【課題】
コロ搬送装置において複数のサイズの基板を、各基板サイズに合わせるための余計な調整時間の必要もなく、できるだけ少ないコロを適切に配置して、安定した高速基板搬送装置を提供する。
【解決手段】
基板の搬送方向に配列した複数のコロから構成されるコロ列を複数列有し、予め決められたｍ種類（ｍは２以上の整数）の幅の基板を、少なくとも２列のコロ列により搬送する基板搬送装置であって、１〜ｍ種類目までの各基板（ｉ番目の基板の幅をＡｉとする）について、該基板を支えるコロ列のうち最も内側の２列のコロ列間隔をＢ１ｉ、最も外側の２列のコロ列間隔をＢ２ｉとしたとき、全ての基板についてコロ列間隔Ｂ１ｉ、Ｂ２ｉの関係が下記式（１）を満足するようにコロが配置されていることを特徴とする基板搬送装置。
０．５Ａｉ≦（Ｂ１ｉ＋Ｂ２ｉ）／２≦０．７Ａｉ （１） （もっと読む）

【課題】安定した搬送性能を有する搬送ローラ及び基板搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明は、各種基板（３）を搬送ローラ（４）によって搬送しながら各種処理を行うインライン方式の基板処理システムに用いられる基板搬送装置に関するものである。本発明による基板搬送装置は、基板搬送方向に沿って所定の間隔で配列した複数の搬送ローラ（４）と、前記複数の搬送ローラを部分的に包囲するチャンバ（６０，６２ａ，６２ｂ）と、搬送ローラに連結され、基板搬送ローラに回転駆動力を伝達する駆動機構（７０）と、搬送ローラに連結され、搬送ローラの水平度を調整する水平度調整機構（７１）とを具える。搬送ローラの水平度調整機構及び回転駆動機構はチャンバの外部に位置し、チャンバの外部から搬送ローラの水平度が調整される。 （もっと読む）

【課題】ラインシャフトと直交するキャリアローラ側に従動マグネットを多数配置して小ローラピッチでアキュムレーティング可能な小径マグネット駆動ローラコンベヤを提供する。
【解決手段】多数並列させたキャリアローラ１０の各軸に少なくとも１個の従動マグネット１４を備え、キャリアローラ１０群下部の直交する方向にラインシャフト７を配置する。従動マグネット１４と駆動マグネット１２との間にアイドラマグネット１３を配置し、アイドラマグネット１３を対応するキャリアローラ側の従動マグネット２個の間に接近、配置して２個のキャリアローラ１０、１０を駆動させ、アイドラマグネット１３と駆動マグネット１２とを１対１に対応させる。 （もっと読む）

【課題】駆動ラインシャフトを複数本設けてラインシャフトと直交するキャリアローラ側の従動マグネットを交互に多数配置して小ローラピッチでアキュムレーティング可能なマグネット駆動ローラコンベヤを提供する。
【解決手段】多数並列させたキャリアローラ１０の各軸に少なくとも１個の従動マグネット１２を備え、キャリアローラ１０群下部の直交する方向に複数本のラインシャフトを並置し、ラインシャフトには、従動マグネット１２をラインシャフト数と同じ数量のキャリアローラを組とする組内でキャリアローラ１０毎に軸長方向に位置をずらし、かつキャリアローラ群の下部の直交する方向に間隔を保持させた多数の駆動マグネット１９を嵌装して、従動マグネット１２に対し非接触で回転力が伝達されるようにし、小ローラピッチのキャリアローラ群の一斉回転により非常に小さいワークを搬送させる。 （もっと読む）

【課題】長尺物を高速かつ安定姿勢で横送り搬送可能な搬送装置を、複雑な機構を用いることなく構成し、設備コストを低減する。
【解決手段】搬送装置Ｓは、両端に複数のローラ１４が設けられた搬送パレット部１０と、搬送パレット部１０の両端をベアリング１３を介して移動可能に支持するガイド部２０と、ガイド部２０に沿って所定間隔で設置されローラ１４に噛合可能に形成された複数の第１スプロケット３１と、第１スプロケット３１を伝動機構を介して同期して駆動させる駆動部５０と、を備える。搬送パレット部１０には、ワイパブレードＷなどの長尺物が短手方向を搬送方向に向けて載置される。ローラ１４に噛合される第１スプロケット３１は全て同期して回動されるので、搬送パレット部１０の両端における移動タイミングのズレの発生が防止され、高速搬送でも搬送物の姿勢が安定する。 （もっと読む）

【課題】高速道路における貨物自動車の数をできるだけ減少させる、新規の輸送手段を提供すること。
【解決手段】本発明に係る、コンテナを輸送するための輸送システムは、延長したフレームと、前記延長フレームに対して交差するように、及び平行になるように設けられ、コンテナを駆動することができる少なくとも１つの駆動輪を備えた複数の回転自在の駆動ユニットとを有する。前記輸送システムは、少なくとも地域規模でのコンテナの長距離輸送を可能にするために、長距離にわたる。 （もっと読む）

【課題】基板汚染の原因となるパーティクルを発生させることなく、基板を安定して搬送できるようにする。
【解決手段】基板Ｗを支持するローラ部１８１と、回転軸１８２と、回転軸１８２の一方端側に設けられた第１磁気部材１１とを有する複数の搬送ローラ１８と、各搬送ローラ１８の回転軸１８２の他方端側を回転自在に支持する第１支持部１０１と、第１磁気部材１１に対向する位置に第１磁気部材１１と同一極性の第２磁気部材１３が設けられ、基板搬送方向に直交する方向における基板の中央寄りに配置された各搬送ローラ１８の回転軸１８２の前記一方端側を、第１磁気部材１１と第２磁気部材１３との間の反発力により軸支する第２支持部１０２と、駆動モータとを備え、搬送ローラ１８は第１支持部１０１及び第２支持部１０２に支持され、隣り合う搬送ローラ１８と一定間隔を空けて配置される。 （もっと読む）

【課題】下面が平坦面でなく凹凸がある被搬送物を、滞留させることなく確実に水平搬送することのできる被搬送物の水平搬送方法および水平搬送装置を提供する。
【解決手段】下面１２ａに少なくとも１つの凸部を形成しかつ剛性のある被搬送物１２の前記下面１２ａを接触支持して摩擦力により被搬送物１２を水平搬送する搬送表面１０を持った回転駆動軸５を多数平行に配置する。水平搬送途中で被搬送物１２の下面の凸部がその前方の回転駆動軸５の搬送表面１０の回転上昇面１０ａに接して、それら凸部と搬送表面１０の回転上昇面１０ａとの間ですべり接触を生じて被搬送物１２の水平搬送が滞留したときに、回転する回転駆動軸５の搬送表面１０の周方向に設けた切欠部１１の係合作用により、同回転駆動軸５の回転途中で、被搬送物１２の下面の凸部１３Ｂを押し上げて前記すべり接触に係わる回転駆動軸５を乗り越えせしめ、被搬送物の水平搬送を再開せしめる。 （もっと読む）

【課題】処理液の蒸気やミストが処理室内から処理室外へ漏れるのを防止する。
【解決手段】チャンバ２の内部に、処理室が形成されている。チャンバ２は、非磁性材料で構成されている。スプレー３は、処理室内で、処理液を基板１の表面へ吹き付ける。処理室内には、シャフト１１が、所定の間隔で複数設置されている。シャフト１１には複数のローラ１０が取り付けられており、一端には磁石１３が取り付けられている。処理室外には、モータが設置され、モータにはシャフト２１が連結されている。シャフト２１には、チャンバ２を隔てて各磁石１３と対向する位置に、複数の磁石２３が取り付けられている。モータの駆動により磁石２３が回転すると、磁石１３が回転して、モータの駆動力が、処理室の内外の空間を介し、シャフト１１に取り付けられたローラ１０へ非接触で伝達される。 （もっと読む）

【課題】 めっき処理やエッチング処理を施すために基板を処理槽等に搬送する際に、基板に形成された導体パターンやレジストを損傷させることなく確実に搬送することを可能とし、製品の歩留まりを向上させる。
【解決手段】 軸線方向に所定間隔をあけてコンベヤロール２２が取り付けられたロール軸２４を、軸線方向を互いに平行にして並置し、各々のロール軸を一方向に回転駆動する回転駆動機構を設けた配線基板１０の搬送機構において、前記コンベヤロール２２の前記ロール軸２４上における軸線方向の取り付け位置が、前記配線基板が前記搬送機構によって搬送される際に搬送方向に連通して設けられたダミー領域が通過する通過幅内に位置調節され、前記配線基板１０の送り機構に、前記配線基板の搬送方向に直交する方向への位置ずれを防止するガイド機構２６が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）