【課題】ノッチを有したウェハに貼付した接着シートにおけるノッチ部の切り残しを抑制することができるシート切断方法およびシート切断装置を提供すること。
【解決手段】ノッチＫの傾斜Ｋ１，Ｋ２および谷部Ｋ３に刃先が沿うようにカッタ刃７２を回転させつつ移動させて接着シートＳを切断することで、ノッチＫ部分に接着シートＳの切り残しが存在しない、あるいは最小限の切り残ししか存在しないようにでき、後工程であるウェハＷの裏面研削工程等において、接着シートＳの切り残しがウェハＷと研削刃との間に挟まってウェハＷを破損させたり、切り残しの部分が剥離して洗浄水が入り込んだりすることが防止できる。 （もっと読む）

可塑的に変形可能な材料（２９）の細長く薄い部分から所定の形状（３２）を切断するための切断装置（１）であって、細長い部分を支持するための平らなテーブル表面（４）を呈する、テーブルトップ（３）を備える。本発明に従い、切断装置は、テーブルトップの各長い側面（５ａ、５ｂ）に２つの細長い誘導および支持手段（７）と、これらの手段に沿ってテーブルトップの縦方向（Ｌ）に移動可能であり、縦方向と垂直にテーブルトップへ横方向に延在し、かつテーブルトップの幅（ｂ）の大部分に渡って延在し、切断要素を備える回転可能なカッターロールを備える、トラバーサ（８）であって、トラバーサは、形状を切り出すための切断位置にカッターロールを伴い、誘導および支持手段に沿って移動するように適合する、トラバーサと、テーブル表面に渡るカッターロールの並進速度に実質的に対応する周辺速度での、切断位置にあるカッターロールの移動中に、カッターロールを回転させるための回転手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】自動化と効率化を実現すると同時に、円形シートの切り口精度や品質をも向上することを実現する丸抜き装置を提供すること。
【解決手段】紙類又は合成樹脂製シートから成る四角形のシート（４−Ａ）を円形状に打ち抜く丸抜き装置において、前記四角形のシート（４−Ａ）をクランプするクランプ機構（４−Ｃ上、４−Ｃ下）と、前記四角形のシート（４−Ａ）を断裁する上下動可能な円弧状刃物（４−Ｅ）と、断裁されたシートを一定角度回転させる回転機構（４−Ｆ）とを備えて構成するとともに、前記回転機構による回転ごとに前記四角形のシート（４−Ａ）を前記円弧状刃物（４−Ｅ）で断裁するよう構成した。 （もっと読む）

【課題】シートに切欠きを形成する際に、シートにシワ、破れ、バリ等が発生するのを防止する。
【解決手段】シート処理装置のシート断裁部１２０が、シートを支持し、固定刃１２１Ａを有する支持台１２１と、支持台１２１の固定刃１２１Ａに対向して配置され、固定刃１２１Ａに対して移動する断裁刃１２２と、を備えている。断裁刃１２２は、固定刃１２１Ａの刃先１２１ａ，１２１ｂに対して傾斜し、互いに交差して共通の刃先端Ｙを有する２つの刃先１２２ａ，１２２ｂを備えている。そして、断裁刃１２２は、刃先端Ｙを支持台１２１に支持されたシートの面上の一点に当接させた後、固定刃１２１Ａの刃先１２１ａ，１２１ｂに沿って移動し、２つの刃先１２２ａ，１２２ｂによりシートの面上の一点から縁辺に向かってシートを断裁する。 （もっと読む）

【課題】被着体に貼付された接着シートを切断する際に、切断手段が被着体に接触することを防止可能にすること。
【解決手段】リングフレームＲＦ及び半導体ウエハＷを保持するテーブル１１と、リングフレームＲＦ及び半導体ウエハＷの上面に臨むように接着シートＳを支持可能な支持手段１２と、接着シートＳをリングフレームＲＦ及び半導体ウエハＷに押圧して貼付する押圧ローラ１６と、接着シートＳを切断する切断手段１４と、テーブル１１と支持手段１２とを相対移動させる移動手段１３とを備えてシート貼付装置１０が構成されている。切断手段１４は、接着シートＳを介してウエハＷに沿って配置され、当該切断手段１４がウエハＷと共に接着シートＳと相対移動することで接着シートＳを所定形状に切断する。 （もっと読む）

【課題】フレームに傷がつきにくく、傷痕残存等のおそれが少なく、カッタを頻繁に交換する必要もなく、しかも、支持テープの不要部を曲線的に容易に除去できる半導体ウェーハの支持テープ用カッタを提供する。
【解決手段】半導体ウェーハと粘着する支持テープを中空のフレームに粘着し、フレームに粘着した支持テープの不要部をカッタ２０を移動させながら除去するものであって、カッタ２０を、フレームの周方向に移動可能な移動ホルダ２３と、移動ホルダ２３に螺着される支持片２４と、支持片２４に軸支されて支持テープに接触するガイドローラ２５と、支持片２４に軸支されてガイドローラ２５の支持テープに接触する下面よりも下方に突出する刃先部２７により支持テープをカットする刃部２６とから構成する。そして、移動ホルダ２３を支持テープに対して揺動可能とし、移動ホルダ２３の移動方向後ろ側に刃先部２７を位置させる。 （もっと読む）

【課題】綺麗な切断面を形成することができると共に、大幅なコストダウンが図れる。
【解決手段】帯状シート１０を間欠的に一定幅送る帯状シート送り手段と、帯状シート１０が間欠的に一定幅送られる毎に作動し、帯状シート１０を所定角度に切断して斜め切断部１１、１２を形成する斜め切断用カミソリ刃３０と、斜め切断部１２と１１間の一定幅部分を切断して単品製品１６を製作する少なくとも２個の単品切断用カミソリ刃３１、３２、３３と、単品切断用カミソリ刃３１、３２、３３で製作された単品製品１６を製品回収箱４０に収納する単品製品収納手段とを備えている。斜め切断用カミソリ刃３０で狭幅の２個の斜め切断部１１、１２が形成され、単品切断用カミソリ刃３１、３２、３３の端部は、狭幅の斜め切断部１１、１２間に位置する長さとなっている。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハの表面に貼り付けられた粘着テープをウエハ外形に沿って切り抜くカッタ刃の清掃方法において、カッタ刃に付着した粘着剤などの付着物を能率よく清掃除去する。
【解決手段】洗浄液の貯留された容器内において含浸された清掃用部材５６に形成した切り込み５８の開口５９側から側端に刃縁を備えたカッタ刃１２を挿入し、刃面を切り込み５８に沿わせて所定量だけ水平移動する。その後、カッタ刃１２を上方に抜き出すことにより、刃面の付着物を除去する。 （もっと読む）

【課題】厚いシートを小径の円ないし円弧に沿って切断する場合にも表裏の孔径に差が大きくならない自動カッティングプロッタによるカット加工方法およびそれに用いる自動カッティングプロッタを提供する。
【解決手段】自動カッティングプロッタにより、小径の孔をカットするか、または小径の円弧をカットする方法であって、カット刃１０をアタッチメントに固定するとき、進行方向に向かって上向きに傾斜して延びるカット刃の刃部１４とアタッチメントの回動軸Ｊとの交点Ｘがベルト（シート）１３の厚さの１／２の高さに位置するように回動軸Ｊより進行方向の後方にオフセットして取り付け、その状態で常時カット刃１０の刃部１４が進行方向を向くように回動させながら、所定の円に沿って移動させてカット加工を行う。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハの表面に貼り付けられた粘着テープをウエハ外形に沿って切り抜くカッタ刃の清掃方法において、カッタ刃の清掃を能率よく行うとともに、カッタ刃を長期間にわたって使用を可能にする。
【解決手段】粘着テープを切断して待機位置にカッタ刃１２を復帰させた後に、清掃用ユニット５６をカッタ刃１２の下方に移動させてカッタ刃１２を所定高さに下降させる。このとき、洗浄液を含浸させた清掃用部材６６にカッタ刃１２を突き刺してカッタ刃１２の付着物清掃処理を行うとともに、突き刺し清掃過程ごとに清掃用部材６６へのカッタ刃１２の突き刺し位置を変更する。 （もっと読む）