、を備えることを特徴とする超微小球状プローブ加工装置が提供される。
【０００６】
また、放電加工ユニットと前記工具の尖端とは、１μｍ〜２μｍの隙間を保ち、放電量が１２０ｍＪ〜２００ｍＪであり、前記工具の尖端には、直径が５０μｍ〜８０μｍの微小な球体が形成されることが好ましい。
【０００７】
また、前記ワイヤ放電加工ユニットは、電源供給装置、ワイヤ送りローラ、加工ローラ、ワイヤ巻取ローラ及びワイヤを有し、前記電源供給装置は、前記電気信号監視制御ユニットに電気的に接続される上、前記ワイヤに電力を供給するトランジスタ制御付きコンデンサ放電回路及びコンデンサ放電回路を有し、前記ワイヤは、前記ワイヤ送りローラ、前記加工ローラの切欠及び前記ワイヤ巻取ローラを通過し、前記切欠を通過するワイヤは、前記ワークを放電加工するのに使用されることが好ましい。
【０００８】
また、前記ワイヤ放電加工ユニットは、電源供給装置、ワイヤ送りローラ、加工ローラ、ワイヤ巻取ローラ及びワイヤを有し、前記電源供給装置は、前記電気信号監視制御ユニットに電気的に接続される上、前記ワイヤに電力を供給するトランジスタ制御付きコンデンサ放電回路及びコンデンサ放電回路を有し、前記ワイヤは、前記ワイヤ送りローラ、前記加工ローラの切欠及び前記ワイヤ巻取ローラを通過し、前記切欠を通過するワイヤは、前記ワークを放電加工するのに使用されることが好ましい。
【０００９】
また、前記切欠を通過するワイヤと前記ワークの側面とは、１μｍ〜２μｍの隙間を保ち、放電量が１２０ｍＪ〜２００ｍＪであり、前記ワークには、尖端を有し、直径が４０μｍ〜５０μｍの円錐形の微細工具が形成されることが好ましい。
【００１０】
また、前記光学測定ユニットは、発光源、レンズ、電荷結合素子及び撮像ユニットを有し、前記発光源、前記レンズ及び前記電荷結合素子は、前記撮影ユニットに電気的に接続され、前記撮影ユニットは、前記電気信号監視制御ユニットに電気的に接続されることが好ましい。
【００１１】
また、前記三軸移動プラットフォームは、Ｘ軸水平移動ユニット、Ｙ軸水平移動ユニット及びＺ軸垂直移動ユニットを有し、前記Ｘ軸水平移動ユニットは、前記加工テーブルに移動可能に配置され、前記Ｙ軸水平移動ユニットは、前記Ｘ軸水平移動ユニットに移動可能に配置され、前記Ｚ軸垂直移動ユニットは、前記Ｙ軸水平移動ユニットに移動可能に配置され、前記着脱自在ホルダーは、前記Ｚ軸垂直移動ユニットに移動可能に配置されることが好ましい。
【００１２】
また、前記三軸移動プラットフォームは、Ｘ軸水平移動ユニット、Ｙ軸水平移動ユニット及びＺ軸垂直移動ユニットを有し、前記Ｘ軸水平移動ユニットは、前記加工テーブルに移動可能に配置され、前記Ｙ軸水平移動ユニットは、前記Ｘ軸水平移動ユニットに移動可能に配置され、前記Ｚ軸垂直移動ユニットは、前記Ｙ軸水平移動ユニットに移動可能に配置され、前記着脱自在ホルダーは、前記Ｚ軸垂直移動ユニットに移動可能に配置されることが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の超微小球状プローブ加工装置は、超微小球状プローブの製造と、製造された超微小球状プローブの品質評価と、を同一の加工装置上で行うことができる上、製造された超微小球状プローブを利用することにより、加工装置を三次元測定機として使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態による超微小球状プローブ加工装置を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態による超微小球状プローブ加工装置を示す側面図である。
【図３】工具がワイヤ放電加工ユニットによって放電加工されるときの状態を示す斜視図である。
【図４】ワイヤ放電加工ユニットによって放電加工された後の工具を示す側面図である。
【図５】工具が放電加工ユニットによって単発放電加工されるときの状態を示す側面図である。
【図６】放電加工ユニットによって放電加工された後の微細工具を示す側面図である。
【図７】光学測定ユニットが成形した球プローブを測定するときの状態を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、これによって本発明が限定されるものではない。
【００１６】
図１及び図２を参照する。図１及び図２に示すように、本発明の一実施形態による超微小球状プローブ加工装置は、電気信号監視制御ユニット１、加工テーブル２、三軸移動プラットフォーム３、着脱自在ホルダー４、ワイヤ放電加工ユニット５、放電加工ユニット６及び光学測定ユニット７を含む。電気信号監視制御ユニット１は、デスクトップ型パソコン、ノート型パソコン、コンピュータサーバなどである。三軸移動プラットフォーム３は、加工テーブル２に移動可能に配置される上、電気信号監視制御ユニット１に電気的に接続される。着脱自在ホルダー４は、三軸移動プラットフォーム３に移動可能に配置される。着脱自在ホルダー４は、工具８を挟持するのに使用される。電気信号監視制御ユニット１は、三軸移動プラットフォーム３を制御し、着脱自在ホルダー４が挟持するワーク８をＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動させる上、Ｚ軸上で回動させる。ワイヤ放電加工ユニット５は、加工テーブル２に配置される上、電気信号監視制御ユニット１に電気的に接続される。ワイヤ放電加工ユニット５は、放電エネルギーを供給し、放電加工により、微細工具８に尖端を有する円錐形の電極工具を形成する。電気信号監視制御ユニット１は、三軸移動プラットフォーム３を制御し、着脱自在ホルダー４が挟持する微細工具８をワイヤ放電加工ユニット５に接近させる。その後、電気信号監視制御ユニット１は、三軸移動プラットフォーム３及びワイヤ放電加工ユニット５を制御し、ワイヤ放電加工ユニット５によって工具８を放電加工する。放電加工ユニット６は、金属平板とすることができ、加工テーブル２に配置される上、電気信号監視制御ユニット１に電気的に接続される。放電加工ユニット６は、放電エネルギーを供給し、単発放電により、ワイヤ放電加工ユニット５が放電加工した後の微細工具８の尖端に微小球体を形成する。光学測定ユニット７は、白色光干渉計とすることができ、加工テーブル２に配置される上、電気信号監視制御ユニット１に電気的に接続される。光学測定ユニット７は、放電加工ユニット６が単発放電によって加工した微小球プローブ８を測定するのに使用される。電気信号監視制御ユニット１は、三軸移動プラットフォーム３を制御し、放電加工ユニット６が単発放電によって加工したワーク８を光学測定ユニット７の焦点位置まで移動させる。その後、電気信号監視制御ユニット１は、光学測定ユニット７を制御し、単発放電によって加工された微小球プローブ８を測定する。
【００１７】
上述の放電加工ユニット６が単発放電によって工具８の尖端を加工するとき、放電加工ユニット６と工具８の尖端とは、１μｍ〜２μｍの隙間を保ち、放電量は、１２０ｍＪ〜２００ｍＪとすることができる。単発放電による加工で、工具８の尖端が溶融し、冷却されて凝固した後、直径が５０μｍ〜８０μｍの微小球体が形成される。
【００１８】
上述のワイヤ放電加工ユニット５は、電源供給装置５１、ワイヤ送りローラ５２、加工ローラ５３、ワイヤ巻取ローラ５４及びワイヤ５５を含む。電源供給装置５１は、電気信号監視制御ユニット１に電気的に接続される。電源供給装置５１は、ワイヤ５５に電力を供給するトランジスタ制御付きコンデンサ放電回路５１１及びコンデンサ放電回路５１２を含む。ワイヤ５５は、銅ワイヤ又は他の導電性ワイヤとすることができる。ワイヤ５５の直径は、０．１ｍｍ〜０．２ｍｍとすることができる。ワイヤ５５は、ワイヤ送りローラ５２、加工ローラ５３の切欠５３１及びワイヤ巻取ローラ５４を通過する。切欠５３１を通過するワイヤ５５は、ワーク８を放電加工するのに使用される。また、電気信号監視制御ユニット１は、トランジスタ制御付きコンデンサ放電回路５１１とコンデンサ放電回路５１２との切換を行うことができる。トランジスタ制御付きコンデンサ放電回路５１１により、ワーク８を粗加工することができる。コンデンサ放電回路５１２は、工具８を仕上げ加工するために用いられる。電源供給装置５１は、ワイヤ巻取ローラ５４のモータ（図示せず）及びワイヤ送りローラ５２のモータ５２１を駆動させることができる。これにより、ワイヤ５５は、ワイヤ送りローラ５２から移動して加工ローラ５３を通過し、その後、ワイヤ巻取ローラ５４に巻き取られる。
【００１９】
上述のワイヤ放電加工ユニット５が工具８を放電加工するとき、切欠５３１を通過するワイヤ５５とワーク８の側面とは、１μｍ〜２μｍの隙間を保ちながら、放電量が１２０ｍＪ〜２００ｍＪとすることができる。放電加工により、工具８には、尖端を有し、直径が４０μｍ〜５０μｍの円錐形の電極工具が形成される。
【００２０】
上述の光学測定ユニット７は、発光源７２、レンズ７１、電荷結合素子７３及び撮像ユニット７４を含む。発光源７２、レンズ７１及び電荷結合素子７３は、撮影ユニット７４に電気的に接続される。また、撮影ユニット７４は、電気信号監視制御ユニット１に電気的に接続される。発光源７２は、工具８を照射する。工具８の画像は、レンズ７１及び電荷結合素子７３を介して撮像ユニット７４に取り込まれる。その後、工具８の画像は、撮像ユニット７４から電気信号監視制御ユニット１に伝送され、電気信号監視制御ユニット１によって工具８の測定及び品質評価が行われる。また、画像測定のみならず、より高精度な白光干渉測定器を装着も可能である。
【００２１】
上述の三軸移動プラットフォーム３は、Ｘ軸水平移動ユニット３１、Ｙ軸水平移動ユニット３２及びＺ軸垂直移動ユニット３３を含む。Ｘ軸水平移動ユニット３１は、加工テーブル２に移動可能に配置される。Ｙ軸水平移動ユニット３２は、Ｘ軸水平移動ユニット３１に移動可能に配置される。Ｚ軸垂直移動ユニット３３は、Ｙ軸水平移動ユニット３２に移動可能に配置される。着脱自在ホルダー４は、Ｚ軸垂直移動ユニット３３に移動可能に配置される。Ｘ軸水平移動ユニット３１とＹ軸水平移動ユニット３２とＺ軸垂直移動ユニット３３との間は、歯車及びラック、歯車及びチェーン、スライドブロック及びスライドレールなどの一般の機構により、移動可能に接合される。また、着脱自在ホルダー４は、Ｚ軸垂直移動ユニット３３上で工具８を回動させるために用いることができる。
【００２２】
図３を参照する。図３に示すように、本発明を使用するとき、まず、着脱自在ホルダー４を介してＺ軸垂直移動ユニット３３に工具８を移動可能に配置する。その後、電気信号監視制御ユニット１が三軸移動プラットフォーム３を制御し、Ｘ軸水平移動ユニット３１を加工テーブル２に対して水平移動させ、Ｙ軸水平移動ユニット３２をＸ軸水平移動ユニット３１に対して水平移動させ、Ｚ軸垂直移動ユニット３３をＹ軸水平移動ユニット３２に対して垂直移動させる。最後に、工具８の側面を加工ローラ５３の切欠５３１を通過するワイヤ５５に接近させる。その後、電気信号監視制御ユニット１がワイヤ放電加工ユニット５を制御し、工具８を放電加工すると同時に、Ｚ軸垂直移動ユニット３３を制御してワーク８を回動及び上下垂直移動させる。電気信号監視制御ユニット１は、ワイヤ放電加工ユニット５のトランジスタ制御付きコンデンサ放電回路５１１を制御し、まず、工具８を粗加工する。ワーク８を所望の寸法まで放電加工したとき、電気信号監視制御ユニット１は、ワイヤ放電加工ユニット５を制御してコンデンサ放電回路５１２に切り換え、工具８を仕上げ加工する。これにより、放電加工時間を短縮させることができる。図４〜図６に示すように、放電加工により、工具８に尖端を有する円錐形の電極工具が形成されたとき、電気信号監視制御ユニット１は、三軸移動プラットフォーム３を制御し、工具８を放電加工ユニット６の上方に移動させる。次に、電気信号監視制御ユニット１は、放電加工ユニット６を再び制御し、単発放電によって尖った工具８を加工することにより、工具８の尖端に微小球体が形成される。最後に、工具８は、超微小球状プローブに加工される。
【００２３】
次に、図７に示すように、工具８が単発放電によって超微小球状プローブに加工されたとき、電気信号監視制御ユニット１は、三軸移動プラットフォーム３を制御し、工具８を光学測定ユニット７の焦点位置まで移動させる。その後、電気信号監視制御ユニット１は、光学測定ユニット７を制御し、工具８の平面画像を撮影する。撮影が成功した後、電気信号制御監視ユニット１は、三軸移動プラットフォーム３のＺ軸垂直移動ユニット３３を再び制御し、工具８を所定の角度回転させる。その後、電気信号監視制御ユニット１は、光学測定ユニット７を再び制御し、球プローブ８が一周する間、平面画像を撮像し続ける。その後、電気信号監視制御ユニット１は、撮像した複数の平面画像を組み合わせて球プローブ８の立体画像を形成して記録し、球プローブ８の品質評価を行う。例えば、球プローブ８の各回転角度において、球プローブ８の円柱の軸心に対する球プローブ８の球体の、中心の振れ量が測定される。高品質の球プローブ８は、円柱の軸心が球プローブ８の球体の中心を通過する。測定器に関しては、画像測定のみならず、より高精度な白光干渉の測定器を取り替えられて、精密な球プローブの外観を測定ができる。
【００２４】
上述したことから分かるように、本発明の超微小球状プローブ加工装置により、超微小球状プローブの製造と、製造された超微小球状プローブの品質評価と、を同一の加工装置上で行うことができる。また、超微小球状プローブの品質評価が完了したとき、ユーザは、着脱自在ホルダー４を接触式測定ヘッド（図示せず）に変更し、超微小球状プローブを挟持することにより、加工装置を三次元測定機として使用することができる。測定過程において、上述の品質評価を行ったときに測定された振れ量を補償量として測定データを修正することにより、測定誤差を有効に低減し、測定精度を高めることができる。
【００２５】
上述したことから分かるように、本発明の超微小球状プローブ加工装置は、ワイヤ放電加工ユニット、放電加工ユニット及び光学測定ユニットにより、超微小球状プローブの製造と、製造された超微小球状プローブの品質評価と、を同一の加工装置上で行うことができる。さらに、製造された超微小球状プローブを利用することにより、加工装置を三次元測定機として使用することができる。
【００２６】
当該分野の技術を熟知するものが理解できるように、本発明の好適な実施形態を前述の通り開示したが、これらは決して本発明を限定するものではない。本発明の主旨と領域を逸脱しない範囲内で各種の変更や修正を加えることができる。従って、本発明の特許請求の範囲は、このような変更や修正を含めて広く解釈されるべきである。
【符号の説明】
【００２７】
１ 電気信号監視制御ユニット
２ 加工テーブル
３ 三軸移動プラットフォーム
４ 着脱自在ホルダー
５ ワイヤ放電加工ユニット
６ 放電加工ユニット
７ 光学測定ユニット
８ 工具
３１ Ｘ軸水平移動ユニット
３２ Ｙ軸水平移動ユニット
３３ Ｚ軸垂直移動ユニット
５１ 電源供給装置
５２ ワイヤ送りローラ
５３ 加工ローラ
５４ ワイヤ巻取ローラ
５５ ワイヤ
７１ レンズ
７２ 発光源
７３ 電荷結合素子
７４ 撮像ユニット
５１１ トランジスタ制御付きコンデンサ放電回路
５１２ コンデンサ放電回路
５２１ モータ
５３１ 切欠
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超微小球状プローブ加工装置に関し、特に、超微小球状プローブの製造と、製造された超微小球状プローブの品質評価と、を同一の加工装置上で行うことができる超微小球状プローブ加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の小型三次元測定機（ＣＭＭ）は、微小ワークを測定することができなかった。特に、ＭＥＭＳ素子などの微小素子は、一般に、微細形状測定プローブの直径が０．２ｍｍ以上であるため、測定することができなかった。三次元測定機が微小ワークを正確に測定するには、より高精度の微小球状プローブを製造しなければならない。また、その微小球状プローブを測定ヘッドに取り付けられる必要がある。これにより、小型な三次元測定機は、微小素子を測定することができるようになる。従来の加工技術では、微小宝石球を垂直な工具の前端に接着することによって微小球状プローブが形成される。しかし、このような小球状プローブの直径は、約０．２ｍｍであり、さらに微小な球状プローブは、従来技術では、製造することができなかった。
【０００３】
そこで、本発明は、超微小球状プローブの製造と、製造された超微小球状プローブの品質評価と、を同一の加工装置上で行うことができる超微小球状プローブ加工装置を開示するものである。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の主な目的は、ワイヤ放電加工ユニット、放電加工ユニット及び光学測定ユニットにより、超微小球状プローブの製造と、製造された超微小球状プローブの品質評価と、を同一の加工装置上で行うことができる上、製造された超微小球状プローブを利用することにより、加工装置を三次元測定機として使用することができる超微小球状プローブ加工装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明の第１の形態によれば、電気信号監視制御ユニットと、加工テーブルと、前記加工テーブルに移動可能に配置される上、前記電気信号監視制御ユニットに電気的に接続される三軸移動プラットフォームと、前記三軸移動プラットフォームに移動可能に配置され、ワークを挟持するのに使用される着脱自在ホルダーと、前記加工テーブルに配置される上、前記電気信号監視制御ユニットに電気的に接続され、放電加工によって前記ワークに尖端を有する円錐形の電極工具を形成するのに使用されるワイヤ放電加工ユニットと、前記加工テーブルに配置される上、前記電気信号監視制御ユニットに電気的に接続され、放電加工によって前記ワイヤ放電加工ユニットが放電加工した後の前記ワークの尖端に微小球体を形成するのに使用される放電加工ユニットと、前記加工テーブルに配置される上、前記電気信号監視制御ユニットに電気的に接続され、前記放電加工ユニットが放電加工した後の前記工具を測定するのに使用される光学測定ユニットと、を備えることを特徴とする超微小球状プローブ加工装置が提供される。
【０００６】
また、放電加工ユニットと前記工具の尖端とは、１μｍ〜２μｍの隙間を保ち、放電量が１２０ｍＪ〜２００ｍＪであり、前記工具の尖端には、直径が５０μｍ〜８０μｍの微小な球体が形成されることが好ましい。
【０００７】
また、前記ワイヤ放電加工ユニットは、電源供給装置、ワイヤ送りローラ、加工ローラ、ワイヤ巻取ローラ及びワイヤを有し、前記電源供給装置は、前記電気信号監視制御ユニットに電気的に接続される上、前記ワイヤに電力を供給するトランジスタ制御付きコンデンサ放電回路及びコンデンサ放電回路を有し、前記ワイヤは、前記ワイヤ送りローラ、前記加工ローラの切欠及び前記ワイヤ巻取ローラを通過し、前記切欠を通過するワイヤは、前記ワークを放電加工するのに使用されることが好ましい。
【０００８】
また、前記ワイヤ放電加工ユニットは、電源供給装置、ワイヤ送りローラ、加工ローラ、ワイヤ巻取ローラ及びワイヤを有し、前記電源供給装置は、前記電気信号監視制御ユニットに電気的に接続される上、前記ワイヤに電力を供給するトランジスタ制御付きコンデンサ放電回路及びコンデンサ放電回路を有し、前記ワイヤは、前記ワイヤ送りローラ、前記加工ローラの切欠及び前記ワイヤ巻取ローラを通過し、前記切欠を通過するワイヤは、前記ワークを放電加工するのに使用されることが好ましい。
【０００９】
また、前記切欠を通過するワイヤと前記ワークの側面とは、１μｍ〜２μｍの隙間を保ち、放電量が１２０ｍＪ〜２００ｍＪであり、前記ワークには、尖端を有し、直径が４０μｍ〜５０μｍの円錐形の微細工具が形成されることが好ましい。
【００１０】
また、前記光学測定ユニットは、発光源、レンズ、電荷結合素子及び撮像ユニットを有し、前記発光源、前記レンズ及び前記電荷結合素子は、前記撮影ユニットに電気的に接続され、前記撮影ユニットは、前記電気信号監視制御ユニットに電気的に接続されることが好ましい。
【００１１】
また、前記三軸移動プラットフォームは、Ｘ軸水平移動ユニット、Ｙ軸水平移動ユニット及びＺ軸垂直移動ユニットを有し、前記Ｘ軸水平移動ユニットは、前記加工テーブルに移動可能に配置され、前記Ｙ軸水平移動ユニットは、前記Ｘ軸水平移動ユニットに移動可能に配置され、前記Ｚ軸垂直移動ユニットは、前記Ｙ軸水平移動ユニットに移動可能に配置され、前記着脱自在ホルダーは、前記Ｚ軸垂直移動ユニットに移動可能に配置されることが好ましい。
【００１２】
また、前記三軸移動プラットフォームは、Ｘ軸水平移動ユニット、Ｙ軸水平移動ユニット及びＺ軸垂直移動ユニットを有し、前記Ｘ軸水平移動ユニットは、前記加工テーブルに移動可能に配置され、前記Ｙ軸水平移動ユニットは、前記Ｘ軸水平移動ユニットに移動可能に配置され、前記Ｚ軸垂直移動ユニットは、前記Ｙ軸水平移動ユニットに移動可能に配置され、前記着脱自在ホルダーは、前記Ｚ軸垂直移動ユニットに移動可能に配置されることが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の超微小球状プローブ加工装置は、超微小球状プローブの製造と、製造された超微小球状プローブの品質評価と、を同一の加工装置上で行うことができる上、製造された超微小球状プローブを利用することにより、加工装置を三次元測定機として使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態による超微小球状プローブ加工装置を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態による超微小球状プローブ加工装置を示す側面図である。
【図３】工具がワイヤ放電加工ユニットによって放電加工されるときの状態を示す斜視図である。
【図４】ワイヤ放電加工ユニットによって放電加工された後の工具を示す側面図である。
【図５】工具が放電加工ユニットによって単発放電加工されるときの状態を示す側面図である。
【図６】放電加工ユニットによって放電加工された後の微細工具を示す側面図である。
【図７】光学測定ユニットが成形した球プローブを測定するときの状態を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、これによって本発明が限定されるものではない。
【００１６】
図１及び図２を参照する。図１及び図２に示すように、本発明の一実施形態による超微小球状プローブ加工装置は、電気信号監視制御ユニット１、加工テーブル２、三軸移動プラットフォーム３、着脱自在ホルダー４、ワイヤ放電加工ユニット５、放電加工ユニット６及び光学測定ユニット７を含む。電気信号監視制御ユニット１は、デスクトップ型パソコン、ノート型パソコン、コンピュータサーバなどである。三軸移動プラットフォーム３は、加工テーブル２に移動可能に配置される上、電気信号監視制御ユニット１に電気的に接続される。着脱自在ホルダー４は、三軸移動プラットフォーム３に移動可能に配置される。着脱自在ホルダー４は、工具８を挟持するのに使用される。電気信号監視制御ユニット１は、三軸移動プラットフォーム３を制御し、着脱自在ホルダー４が挟持するワーク８をＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動させる上、Ｚ軸上で回動させる。ワイヤ放電加工ユニット５は、加工テーブル２に配置される上、電気信号監視制御ユニット１に電気的に接続される。ワイヤ放電加工ユニット５は、放電エネルギーを供給し、放電加工により、微細工具８に尖端を有する円錐形の電極工具を形成する。電気信号監視制御ユニット１は、三軸移動プラットフォーム３を制御し、着脱自在ホルダー４が挟持する微細工具８をワイヤ放電加工ユニット５に接近させる。その後、電気信号監視制御ユニット１は、三軸移動プラットフォーム３及びワイヤ放電加工ユニット５を制御し、ワイヤ放電加工ユニット５によって工具８を放電加工する。放電加工ユニット６は、金属平板とすることができ、加工テーブル２に配置される上、電気信号監視制御ユニット１に電気的に接続される。放電加工ユニット６は、放電エネルギーを供給し、単発放電により、ワイヤ放電加工ユニット５が放電加工した後の微細工具８の尖端に微小球体を形成する。光学測定ユニット７は、白色光干渉計とすることができ、加工テーブル２に配置される上、電気信号監視制御ユニット１に電気的に接続される。光学測定ユニット７は、放電加工ユニット６が単発放電によって加工した微小球プローブ８を測定するのに使用される。電気信号監視制御ユニット１は、三軸移動プラットフォーム３を制御し、放電加工ユニット６が単発放電によって加工したワーク８を光学測定ユニット７の焦点位置まで移動させる。その後、電気信号監視制御ユニット１は、光学測定ユニット７を制御し、単発放電によって加工された微小球プローブ８を測定する。
【００１７】
上述の放電加工ユニット６が単発放電によって工具８の尖端を加工するとき、放電加工ユニット６と工具８の尖端とは、１μｍ〜２μｍの隙間を保ち、放電量は、１２０ｍＪ〜２００ｍＪとすることができる。単発放電による加工で、工具８の尖端が溶融し、冷却されて凝固した後、直径が５０μｍ〜８０μｍの微小球体が形成される。
【００１８】
上述のワイヤ放電加工ユニット５は、電源供給装置５１、ワイヤ送りローラ５２、加工ローラ５３、ワイヤ巻取ローラ５４及びワイヤ５５を含む。電源供給装置５１は、電気信号監視制御ユニット１に電気的に接続される。電源供給装置５１は、ワイヤ５５に電力を供給するトランジスタ制御付きコンデンサ放電回路５１１及びコンデンサ放電回路５１２を含む。ワイヤ５５は、銅ワイヤ又は他の導電性ワイヤとすることができる。ワイヤ５５の直径は、０．１ｍｍ〜０．２ｍｍとすることができる。ワイヤ５５は、ワイヤ送りローラ５２、加工ローラ５３の切欠５３１及びワイヤ巻取ローラ５４を通過する。切欠５３１を通過するワイヤ５５は、ワーク８を放電加工するのに使用される。また、電気信号監視制御ユニット１は、トランジスタ制御付きコンデンサ放電回路５１１とコンデンサ放電回路５１２との切換を行うことができる。トランジスタ制御付きコンデンサ放電回路５１１により、ワーク８を粗加工することができる。コンデンサ放電回路５１２は、工具８を仕上げ加工するために用いられる。電源供給装置５１は、ワイヤ巻取ローラ５４のモータ（図示せず）及びワイヤ送りローラ５２のモータ５２１を駆動させることができる。これにより、ワイヤ５５は、ワイヤ送りローラ５２から移動して加工ローラ５３を通過し、その後、ワイヤ巻取ローラ５４に巻き取られる。
【００１９】
上述のワイヤ放電加工ユニット５が工具８を放電加工するとき、切欠５３１を通過するワイヤ５５とワーク８の側面とは、１μｍ〜２μｍの隙間を保ちながら、放電量が１２０ｍＪ〜２００ｍＪとすることができる。放電加工により、工具８には、尖端を有し、直径が４０μｍ〜５０μｍの円錐形の電極工具が形成される。
【００２０】
上述の光学測定ユニット７は、発光源７２、レンズ７１、電荷結合素子７３及び撮像ユニット７４を含む。発光源７２、レンズ７１及び電荷結合素子７３は、撮影ユニット７４に電気的に接続される。また、撮影ユニット７４は、電気信号監視制御ユニット１に電気的に接続される。発光源７２は、工具８を照射する。工具８の画像は、レンズ７１及び電荷結合素子７３を介して撮像ユニット７４に取り込まれる。その後、工具８の画像は、撮像ユニット７４から電気信号監視制御ユニット１に伝送され、電気信号監視制御ユニット１によって工具８の測定及び品質評価が行われる。また、画像測定のみならず、より高精度な白光干渉測定器を装着も可能である。
【００２１】
上述の三軸移動プラットフォーム３は、Ｘ軸水平移動ユニット３１、Ｙ軸水平移動ユニット３２及びＺ軸垂直移動ユニット３３を含む。Ｘ軸水平移動ユニット３１は、加工テーブル２に移動可能に配置される。Ｙ軸水平移動ユニット３２は、Ｘ軸水平移動ユニット３１に移動可能に配置される。Ｚ軸垂直移動ユニット３３は、Ｙ軸水平移動ユニット３２に移動可能に配置される。着脱自在ホルダー４は、Ｚ軸垂直移動ユニット３３に移動可能に配置される。Ｘ軸水平移動ユニット３１とＹ軸水平移動ユニット３２とＺ軸垂直移動ユニット３３との間は、歯車及びラック、歯車及びチェーン、スライドブロック及びスライドレールなどの一般の機構により、移動可能に接合される。また、着脱自在ホルダー４は、Ｚ軸垂直移動ユニット３３上で工具８を回動させるために用いることができる。
【００２２】
図３を参照する。図３に示すように、本発明を使用するとき、まず、着脱自在ホルダー４を介してＺ軸垂直移動ユニット３３に工具８を移動可能に配置する。その後、電気信号監視制御ユニット１が三軸移動プラットフォーム３を制御し、Ｘ軸水平移動ユニット３１を加工テーブル２に対して水平移動させ、Ｙ軸水平移動ユニット３２をＸ軸水平移動ユニット３１に対して水平移動させ、Ｚ軸垂直移動ユニット３３をＹ軸水平移動ユニット３２に対して垂直移動させる。最後に、工具８の側面を加工ローラ５３の切欠５３１を通過するワイヤ５５に接近させる。その後、電気信号監視制御ユニット１がワイヤ放電加工ユニット５を制御し、工具８を放電加工すると同時に、Ｚ軸垂直移動ユニット３３を制御してワーク８を回動及び上下垂直移動させる。電気信号監視制御ユニット１は、ワイヤ放電加工ユニット５のトランジスタ制御付きコンデンサ放電回路５１１を制御し、まず、工具８を粗加工する。ワーク８を所望の寸法まで放電加工したとき、電気信号監視制御ユニット１は、ワイヤ放電加工ユニット５を制御してコンデンサ放電回路５１２に切り換え、工具８を仕上げ加工する。これにより、放電加工時間を短縮させることができる。図４〜図６に示すように、放電加工により、工具８に尖端を有する円錐形の電極工具が形成されたとき、電気信号監視制御ユニット１は、三軸移動プラットフォーム３を制御し、工具８を放電加工ユニット６の上方に移動させる。次に、電気信号監視制御ユニット１は、放電加工ユニット６を再び制御し、単発放電によって尖った工具８を加工することにより、工具８の尖端に微小球体が形成される。最後に、工具８は、超微小球状プローブに加工される。
【００２３】
次に、図７に示すように、工具８が単発放電によって超微小球状プローブに加工されたとき、電気信号監視制御ユニット１は、三軸移動プラットフォーム３を制御し、工具８を光学測定ユニット７の焦点位置まで移動させる。その後、電気信号監視制御ユニット１は、光学測定ユニット７を制御し、工具８の平面画像を撮影する。撮影が成功した後、電気信号制御監視ユニット１は、三軸移動プラットフォーム３のＺ軸垂直移動ユニット３３を再び制御し、工具８を所定の角度回転させる。その後、電気信号監視制御ユニット１は、光学測定ユニット７を再び制御し、球プローブ８が一周する間、平面画像を撮像し続ける。その後、電気信号監視制御ユニット１は、撮像した複数の平面画像を組み合わせて球プローブ８の立体画像を形成して記録し、球プローブ８の品質評価を行う。例えば、球プローブ８の各回転角度において、球プローブ８の円柱の軸心に対する球プローブ８の球体の、中心の振れ量が測定される。高品質の球プローブ８は、円柱の軸心が球プローブ８の球体の中心を通過する。測定器に関しては、画像測定のみならず、より高精度な白光干渉の測定器を取り替えられて、精密な球プローブの外観を測定ができる。
【００２４】
上述したことから分かるように、本発明の超微小球状プローブ加工装置により、超微小球状プローブの製造と、製造された超微小球状プローブの品質評価と、を同一の加工装置上で行うことができる。また、超微小球状プローブの品質評価が完了したとき、ユーザは、着脱自在ホルダー４を接触式測定ヘッド（図示せず）に変更し、超微小球状プローブを挟持することにより、加工装置を三次元測定機として使用することができる。測定過程において、上述の品質評価を行ったときに測定された振れ量を補償量として測定データを修正することにより、測定誤差を有効に低減し、測定精度を高めることができる。
【００２５】
上述したことから分かるように、本発明の超微小球状プローブ加工装置は、ワイヤ放電加工ユニット、放電加工ユニット及び光学測定ユニットにより、超微小球状プローブの製造と、製造された超微小球状プローブの品質評価と、を同一の加工装置上で行うことができる。さらに、製造された超微小球状プローブを利用することにより、加工装置を三次元測定機として使用することができる。
【００２６】
当該分野の技術を熟知するものが理解できるように、本発明の好適な実施形態を前述の通り開示したが、これらは決して本発明を限定するものではない。本発明の主旨と領域を逸脱しない範囲内で各種の変更や修正を加えることができる。従って、本発明の特許請求の範囲は、このような変更や修正を含めて広く解釈されるべきである。
【符号の説明】
【００２７】
１ 電気信号監視制御ユニット
２ 加工テーブル
３ 三軸移動プラットフォーム
４ 着脱自在ホルダー
５ ワイヤ放電加工ユニット
６ 放電加工ユニット
７ 光学測定ユニット
８ 工具
３１ Ｘ軸水平移動ユニット
３２ Ｙ軸水平移動ユニット
３３ Ｚ軸垂直移動ユニット
５１ 電源供給装置
５２ ワイヤ送りローラ
５３ 加工ローラ
５４ ワイヤ巻取ローラ
５５ ワイヤ
７１ レンズ
７２ 発光源
７３ 電荷結合素子
７４ 撮像ユニット
５１１ トランジスタ制御付きコンデンサ放電回路
５１２ コンデンサ放電回路
５２１ モータ
５３１ 切欠
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気信号監視制御ユニットと、
加工テーブルと、
前記加工テーブルに移動可能に配置される上、前記電気信号監視制御ユニットに電気的に接続される三軸移動プラットフォームと、
前記三軸移動プラットフォームに移動可能に配置され、工具を挟持するのに使用される着脱自在ホルダーと、
前記加工テーブルに配置される上、前記電気信号監視制御ユニットに電気的に接続され、放電加工によって前記工具に尖端を有する円錐形の電極工具を形成するのに使用されるワイヤ放電加工ユニットと、
前記加工テーブルに配置される上、前記電気信号監視制御ユニットに電気的に接続され、放電加工によって前記ワイヤ放電加工ユニットが放電加工した後の前記工具の尖端に球体を形成するのに使用される放電加工ユニットと、
前記加工テーブルに配置される上、前記電気信号監視制御ユニットに電気的に接続され、前記放電加工ユニットが放電加工した後の前記球プローブを測定するのに使用される光学測定ユニットと、を備えることを特徴とする超微小球状プローブ加工装置。
【請求項２】
放電加工ユニットと前記工具の尖端とは、１μｍ〜２μｍの隙間を保ち、放電量が１２０ｍＪ〜２００ｍＪであり、
前記工具の尖端には、直径が５０μｍ〜８０μｍの微小球体が形成されることを特徴とする請求項１に記載の超微小球状プローブ加工装置。
【請求項３】
前記ワイヤ放電加工ユニットは、電源供給装置、ワイヤ送りローラ、加工ローラ、ワイヤ巻取ローラ及びワイヤを有し、
前記電源供給装置は、前記電気信号監視制御ユニットに電気的に接続される上、前記ワイヤに電力を供給するトランジスタ制御付きコンデンサ放電回路及びコンデンサ放電回路を有し、
前記ワイヤは、前記ワイヤ送りローラ、前記加工ローラの切欠及び前記ワイヤ巻取ローラを通過し、
前記切欠を通過するワイヤは、前記ワークを放電加工するのに使用されることを特徴とする請求項１に記載の超微小球状プローブ加工装置。
【請求項４】
前記ワイヤ放電加工ユニットは、電源供給装置、ワイヤ送りローラ、加工ローラ、ワイヤ巻取ローラ及びワイヤを有し、
前記電源供給装置は、前記電気信号監視制御ユニットに電気的に接続される上、前記ワイヤに電力を供給するトランジスタ制御付きコンデンサ放電回路及びコンデンサ放電回路を有し、
前記ワイヤは、前記ワイヤ送りローラ、前記加工ローラの切欠及び前記ワイヤ巻取ローラを通過し、
前記切欠を通過するワイヤは、前記工具を放電加工するのに使用されることを特徴とする請求項２に記載の超微小球状プローブ加工装置。
【請求項５】
前記切欠を通過するワイヤと前記ワークの側面とは、１μｍ〜２μｍの隙間を保ち、放電量が１２０ｍＪ〜２００ｍＪであり、
前記ワークには、尖端を有し、直径が４０μｍ〜５０μｍの円錐形の電極工具が形成されることを特徴とする請求項３に記載の超微小球状プローブ加工装置。
【請求項６】
前記切欠を通過するワイヤと前記ワークの側面とは、１μｍ〜２μｍの隙間を保ち、放電量が１２０ｍＪ〜２００ｍＪであり、
前記工具には、尖端を有し、直径が４０μｍ〜５０μｍの円錐形の電極工具が形成されることを特徴とする請求項４に記載の超微小球状プローブ加工装置。
【請求項７】
前記光学測定ユニットは、発光源、レンズ、電荷結合素子及び撮影ユニットを有し、
前記発光源、前記レンズ及び前記電荷結合素子は、前記撮影ユニットに電気的に接続され、
前記撮影ユニットは、前記電気信号監視制御ユニットに電気的に接続されることを特徴とする請求項１乃至６の何れか一項に記載の超微小球状プローブ加工装置。
【請求項８】
前記三軸移動プラットフォームは、Ｘ軸水平移動ユニット、Ｙ軸水平移動ユニット及びＺ軸垂直移動ユニットを有し、
前記Ｘ軸水平移動ユニットは、前記加工テーブルに移動可能に配置され、
前記Ｙ軸水平移動ユニットは、前記Ｘ軸水平移動ユニットに移動可能に配置され、
前記Ｚ軸垂直移動ユニットは、前記Ｙ軸水平移動ユニットに移動可能に配置され、
前記着脱自在ホルダーは、前記Ｚ軸垂直移動ユニットに移動可能に配置されることを特徴とする請求項１乃至６の何れか一項に記載の超微小球状プローブ加工装置。
【請求項９】
前記三軸移動プラットフォームは、Ｘ軸水平移動ユニット、Ｙ軸水平移動ユニット及びＺ軸垂直移動ユニットを有し、
前記Ｘ軸水平移動ユニットは、前記加工テーブルに移動可能に配置され、
前記Ｙ軸水平移動ユニットは、前記Ｘ軸水平移動ユニットに移動可能に配置され、
前記Ｚ軸垂直移動ユニットは、前記Ｙ軸水平移動ユニットに移動可能に配置され、
前記着脱自在ホルダーは、前記Ｚ軸垂直移動ユニットに移動可能に配置されることを特徴とする請求項７に記載の超微小球状プローブ加工装置。
【請求項１】
電気信号監視制御ユニットと、
加工テーブルと、
前記加工テーブルに移動可能に配置される上、前記電気信号監視制御ユニットに電気的に接続される三軸移動プラットフォームと、
前記三軸移動プラットフォームに移動可能に配置され、工具を挟持するのに使用される着脱自在ホルダーと、
前記加工テーブルに配置される上、前記電気信号監視制御ユニットに電気的に接続され、放電加工によって前記工具に尖端を有する円錐形の電極工具を形成するのに使用されるワイヤ放電加工ユニットと、
前記加工テーブルに配置される上、前記電気信号監視制御ユニットに電気的に接続され、放電加工によって前記ワイヤ放電加工ユニットが放電加工した後の前記工具の尖端に球体を形成するのに使用される放電加工ユニットと、
前記加工テーブルに配置される上、前記電気信号監視制御ユニットに電気的に接続され、前記放電加工ユニットが放電加工した後の前記球プローブを測定するのに使用される光学測定ユニットと、を備えることを特徴とする超微小球状プローブ加工装置。
【請求項２】
放電加工ユニットと前記工具の尖端とは、１μｍ〜２μｍの隙間を保ち、放電量が１２０ｍＪ〜２００ｍＪであり、
前記工具の尖端には、直径が５０μｍ〜８０μｍの微小球体が形成されることを特徴とする請求項１に記載の超微小球状プローブ加工装置。
【請求項３】
前記ワイヤ放電加工ユニットは、電源供給装置、ワイヤ送りローラ、加工ローラ、ワイヤ巻取ローラ及びワイヤを有し、
前記電源供給装置は、前記電気信号監視制御ユニットに電気的に接続される上、前記ワイヤに電力を供給するトランジスタ制御付きコンデンサ放電回路及びコンデンサ放電回路を有し、
前記ワイヤは、前記ワイヤ送りローラ、前記加工ローラの切欠及び前記ワイヤ巻取ローラを通過し、
前記切欠を通過するワイヤは、前記ワークを放電加工するのに使用されることを特徴とする請求項１に記載の超微小球状プローブ加工装置。
【請求項４】
前記ワイヤ放電加工ユニットは、電源供給装置、ワイヤ送りローラ、加工ローラ、ワイヤ巻取ローラ及びワイヤを有し、
前記電源供給装置は、前記電気信号監視制御ユニットに電気的に接続される上、前記ワイヤに電力を供給するトランジスタ制御付きコンデンサ放電回路及びコンデンサ放電回路を有し、
前記ワイヤは、前記ワイヤ送りローラ、前記加工ローラの切欠及び前記ワイヤ巻取ローラを通過し、
前記切欠を通過するワイヤは、前記工具を放電加工するのに使用されることを特徴とする請求項２に記載の超微小球状プローブ加工装置。
【請求項５】
前記切欠を通過するワイヤと前記ワークの側面とは、１μｍ〜２μｍの隙間を保ち、放電量が１２０ｍＪ〜２００ｍＪであり、
前記ワークには、尖端を有し、直径が４０μｍ〜５０μｍの円錐形の電極工具が形成されることを特徴とする請求項３に記載の超微小球状プローブ加工装置。
【請求項６】
前記切欠を通過するワイヤと前記ワークの側面とは、１μｍ〜２μｍの隙間を保ち、放電量が１２０ｍＪ〜２００ｍＪであり、
前記工具には、尖端を有し、直径が４０μｍ〜５０μｍの円錐形の電極工具が形成されることを特徴とする請求項４に記載の超微小球状プローブ加工装置。
【請求項７】
前記光学測定ユニットは、発光源、レンズ、電荷結合素子及び撮影ユニットを有し、
前記発光源、前記レンズ及び前記電荷結合素子は、前記撮影ユニットに電気的に接続され、
前記撮影ユニットは、前記電気信号監視制御ユニットに電気的に接続されることを特徴とする請求項１乃至６の何れか一項に記載の超微小球状プローブ加工装置。
【請求項８】
前記三軸移動プラットフォームは、Ｘ軸水平移動ユニット、Ｙ軸水平移動ユニット及びＺ軸垂直移動ユニットを有し、
前記Ｘ軸水平移動ユニットは、前記加工テーブルに移動可能に配置され、
前記Ｙ軸水平移動ユニットは、前記Ｘ軸水平移動ユニットに移動可能に配置され、
前記Ｚ軸垂直移動ユニットは、前記Ｙ軸水平移動ユニットに移動可能に配置され、
前記着脱自在ホルダーは、前記Ｚ軸垂直移動ユニットに移動可能に配置されることを特徴とする請求項１乃至６の何れか一項に記載の超微小球状プローブ加工装置。
【請求項９】
前記三軸移動プラットフォームは、Ｘ軸水平移動ユニット、Ｙ軸水平移動ユニット及びＺ軸垂直移動ユニットを有し、
前記Ｘ軸水平移動ユニットは、前記加工テーブルに移動可能に配置され、
前記Ｙ軸水平移動ユニットは、前記Ｘ軸水平移動ユニットに移動可能に配置され、
前記Ｚ軸垂直移動ユニットは、前記Ｙ軸水平移動ユニットに移動可能に配置され、
前記着脱自在ホルダーは、前記Ｚ軸垂直移動ユニットに移動可能に配置されることを特徴とする請求項７に記載の超微小球状プローブ加工装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２０１２−３０２９２（Ｐ２０１２−３０２９２Ａ）
【公開日】平成２４年２月１６日（２０１２．２．１６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１６９１０９（Ｐ２０１０−１６９１０９）
【出願日】平成２２年７月２８日（２０１０．７．２８）
【出願人】（５０５４０７７６０）國立台北科技大學 (5)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年２月１６日（２０１２．２．１６）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年７月２８日（２０１０．７．２８）
【出願人】（５０５４０７７６０）國立台北科技大學 (5)
【Ｆターム（参考）】
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