【課題】グリーンシートを積層した積層体を、切断刃を用いて剪断することで個片化する際、個片の移動がない高い精度で切断できる製造方法とそれに用いる製造装置を提供する。
【解決手段】グリーンシート９ｂを積層した積層体１に、板状の切断刃４を押圧することで複数の個片１６に切断した後、これらの個片１６を焼成する電子部品１１の製造方法であって、前記切断は、前記積層体１の辺縁部を一定の幅で非切断部１ａとして、この非切断部１ａの内側１ｂのみを碁盤目状に切断することで、前記非切断部１ａを係止部として個片１６の切断時の移動を防止する。 （もっと読む）

【課題】保護テープに備えられた接着剤によってウエハ及び保護テープへの異物が発生することを防止するウエハ保護テープ切断装置を提供する。
【解決手段】ウエハ保護テープ切断装置は、ウエハＷが固定され、一定速度で回転及び昇降するチャック１００と、ウエハＷの上面に接着されてチャック１００の上部を覆う保護テープ１５２を供給する保護テープ供給部１５０と、ウエハＷの外周部に沿って保護テープ１５２の接着剤を硬化するための光を照射する光照射部２５０と、ウエハＷの外周部に位置している保護テープ１５２を切断するテープ切断部とを備える。また、前記保護テープを有するバックラッピング装置及びウエハ保護テープ切断装置を用いたウエハ保護テープ切断方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハの表面に貼り付けられた保護テープをウエハ外形に沿って精度よく切り抜く。
【解決手段】半導体ウエハＷからはみ出た保護テープＴの外端部をテープ保持部４７で固定保持し、はみ出た保護テープ部分を、カッタ走行溝１３の外側に設けた難接着面のテープ支持部４８で受け止め支持し、テープ保持部４７とテープ支持部４８との間に位置させて設けたテープ入れ込み凹部４６に、外端部がテープ保持部４７で固定保持された保護テープ部分を強制的に入れ込み変形させることでカッタ走行溝１３に位置する保護テープ部分を外方に向けて緊張する。この緊張部分にカッタ刃１２を突き刺してウエハ全周に沿って切断する。 （もっと読む）

【課題】リングフレームに半導体ウエハを接着保持する支持用粘着テープの切断不良を検出することのできる粘着テープ切断方法およびこれを用いた粘着テープ貼付け装置を提供する。
【解決手段】リングフレームｆに帯状の支持用粘着テープＤＴを貼り付け、この支持用の粘着テープＤＴにカッタ刃を突き刺して貫通させ、リングフレームｆのテープ貼付け面に先端を接触させた状態でカッタ刃２７とリングフレームｆとに電流を流して導通をとりながら、カッタ刃２７をリングフレームｆの形状に沿って切断する。この切断過程で、センサＳにより導通状態をリアルタイムにモニタリングする。 （もっと読む）

【課題】多数枚の情報記録媒体用ガラスディスクが積層されたガラスディスク積層体の内周面及び外周面を高精度に加工することのできる情報記録媒体用ガラスディスクの製造方法及び当該方法に使用する製造装置を提供する。
【解決手段】多数枚の情報記録媒体用ガラスディスク１２が積層されたガラスディスク積層体１０が保持シャフト２９と保持台４２との間で挟持されていて、内周刃２２と外周刃２６とが同軸に一体的に構成された一体型コアドリル２０が、保持シャフト２９を中心に回転駆動されるとともに保持シャフト２９に沿ってガラスディスク積層体１０の側にスライド移動されることによって、ガラスディスク積層体１０の内周面及び外周面を加工する。 （もっと読む）

【課題】板状部材への傷つきや、破損等を生ずることがないとともに、板状部材の大きさに合わせてシートを切断することのできるシート切断装置及び切断方法を提供すること。
【解決手段】大きさの異なる半導体ウエハＷを支持する第１及び第２のテーブル１３Ａ、１３Ｂと、ウエハに貼付されたシートＳをウエハの大きさに合わせて切断するカッター刃１６を有するロボット１７とによりシート切断装置１８が構成されている。第１及び第２のテーブルは、シート切断基準位置Ｐに対して選択的に位置するように移動可能となっており、当該移動は、ロボットのチャック１０９がテーブル側の係合部５６を掴むことによって行われる。各テーブルは、それぞれ外側テーブル５１Ａ、５１Ｂと、ウエハの大きさに略対応する内側テーブル５２Ａ、５２Ｂを備え、外側テーブルと、内側テーブルとの間には、カッター刃の先端側を受容する隙間Ｃが形成されている。 （もっと読む）

【課題】カッター刃ホルダに対してカッター刃を自動的に着脱することのできる切断装置及びカッター刃の装着方法を提供すること。
【解決手段】ロボット本体２０の自由端側にカッター刃ホルダ２２が設けられ、当該カッター刃ホルダ２２の先端部には、相互に離間接近する方向に移動可能な一対の移動部材３７が設けられている。カッター刃２１は、カッター刃供給装置１１から供給され、前記移動部材３７間にカッター刃２１の基部領域が挿入された状態で前記移動部材３７を相互に接近させることでカッター刃ホルダ２２にカッター刃２１が装着される。切断装置１０は、カッター刃２１をウエハＷの外周に沿って移動させることで、当該ウエハＷに貼付されたシートＳをウエハＷの形状に合わせて切断する。 （もっと読む）

【課題】ウエハ等の板状部材の外周からはみ出る大きさのシートを板状部材に貼付した状態で、前記シートを板状部材からはみ出すことなく切断すること。
【解決手段】半導体ウエハＷの外周からはみ出る大きさのシートＳを半導体ウエハＷに貼付した後、当該半導体ウエハＷの外周に沿って切断するシート切断装置１０である。同装置におけるカッター刃１３は、多関節型のロボット１２又は保持手段５０に保持されている。カッター刃１３の刃１３Ｂは、シートＳに差し込まれた状態で、Ｒ面取り部ＲとウエハＷの平面との交点位置Ｐ又はＲ面取り部Ｒの中心Ｃ１を回転中心として回転することで角度調整可能に設けられており、これにより、シートＳがウエハＷの外周側にはみ出すことがないように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 ウエハ等の板状部材に貼付されたシートを板状部材の形状に合わせて切断する際に、ノッチ等の細部形状部が存在していても、これに対応した切り込みを先行して形成し、その後に、板状部材の形状に合わせてシートを切断するシート切断装置及びその方法を提供する。
【解決手段】外周部分に略Ｖ字状のノッチＮを有するウエハＷをシートＳの貼付対象としたときに、前記シートＳをウエハＷに貼付する前に、ノッチＮに対応する切り込みＰＣを細部切断ユニット２００で形成する。切り込みＰＣが形成されたシートＳがウエハＷ上に供給されてプレスロール１４で押圧することで切り込みＰＣがノッチＮに対応した位置で貼付され、当該貼付後に、カッター刃１６を保持するロボット１７を介してウエハＷの外周に沿って切断を行うことで、当該ウエハＷの形状に合わせてシートＳの切断を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】ウエハ等の板状部材の外周からはみ出る大きさのシートを板状部材に貼付した状態で、板状部材の大きさに合わせてシートを切断すること。
【解決手段】半導体ウエハＷの外周からはみ出る大きさのシートＳを半導体ウエハＷに貼付した後、当該半導体ウエハＷの外周に沿ってカッター刃１２で切断するシート切断方法である。この切断方法は、半導体ウエハＷからシートＳがはみ出ることがないように刃１２Ｂの移動軌跡が正規軌跡として予め設定され、切断に際し、正規軌跡から離れた切断開始位置Ｐにカッター刃１２の刃１２Ｂを差し込んでおき、正規軌跡に近づける過程で所定のトウイン角α１，キャンバ角α２，キャスタ角α３となるようにカッター刃１２の姿勢調整を行うようになっている。 （もっと読む）