【課題】ウェハの不良が出ず、砥石の寿命が短くならないウェハ研削方法及びウェハ研削装置を提供する。
【解決手段】研削対象であるウェハ２に押し付けられる砥石３と、砥石３をウェハ２に対して相対的に回転させるモータ４と、モータ４が消費する電気量を検出する電気量検出器５と、その電気量が基準値を超えたとき砥石３に対するドレッシングの実行を指示する指示手段６とを備えた。 （もっと読む）

【課題】ツルーイングロールと砥石車との接触を高感度に検出できるようにする。
【解決手段】支持剛性を制御可能な制御軸受３５，３６にツルーイングロール３０を取付けたツルア軸３４を非接触で回転可能に支持し、ツルーイングロールに砥石車２５を接触させ、ツルーイングロールと砥石車との接触によるツルア軸の変位に基づいてツルーイングロールと砥石車とが接触した位置を検出し、ツルーイングロールと砥石車とが接触した位置を基準にして、ツルーイングロールによって砥石車をツルーイングする。また、制御軸受によるツルア軸の支持剛性を、ツルーイングロールと砥石車の接触検出時には小さく、砥石車のツルーイング時には大きくするようにした。 （もっと読む）

【課題】ドレッシングが行われる時間を正確に把握することができるドレッシング装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るドレッシング装置は、研磨パッド１５の研磨面１６をドレッシング工具１のドレッシング面２に当接させながら研磨パッド１５をドレッシング面２内で相対移動させて研磨パッド１５のドレッシングを行うように構成されたドレッシング装置ＤＡにおいて、ドレッシング面２と平行な面内でのドレッシング工具１の振れ量を測定する変位センサ２２，２３と、変位センサ２２，２３により測定されたドレッシング工具１の振れ量に基づいてドレッシング面２が研磨面１６に当接していた時間を測定するコントローラ３０とを有して構成される。 （もっと読む）

【課題】 砥石車の円弧研削面のツルーイング開始基準位置を接触検出手段を用いて正確に検出できるようにする。
【解決手段】 ツルーイング工具３２と砥石車２１との接触を検出する接触検出手段と、Ｘ軸方向移動手段による砥石車とツルーイング工具との相対移動によって砥石車の円筒研削面２１ａをツルーイングしている際に接触検出手段の信号変化に基づいて砥石車の円弧研削面２１ｂのツルーイング開始基準位置を検出する円弧研削面開始基準位置検出手段と、円弧研削面開始基準位置検出手段によって検出された円弧研削面開始基準位置を基点にしてＸ軸方向移動手段およびＺ軸方向移動手段を同期制御して円弧研削面をツルーイングする同期制御手段とによって構成した。 （もっと読む）

【課題】ドレッサ先端の研削刃が砥石面に当って切り込みが開始されたときの確認や砥石面の整形終了の確認を容易に行うことができる構造の簡単なドレッサ装置を提供する。
【解決手段】ドレッサ１の軸孔７に一対の圧電素子９、９を極性が逆になるように挿入し、圧電素子９、９間に通電板１１を介在させてドレッサ１に捩じ込んだネジ１３で圧電素子９を通電板１１に圧着させる。通電板１１には、ドレッサ１より突出する一端とドレッサ１間に順方向の発光ダイオード１２ａが、他端とドレッサ１間に逆方向の発光ダイオード１２ｂが接続され、ドレッシング時に発生する圧電素子９、９の出力電圧により発光ダイオード１２ａ、１２ｂを発光させる。 （もっと読む）

【課題】 接触検出手段による接触検出によって砥石車の研削面が削られるのを抑制できるツルーイン装置を有する研削盤を提供する。
【解決手段】 砥石車２１の研削面２１ａをツルーイングするツルーイングロール３２と、該ツルーイングロールと同軸上に隣接して配設された接触検知用ロール３３とからなるツルーイング装置３０と、接触検知用ロールと砥石車の研削面との接触を検出する接触検出手段３５を備え、該接触検出手段によって接触が検出されるツルーイング装置と砥石車との相対移動位置を求め、該相対移動位置を基点にして砥石車の研削面に対するツルーイングロールの切込み量を制御するようにした。 （もっと読む）

【課題】 研磨工程が正常に行われているか否かを容易に、かつ低コストで判断することができる研磨装置を提供する。
【解決手段】 本発明の研磨装置１０は、研磨面２２ａを有する研磨パッド２２と、基板Ｗを押圧するトップリング本体２００と、トップリング本体２００の外周部に設けられ、研磨面２２ａを押圧するリテーナリング３０２と、研磨面２２ａをドレッシングするドレッサ５０と、研磨装置１０の少なくとも１つの構成部材の摩耗を検知する摩耗検知部６０と、摩耗検知部６０からの信号に基づいて少なくとも１つの構成部材の摩耗量を算出する演算部４７とを備えている。演算部４７は、１回または複数回の研磨工程当たりの摩耗量に基づいて研磨工程が正常に行われているか否かを判断する。 （もっと読む）

【課題】 研磨パッド表面のスラリーに対するなじみ具合を定量的に評価できる研磨パッドの表面状態の評価方法の実現。
【解決手段】 パルス法ＮＭＲのＣＰＭＧ法により、研磨パッド13の表面の水の対象核¹Ｈの自由誘導減衰信号を観測し、自由誘導減衰信号の変化を評価する。自由誘導減衰信号を、時定数の小さな吸湿水成分による自由誘導減衰信号と、時定数の大きな自由水成分による自由誘導減衰信号とに分解し、少なくとも一方の自由誘導減衰信号の変化を評価する。 （もっと読む）

【課題】目立て部材の劣化状態を常時正確にモニターでき、交換時期を検知できる方法を提供する。
【解決手段】本発明では、モーターにより研磨布を駆動させて基板の研磨および研磨布の目立てを行う研磨方法において、研磨中に研磨布の目立てを行っているときの前記モーターの第一のトルク電流値を測定する工程と、研磨のみを行っているときの前記モーターの第二のトルク電流値を測定する工程と前記第一のトルク電流値と前記第二のトルク電流値の差分をとることにより、目立て部材と研磨布との間に生じる摩擦力をモニターする。研磨布を駆動させるモーターのトルク電流値を測定し、目立て部材と研磨布との間に生じる摩擦力をモニターすることにより、目立て部材の劣化を検知でき、目立て不足による研磨レートの低下を事前に検知できるため、製品の研磨異常発生を未然に防止することができる。 （もっと読む）