【課題】 加工工具の交換等のメインテナンスが容易な半導体製造装置を提供することである。
【解決手段】 半導体デバイスを加工する加工エリアを備えた半導体製造装置であって、前記加工エリアに加工エリアを照明するＬＥＤ照明を配置したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の切断辺を整形加工する面取機その他の基板加工機であって、基板加工ラインや液晶パネル製造ラインなどに組込まれて連続加工を行う基板加工機の運転制御方法に関し、ラインが停滞した後の自動再起動後に基板の加工精度が低下して不良品が発生するのを防止する。
【解決手段】ラインの停滞などにより自動停止したとき、その停止時間を計時し、自動停止後の運転の自動再開の際に、計時された時間が許容停止時間を超えているかどうか判定し、計測された時間が許容停止時間を超えていないときはそのまま運転を開始し、許容停止時間を超えているときには、所定時間ないし所定回数の暖気運転を行い、更に制御器に登録されている加工寸法の指令値に対する新たな補正値を登録したあと運転を再開する。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの研削開始前にリーク判定を行い、所望の研削を確実に行えるようにするウェーハ処理装置及びウェーハ処理方法を提供する。
【解決手段】ウェーハ１８が回転ステージ２４の吸着部２６に吸着保持されているときに、吸着部２６と真空手段３６とを連結する配管４２等の流路を流れる空気の流量を測定することにより、不都合なリークが発生しているか否かの判定をすることができる。具体的には、正常な吸着状態時に基づいて定められる所定流量よりも配管４２を流れる流量が大きければ、リークありと判定する。あるいはリーク判定は、配管４２内の圧力を測定することによっても行うことができる。 （もっと読む）

【課題】
チャックテーブルのチャック面にリング状の摩耗残りや偏摩耗が発生するのを防止し、クリーナストーンのエッジ部によるチャック面の摩耗損傷を防止する。
【解決手段】
クリーナストーン４００が複数の分割ストーン４１０、４２０から構成され、分割ストーン４１０、４２０はチャック面２１０に着地したときにチャック面半径方向に沿うように縦列配置されると共に、分割ストーン４１０、４２０同士の相隣接する端部４１１、４２１がテーブル回転方向で重なり合うように配置されている。また、ストーン押し付け機構６００は、ストーンホルダ５１０、５２０のテーブル回転方向上流側端部５１１、５２１を、回転方向上流側へ延出された片持ちの板バネ６２１、６２２によって、チャック面２１０に弾性的に近接及び離反するよう、弾性支持する。 （もっと読む）

【課題】ガラス板の割断によって生じた鋭い縁を整形加工や丸め加工する装置に関し、定盤面の洗浄作業を自動化することにより、装置の稼働率の向上と省人化を図る。定盤上のカレットを定盤表面に添着されている樹脂シートないし樹脂コーティング層を傷めることなく短時間で自動洗浄できるようにする。
【解決手段】回転砥石が配置されているガラス板加工領域に隣接して、定盤の上方に、昇降するブラシ２６と、このブラシの摺擦位置に洗浄水を供給する水供給管２４と、定盤の表面に空気流を吹付ける空気噴射管２５とを備えている。定盤が加工済のガラス板を次工程に送る送出位置４８から復帰移動するときに、洗浄水と空気噴流の存在下でブラシ２６を下降して定盤表面を摺擦することにより、定盤表面を自動洗浄する。 （もっと読む）

【課題】切削ブレードの切刃を損傷させることなくスピンドルに装着可能な切削ブレードを提供する。
【解決手段】スピンドルに装着する開口部５２を中心に有するとともに、該開口部５２を囲繞して形成された被把持部を有する円形基台４８と、該円形基台４８の外周から突出して形成された切刃５０とから構成された切削ブレードであって、該切刃５０を保護する保護部材８０が該切刃５０を囲繞するように被覆されている。 （もっと読む）

【課題】遊星歯車式研磨装置において、ワークキャリヤ又はワーク着脱等での上ラップ板昇降時においての上ラップ板落下防止の対策として、上昇限のみのならず停止させるすべての位置で落下を防止する装置が働き上ラップ板が落下することを防止し、作業者の安全を守る研磨装置を提供する。
【解決手段】上ラップ板昇降時の上ラップ板のガイドバー２３（回転止軸）を複数設け段付きとし、中間停止時にはこの段に落下防止の第二安全ロック爪部がロックし落下を防止させる。 （もっと読む）

【課題】無電力の場合でも真空状態を保ち続ける真空保持設備を提供する。
【解決手段】第１電磁弁１４の一端は、吸気ポート１１に接続し、他端は真空生成器１３のガス入口１３１に接続しており、電力により動作するとき、ガスが第１電磁弁１４を流れ、真空生成器１３のガス入口１３１に入り、真空出力を生成する。第２電磁弁１５の一端は、吸気ポート１１と真空生成器１３の真空出口１３３と並列的に接続し、他端は出力ポート１２に接続しており、それを操作して出力ポート１２をガス出力または真空出力とすることができる。また、切り替えスイッチ１６の一端は吸気ポート１１に接続し、他端は真空生成器１３に接続し、正常な操作のときには切り替えスイッチ１６を閉じ、突発的な電力のない状況が発生した場合に切り替えスイッチ１６を開き、ガス源がこの通路を介し真空生成器１３に供給され、真空を生成し続け、ウェハの吸着を継続する。 （もっと読む）

【課題】被加工物の端材等の比較的大きな切断屑が飛散しても損傷を受けにくくチャックテーブル送り機構を保護し得る構造を備える切削装置を提供する。
【解決手段】チャックテーブル２に対して、切削ブレードの回転により切削水が飛散する方向に位置する下流側の加工送り手段の上部を板状カバー部材８で覆い、上流側の加工送り手段を蛇腹カバー部材９で覆うように構成することで、板状カバー部材８を金属等によって形成可能とし、よって、被加工物の端材等の比較的大きな切断屑が飛散しても板状カバー部材８は損傷を受けにくく加工送り手段を確実に保護できるようにした。 （もっと読む）

【課題】
電源コード２が回転する研磨ベルト３と接触し破損することを防止するとともに電源コード２が作業者１１の邪魔になることを防止することで、作業性に優れたベルトサンダを提供する。
【解決手段】
電動機と、電動機を収容するハウジングと、ハウジングに設けられ前後方向に延びるハンドルと、ハウジングの下方に設けられ被加工材と接触する底面と、一端がハウジングに接続され、他端が外部の電源に接続される電源コードと、を有する電動工具において、一端がハウジングに支持され他端が電源コードを支持する支持部材を設け、支持部材の他端において電源コードがハンドルに対して側方であって底面よりも上方である第１の位置に位置するよう構成した。 （もっと読む）