【課題】再生効率に優れたセラミックフィルタを得られるハニカム構造体を提供すること。
【解決手段】本発明のハニカム構造体１は、隔壁により区画された軸方向に伸びる多数のセルをもつハニカム構造体１において、ハニカム構造体１は、セルののびる方向に垂直な断面において、熱伝導率が他の部分よりも小さくなるように形成された外周部６をもち、かつ外周部６がチタン酸アルミニウムを主成分とするセラミックスよりなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】接合部における不具合を抑制又は回避できる無機粉末成形体の接合体及び焼結体を提供する。
【解決手段】２以上の無機粉末成形体の接合体の焼結体を、前記接合体における２以上の前記無機粉末成形体に対応する第１の構成部分と、前記接合体における接合部に対応する第２の構成部分と、を備えるようにするとともに、以下の特徴（ａ）及び（ｂ）のいずれかあるいは双方を有するようにする。
（ａ）前記第２の構成部分は前記第１の構成部分以下の表面粗さを有する。
（ｂ）前記第２の構成部分は、その幅中心近傍において前記第１の構成部分以上の透光度を有する。 （もっと読む）

【課題】プラズマの逆流の発生をより完全に防止でき、効率の良いプラズマ励起が可能なシャワープレートを提供すること。
【解決手段】プラズマ処理装置の処理室１０２に配置され、処理室１０２にプラズマを発生させるためにプラズマ励起用ガスを放出する複数のガス放出孔１１３ａを備えたシャワープレート１０５において、ガス放出孔の長さと孔径のアスペクト比（長さ／孔径）を２０以上とした。ガス放出孔１１３ａは、シャワープレート１０６とは別体のセラミックス部材１１３に形成し、このセラミックス部材１１３をシャワープレート１０６に開けた縦孔１０５に装着した。 （もっと読む）

【課題】
半導体製造に用いられかつプラズマエッチング工程に好適なセラミックス治具、その製造方法及びセラミックス用接合剤を提供する。
【解決手段】
半導体製造用プラズマエッチング装置に用いられるセラミックス治具の製造方法であって、周期律表第３Ｂ族元素、窒素、炭素及び弗素からなる群から選択される１種以上の第１の元素と、Ｓｃ、Ｚｒ、Ｙ、ランタノイド及びアクチノイドからなる群から選択される１種以上の第２の元素とを併せて０．１〜２０質量％含有し、平均粒度が０．１〜１００μｍである混合石英ガラス粉を、２つのセラミックス部材の間に介在させ、１１００℃以上の温度で加熱焼成して前記セラミックス部材を接合するようにした。 （もっと読む）

【課題】塗布時の作業性にすぐれた接合材を提供すること。
【解決手段】本発明のＳｉＣ系接合材は、溶媒と、溶媒に分散したＳｉＣ粒子と、シリカ、アルミナの少なくとも一種よりなり、溶媒に分散したＳｉＣ粒子の粒径より小さな粒径をもつ微細粒子と、溶媒に分散した粘度調整材と、を有するＳｉＣ系接合材であって、微細粒子は、ＳｉＣ系接合材全体の質量を１００ｍａｓｓ％としたときに、３０ｍａｓｓ％以下で含まれることを特徴とする。本発明のＳｉＣ系接合材は、塗布時に微細粒子がＳｉＣ粒子の流動性を上昇させることにより塗布時の作業性が向上した。 （もっと読む）

【課題】低コストで、実用に耐えうる十分な接合強度を有し、接合の信頼性が高く、低熱膨張かつ剛性及び比剛性の高い低熱膨張セラミックス接合体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】室温における熱膨張係数の絶対値が０．６×１０^−６／Ｋ以下、弾性率が１００ＧＰａ以上、比剛性が４０ＧＰａ・ｃｍ^３／ｇ以上のコーディエライト結晶質焼結体からなる複数の部材の接合面同士を接触させ、熱処理により接合一体化した接合体およびその製造方法である。焼結体は当該焼結体の構成元素（Ｍｇ，Ａｌ，Ｓｉ）中におけるＳｉの割合が酸化物（ＭｇＯ，Ａｌ_２Ｏ_３，ＳｉＯ_２）換算で５１．５〜７０．０質量％となる条件でＳｉを含有する。焼結体中の余剰ＳｉＯ_２が加熱時に液相を形成して物質移動を活性化し、これにより接合部の材料が実質的に母材と同じになり、熱膨張係数差に起因する残留応力を解消して、極めて高い接合強度の接合体が得られる。 （もっと読む）

【課題】捕集フィルタ等のセラミックスハニカム構造体の製造に用いることができるＳｉＣ系接合材を提供する。
【解決手段】ＳｉＣ系接合材は、ＳｉＣ粒子と、ケイ酸カルシウム粒子と、を有することを特徴とする。また、該ＳｉＣ系接合材は、ＳｉＣ粒子と、針状結晶粒子および／または短冊状結晶粒子と、を有することを特徴とする。本発明のＳｉＣ系接合材は、ケイ酸カルシウム粒子や針状結晶粒子および／または短冊状結晶粒子が分散性にすぐれており、これにより被接合材を強い接着強度で接合することができた。 （もっと読む）

特に自動車の内燃機関の排気ガス粒子をフィルタリングするためのフィルタリング体の複数のフィルターブロックを共に固定するためのセメントであって、前記セメントは、存在し得る水及び存在し得る無機樹脂は別として前記無機材料の重量に対する重量による百分率で、３０から９０％の炭化ケイ素（ＳｉＣ）と、重量による百分率において全体で少なくとも９９％で、２０から９９％のシリカ（ＳｉＯ_２）及び１から８０％のアルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）を有する、少なくとも３％の中空球と、を有し、前記中空球の数で少なくとも８０％が５から１５０μｍの大きさを有する。
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【課題】本発明は、大気中で簡便に接合でき、且つ接合した部材同士が１０７３Ｋという高温保持後や１０７３Ｋの水素還元雰囲気中で安定した接合気密性を有する接合体及び接合用ろう材を提供することを課題とする。
【解決手段】セラミックス（リング）４と金属（円筒）１ａ，１ｂを、Ａｇ,および非還元性金属の酸化物または非還元性金属の少なくとも一方からなるろう材でろう付けしたことを特徴とする接合体６。 （もっと読む）

本発明は、窒化物結合シリコン窒化物（ＮＢＳＮ）から作られる半導体グレードのシリコンのインゴットの製造用の再利用可能な坩堝に関する。この坩堝は、シリコン窒化物粉末をシリコン粉末と混合し、坩堝のグリーン体を形成し、次いで、窒素を含有する雰囲気において前記グリーン体を加熱し、前記シリコン粉末が窒化されてＮＢＳＮ坩堝を形成することによって形成されてもよい。前記坩堝は、正方形の断面の坩堝の下部（１）及び壁（３、５）であるＮＢＳＮ材料のプレート要素によって組み立てられてもよく、及び、シリコン粉末及び任意にシリコン窒化物粒子を含むペーストを付け、続いて窒素雰囲気で第２の熱処理を行うことによって任意に固定部を密閉することによって組み立てられてもよい。
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