【課題】個片に分割されたデバイスの品質を向上させることが可能な切削方法及び切削装置を提供する。
【解決手段】被加工物Ｗを保持するチャックテーブル１８と、該チャックテーブル１８に保持された被加工物Ｗを切削する切削ブレード２８を含む切削手段２４と、該切削ブレード２８に切削水を供給する切削水供給手段と、前記チャックテーブル１８と前記切削手段２４とを相対的に切削送りする切削送り手段と、前記チャックテーブル１８と前記切削手段とを相対的に割り出し送りする割り出し送り手段とを備えた切削装置２Ａ，２Ｂにおける切削方法であって、前記切削装置２Ａ，２Ｂが気温が−５℃〜＋１０℃の冷蔵室３０内に設置されて、被加工物Ｗの切削が遂行されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】研磨パッド等の消耗品にＲＦタグを取付けてその記憶情報を用いて管理する研磨装置において、消耗品の廃却時に記憶情報の漏洩を防止する。
【解決手段】ウエハＷのＣＭＰ研磨を行うウエハ研磨装置１０が、ウエハ研磨装置において使用される研磨パッド１５と、この研磨パッド１５が支持プレート１３を介して着脱自在に取り付けられる研磨ヘッド１２と、研磨パッド１５を支持する支持プレート１３に設けられたＲＦタグ４２１と、研磨ヘッド１２に設けられ、ＲＦタグ４２１に対して非接触で情報の読み書きおよび消去を行うリーダライタ４２３と、研磨パッド１５が研磨ヘッド１２に取り付けられている間において、リーダライタ４２３により所定の情報をＲＦタグ４２１に対して読み書きするとともに、研磨パッド１５が研磨ヘッド１２から取り外されるときにＲＦタグ４２１に書き込まれたデータを消去する制御装置４００とから構成される。 （もっと読む）

【課題】迅速にかつ適正な範囲に自動的に研削ベルトを元の位置に復帰させることが可能で、人手を要せず安全性に寄与し、不良品の発生を防止することのできるベルトサンダを提供する。
【解決手段】ハイスピードロール４とコンタクトドラム５とアイドラロール６に巻装される研削ベルト７を備え、ワークＷを通過させつつその表面を研削・研磨する構成としたベルトサンダにおいて、ハイスピードロール４及びコンタクトドラム５とアイドラロール６との間に、固定フレーム部材９と、エアマウントに取り付けたロッカー昇降ガイド２３と、研削ベルト７を感知して反応する光電スイッチ２５とを、それぞれ取り付け、アイドラロール支持部材を回動させるシリンダ１４と、ギヤドモータ１６と、ギヤドモータ減速回転出力軸１９を螺合させた雌ねじ１８とトラッキングガイド１５を嵌合固定したトラッキングバー１７とより成るトラッキング装置を、設ける。 （もっと読む）

【課題】加工作業領域以外に切削液が飛散するのを確実に防止することで、超仕上盤を安定稼動させてワークを正確に超仕上げ加工すると共に、メンテナンス作業を簡素化させて超仕上げ加工に要するコストの低減を図る超仕上盤用カバー構造体を提供する。
【解決手段】カバー構造体は、加工作業領域Ｆ１にセットされたワークＷに所定の切削液をかけながら、当該ワークに対して超仕上げ加工を施す超仕上盤に用いられ、加工作業領域以外に切削液が飛散するのを防止する衝立アセンブリ１２を備えている。また、超仕上盤は、加工作業領域にセットされたワークに沿って砥石Ｇｓを上下・左右移動制御することで、当該ワークに超仕上げ加工を施すための揺動ユニット２を備えている。この場合、衝立アセンブリは、加工作業領域を覆うように当該加工作業領域と揺動ユニットとの間に介在されている。 （もっと読む）

【課題】腐食性や有毒性の強い処理液やその揮発して生成されたガスの装置外への飛散を完全防止でき、且つ基板を高精度、高効率で研磨できる基板研磨装置及び基板研磨設備を提供すること。
【解決手段】研磨テーブル１１と基板保持機構１２を備え、該研磨テーブル１１の上面に研磨用の処理液を供給すると共に、基板保持機構１２で保持し基板を該研磨テーブル１１の触媒面上に所定の押圧力で接触させ、又は処理液中に浸漬して該研磨テーブル１１面に接近又は接触させ、該基板と研磨テーブル１１の相対運動により基板を研磨する基板研磨装置であって、基板保持機構１２及び研磨テーブル１１の外側をカプセルで覆い処理液及びその揮発ガス等が外部に飛散しないようにした。 （もっと読む）

【課題】砥石の調整に伴う装置の停止時間を大幅に短縮化することが可能な研磨装置を提供する。
【解決手段】被研磨体２を所定の回転軸を中心に回転させた状態で所定位置に保持する回転保持機構と、被研磨体の処理対象面２ａを研磨加工するための砥石４を所定の押付力で当該処理対象面に対して圧接する押圧機構Ｓ１と、処理対象面に対して圧接された砥石を前記回転軸方向に沿って往復移動させ、当該処理対象面を研磨加工する研磨機構Ｓ２と、砥石が予め設定された限界量Ｇｌまで摩耗した場合、前記回転保持機構、押圧機構及び研磨機構を強制停止させる停止機構Ｓ３とを備えた研磨装置Ａであって、砥石の摩耗状態を監視し、前記停止機構を作動させる前に、前記限界量よりも少ない量に予め設定された警戒量Ｇｗまで砥石が摩耗した時点で、当該摩耗状態を通知する所定の警告情報を外部装置へ発するセンサ機構Ｓ４が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 ガラス細工等の細かいごみの出る作業を、ごみを外部に排出することなく、特定の場所以外でも可能にする透明工房ボックスを提供する。
【解決手段】手の出入り口５から両手を入れることが出来、その中で電気器具も使用可能な、開閉・取り外し自在の上蓋１を有する透明な工房ボックス本体２を有する透明工房ボックス。 （もっと読む）

【課題】騒音が小さく、メンテナンスが容易な切断機を提供する。
【解決手段】ベルトを通じてモーター３００の回転力をカッター４１０に伝える伝動部５００は、前記モーターの回転軸とカッターの回転軸が突出しているフレーム２００の側部に設置されている固定プレート５１０と、フレームの側部に回転可能に設置され、かつ二段構造を有する減速プーリー５２０と、前記モーター回転軸に設置されている駆動プーリー３１０と前記減速プーリーの小径プーリー５２２とを連結し、また前記減速プーリーの大径プーリー５２１と前記カッターの回転軸に設置されている従動プーリー４１１とを連結する第一ベルト５３０と第二ベルト５４０とからなる。 （もっと読む）

【課題】研磨に伴う毒性の高いガスの発生を速やかに検知し危険性に対して、有効な回避策を実施でき、現実の研磨プロセス並びに研磨装置に適用できる化学的研磨終点検知技術を用いて研磨する研磨方法、及び研磨装置を提供すること。
【解決手段】研磨テーブル１１の研磨面１１ａに被研磨基板Ｗを押圧し、該被研磨基板Ｗと研磨面１１ａの相対運動により該被研磨基板Ｗを研磨する研磨方法において、研磨テーブル１１の研磨面１１ａ直上にガスを吸引するガス吸引パイプ５２を設け、該ガス吸引パイプ５２のガス吸引口５２ａより該研磨面１１ａ上の雰囲気ガスをガス検知器５３に吸引し、該雰囲気ガス中の特定成分ガスを監視しながら研磨する。 （もっと読む）

【課題】鋼素材、特にスラブなどの研削作業に伴って発生する高温の研削屑の処理を、特段の動力源を使用せず、かつ、長期間に亘って使用し得る鋼素材研削装置を提供する。
【解決手段】鋼素材Ｓの表面ＳＡを研削可能に構成してなる鋼材研削装置本体２０の走行通路１１に沿って延在し、該鋼素材研削装置本体による研削作業に伴って発生する研削屑を落とし込む研削屑落し込み溝３０内に、鋼素材研削装置本体の後退時においてのみ、前記落し込み溝内に堆積した研削屑を移動可能とする研削屑移動用スクレーパ５０を配置する。 （もっと読む）