【課題】軸受付カムシャフトのカム駒の外周形状の精度をより向上させるとともに、軸受付カムシャフトの軸受への研削屑の浸入を防止することができる、研削盤を提供する。
【解決手段】シャフトＳＴの外周面の軸方向に単数または複数のカム駒ＣＡと単数または複数の軸受ＢＲが嵌合された軸受付カムシャフトＷのカム駒の外周を研削する研削盤１であって、軸受付カムシャフトＷを主軸回転軸ＣＺ回りに回転可能に支持する一対の支持手段３０Ｃ、４０Ｃと、カム駒の外周面を研削可能な砥石Ｔと、砥石Ｔを砥石回転軸ＴＺ回りに回転可能に支持し、一対の支持手段３０Ｃ、４０Ｃに支持された軸受付カムシャフトＷに対して相対的に主軸回転軸ＣＺに交差する方向に進退移動可能な砥石台１０と、一対の支持手段３０Ｃ、４０Ｃに支持された軸受付カムシャフトＷに嵌合されている軸受ＢＲを覆うマスキング装置６０と、を備えた研削盤１。 （もっと読む）

【課題】 ウエーハの研削面にディンプルが生じない研削装置を提供することである。
【解決手段】 ウエーハを保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルの保持面に保持されたウエーハを研削する研削ホイールが回転可能に装着された研削手段と、ウエーハを吸引保持するウエーハ保持部と該ウエーハ保持部を移送する移送部とから構成され該チャックテーブルにウエーハを搬送する搬送手段とを備えた研削装置であって、該搬送手段によってウエーハを該チャックテーブルに搬送する際、該搬送手段の保持部に保持されたウエーハと該チャックテーブルの保持面との間に隙間を形成し、該隙間に洗浄水を供給してウエーハのチャックテーブル対向面とチャックテーブルの保持面とを洗浄する洗浄手段を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 可動部が基台に接触した際にこの接触を確実に検知することのできる気体軸受けの接触検知機構を提供することである。
【解決手段】 基台に対して可動部を絶縁状態で支持する気体軸受けの接触検知機構であって、該基台に一端が接続された抵抗値Ｒ１を有する第１抵抗体と、一端が電源に接続され他端が該第１抵抗体の他端に接続された抵抗値Ｒ２を有する第２抵抗体と、一端が該第１及び第２抵抗体の他端に接続され、他端がグランドに接続された抵抗値Ｒ３を有する第３抵抗体と、該第３抵抗体の前記一端と他端との間の電位差を検出する電位差検出手段と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 モータのロック時にモータの保護と作業者の安全確保が可能な電動工具を提供する。
【解決手段】 回転数センサ１０６は、モータ１０３の回転数を検出する。回転数増幅回路１０５は検出された信号を増幅し、マイコン１２３に出力する。マイコン１２３はモータ１０３の回転数をサンプリングし、回転数低下率を算出する。また、マイコン１２３はシャント抵抗１２７による電圧値によりモータ１０３の電流値をサンプリングし、電流値増加率を算出する。回転数低下率または電流値増加率がそれぞれの規定値を超えると、マイコン１２３はトライアック１２５へのゲート信号を制御してモータ１０３を停止させる。これにより、モータ１０３は保護され、作業者の安全も確保される。 （もっと読む）

【課題】切削作業中に飛散する切削水が切削ブレード検出器の発光部及び受光部に付着するのを防止し、切削ブレード検出器が切削ブレードの位置や状態を常に正確に検出できるようにする。
【解決手段】ワークＷを切削加工する回転可能な切削ブレード２２を備えた切削手段２と、発光部３０と受光部３１とを有し切削ブレード２２を検出する切削ブレード検出手段３とを含む切削装置において、切削ブレード検出手段３は、発光部３０及び受光部３１にエアを供給するエア供給ノズル３７と、水を吐出する水吐出手段３６と、吐出された水によって発光部３０及び受光部３１を水没させる水没形成手段３３とを有し、発光部３０及び受光部３１を水没させることにより切削水や切削屑が付着するのを防止する。 （もっと読む）

【課題】撮像手段を覆う筐体内へのコンタミやミストの侵入を防止し、撮像手段の接続箇所等への付着を防止する。
【解決手段】対物レンズ１５１に対応する位置に開口部３１が形成されて撮像手段１５全体を覆う筐体３０内部にエアー供給手段５０によってエアーを供給し、筐体３０内部に隙間３３から外部に向かうエアー流を生じさせることで、隙間３３に静圧がかかり、よって、筐体３０外部からのコンタミやミストなどの異物３４の侵入を防止できるようにした。 （もっと読む）

【課題】検出感度を維持しつつ、従来手作業で実施していた検出ユニットの位置調整を無くし、かつブレードの破損検出、及び摩耗量検出を同時に行うことができるブレード破損／磨耗検出装置を提供する。
【解決手段】アンプ装置から送られる電気信号が急激に変化した場合、制御部１０はブレード２１が破損したと判断する。また、制御部１０には、受光部２５による受光量の閾値として第１の受光量と、この第１の受光量よりも多い第２の受光量が記憶されている。ブレード２１が加工により磨耗してその外径が小さくなり、受光領域２９の受光量が６０％となると制御部１０は、送り機構４を制御して検出ユニット３をブレード２１の回転中心に向けて自動送りする。そして、受光量が１０％となると、制御部１０は送り機構４を制御して検出ユニット３の移動を停止させる。制御部１０は、繰り返し行われる検出ユニット３の移動量を積算してブレード２１の磨耗量を算出する。 （もっと読む）

【課題】切削作業中に飛散する切削水が切削ブレード検出器の発光部及び受光部に付着するのを防止し、切削ブレード検出器が切削ブレードの位置や状態を常に正確に検出できるようにする。
【解決手段】ワークＷを切削加工する回転可能な切削ブレード２２を備えた切削手段２と、発光部３０と受光部３１とを有し切削ブレード２２を検出する切削ブレード検出手段３とを含む切削装置において、切削ブレード検出手段３は、発光部３０及び受光部３１を露出させる開放状態と、発光部３０及び受光部３１を包囲して露出させない保護状態とを選択的にとりうる保護カバー手段３３を有し、保護カバー手段３３は、水封により保護状態を形成する。保護カバー手段３３の内部と外部とを水封により完全に遮断することができるため、保護カバー手段３３の内部の発光部３０における発光量及び受光部３１における受光量の精度を確保することができる。 （もっと読む）

【課題】 停電時の動圧軸受けにおけるかじり現象を回避することを可能とした工作機械を提供する。
【解決手段】 工作機械は、砥石１１を砥石軸９回りへ回転させる砥石モータ７と、砥石軸９に潤滑油を圧送する潤滑油ポンプ１３とを備える。停電が発生し、砥石モータ７への電力供給が止まった後も、砥石１１の慣性モーメントが大きいため砥石モータ７は慣性回転を続ける。この間に砥石モータ７が生成した回生電力を潤滑油ポンプ１３に供給し、動圧軸受けへの潤滑油の供給を継続させる。 （もっと読む）

【課題】 水静圧軸受の研削ヘッドの提供。
【解決手段】 カップホイール型砥石１４を軸承する砥石軸１３を水静圧軸受１５ｋと磁気軸受１８で回転および直動可能に支持した研削ヘッド１で、水静圧軸受の水通路１５ｋに連通する注水口、水通路１５ｋ内を減圧して水を通り易くするバキューム減圧口１５ｂと該水通路内の水を円筒状外ハウジング外へ排出するドレン抜口１５ｄと該水通路内へ加圧空気を供給して過剰の水が水通路に供給されないようシールする圧空供給口１５ｃ、および、円筒状外ハウジングの内壁を冷却する冷却水通路１５ｅと冷却水通路１５ｈを設けた基板用の研削ヘッドシステム１。水静圧軸受の水通路１５ｋ内の水は、研削装置の稼動長期停止時は、減圧、圧空でドレン抜口１５ｄより排出され、水通路１５ｋ内は乾燥されるので、藻が発生することはない。 （もっと読む）